штат: | |
---|---|
Количество: | |
ТН--MSP300S-3DC
TN
Устройство магнетронного распыления с тремя мишенями оснащено тремя мишенями, что позволяет одновременно наносить различные материалы, что делает его очень универсальным и эффективным.Устройство для нанесения покрытия работает по принципу магнетронного распыления постоянного тока, обеспечивая равномерное и качественное нанесение пленки.
Благодаря передовой технологии и точной системе управления эта установка для нанесения магнетронного распыления обеспечивает исключительный контроль толщины пленки в диапазоне от нескольких нанометров до микрометров.Его регулируемые параметры позволяют настраивать свойства пленки, такие как плотность, состав и прочность адгезии.
Компактная конструкция устройства для нанесения покрытий и удобный интерфейс делают его простым в эксплуатации и обслуживании.Он оснащен функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и перенапряжения, обеспечивающую безопасную рабочую среду.
Независимо от того, занимаетесь ли вы исследованиями и разработками, научными кругами или промышленным производством, эта трехцелевая установка магнетронного распыления станет незаменимым инструментом для приготовления высококачественных металлических пленок.Его универсальность, эффективность и точное управление делают его пригодным для широкого спектра применений, включая электронику, оптику, накопление энергии и многое другое.
Инвестируйте в эту установку для нанесения покрытий профессионального уровня и откройте безграничные возможности нанесения тонких пленок.Ощутите превосходную производительность, надежность и производительность благодаря нашему трехмишенному устройству магнетронного распыления.
Образец этапа | Размер | Диаметр 140 мм |
Температура нагрева | Макс. 500 ℃ | |
Точность температуры | ±1℃ | |
Скорость вращения | 1-20 об/мин регулируемый | |
Магнетронная распылительная головка | Количество | 2'×3 (1',2' опционально) |
Режим охлаждения | Водяное охлаждение | |
Охладитель воды | Охладитель циркуляционной воды со скоростью потока 10 л/мин. | |
Вакуумная камера | Размер камеры | Диаметр 300 мм×300 мм |
Материал камеры | Нержавеющая сталь | |
Окно просмотра | Диаметр 100 мм | |
Режим открытия | Верхняя крышка открыта | |
Массовый расходомер | 2 канала;диапазон измерения 100SCCM;100SCCM (можно быть настроены в соответствии с потребностями клиента) | |
Вакуумная система | Модель | ТН-ГЗК103-А |
Молекулярный насос | ТН-600 | |
Форвакуумный насос | Роторно-лопастной насос | |
Предельный вакуум | 1,0Э-5Па | |
Интерфейс накачки | CF160 | |
Выхлопной интерфейс | КФ40 | |
Измерение вакуума | Составной вакуумметр | |
Источник питания | переменный ток;220В 50/60 Гц | |
Скорость откачки | Молекулярный насос: пластинчато-роторный насос производительностью 600 л/с: 1,1 л/с Комплексная производительность перекачки газа: вакуум до 1,0E-3Па за 20 минут | |
Конфигурация питания | Количество | Источник питания постоянного тока x2 Радиочастотный источник питания x1 |
Максимальная выходная мощность | 500 Вт постоянного тока, РЧ 500 Вт | |
Другие параметры | Напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Суммарная мощность | 4кВт | |
Общий размер | 600мм×650мм×1280мм | |
Общий вес | Около 300 кг |
Устройство магнетронного распыления с тремя мишенями оснащено тремя мишенями, что позволяет одновременно наносить различные материалы, что делает его очень универсальным и эффективным.Устройство для нанесения покрытия работает по принципу магнетронного распыления постоянного тока, обеспечивая равномерное и качественное нанесение пленки.
Благодаря передовой технологии и точной системе управления эта установка для нанесения магнетронного распыления обеспечивает исключительный контроль толщины пленки в диапазоне от нескольких нанометров до микрометров.Его регулируемые параметры позволяют настраивать свойства пленки, такие как плотность, состав и прочность адгезии.
Компактная конструкция устройства для нанесения покрытий и удобный интерфейс делают его простым в эксплуатации и обслуживании.Он оснащен функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и перенапряжения, обеспечивающую безопасную рабочую среду.
Независимо от того, занимаетесь ли вы исследованиями и разработками, научными кругами или промышленным производством, эта трехцелевая установка магнетронного распыления станет незаменимым инструментом для приготовления высококачественных металлических пленок.Его универсальность, эффективность и точное управление делают его пригодным для широкого спектра применений, включая электронику, оптику, накопление энергии и многое другое.
Инвестируйте в эту установку для нанесения покрытий профессионального уровня и откройте безграничные возможности нанесения тонких пленок.Ощутите превосходную производительность, надежность и производительность благодаря нашему трехмишенному устройству магнетронного распыления.
Образец этапа | Размер | Диаметр 140 мм |
Температура нагрева | Макс. 500 ℃ | |
Точность температуры | ±1℃ | |
Скорость вращения | 1-20 об/мин регулируемый | |
Магнетронная распылительная головка | Количество | 2'×3 (1',2' опционально) |
Режим охлаждения | Водяное охлаждение | |
Охладитель воды | Охладитель циркуляционной воды со скоростью потока 10 л/мин. | |
Вакуумная камера | Размер камеры | Диаметр 300 мм×300 мм |
Материал камеры | Нержавеющая сталь | |
Окно просмотра | Диаметр 100 мм | |
Режим открытия | Верхняя крышка открыта | |
Массовый расходомер | 2 канала;диапазон измерения 100SCCM;100SCCM (можно быть настроены в соответствии с потребностями клиента) | |
Вакуумная система | Модель | ТН-ГЗК103-А |
Молекулярный насос | ТН-600 | |
Форвакуумный насос | Роторно-лопастной насос | |
Предельный вакуум | 1,0Э-5Па | |
Интерфейс накачки | CF160 | |
Выхлопной интерфейс | КФ40 | |
Измерение вакуума | Составной вакуумметр | |
Источник питания | переменный ток;220В 50/60 Гц | |
Скорость откачки | Молекулярный насос: пластинчато-роторный насос производительностью 600 л/с: 1,1 л/с Комплексная производительность перекачки газа: вакуум до 1,0E-3Па за 20 минут | |
Конфигурация питания | Количество | Источник питания постоянного тока x2 Радиочастотный источник питания x1 |
Максимальная выходная мощность | 500 Вт постоянного тока, РЧ 500 Вт | |
Другие параметры | Напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Суммарная мощность | 4кВт | |
Общий размер | 600мм×650мм×1280мм | |
Общий вес | Около 300 кг |