Вы здесь: Дом / Продукты / Устройство для нанесения магнетронного напыления / Устройство магнетронного напыления с тремя мишенями и источником питания постоянного тока 500 Вт для подготовки металлической пленки

Устройство магнетронного напыления с тремя мишенями и источником питания постоянного тока 500 Вт для подготовки металлической пленки

Устройство для нанесения покрытия магнетронным напылением постоянного тока может использоваться для изготовления однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и т.п. .По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный напылитель не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для подготовки пленок материала в лаборатории.
штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • ТН--MSP300S-3DC

  • TN

Устройство магнетронного распыления с тремя мишенями оснащено тремя мишенями, что позволяет одновременно наносить различные материалы, что делает его очень универсальным и эффективным.Устройство для нанесения покрытия работает по принципу магнетронного распыления постоянного тока, обеспечивая равномерное и качественное нанесение пленки.


Благодаря передовой технологии и точной системе управления эта установка для нанесения магнетронного распыления обеспечивает исключительный контроль толщины пленки в диапазоне от нескольких нанометров до микрометров.Его регулируемые параметры позволяют настраивать свойства пленки, такие как плотность, состав и прочность адгезии.


Компактная конструкция устройства для нанесения покрытий и удобный интерфейс делают его простым в эксплуатации и обслуживании.Он оснащен функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и перенапряжения, обеспечивающую безопасную рабочую среду.


Независимо от того, занимаетесь ли вы исследованиями и разработками, научными кругами или промышленным производством, эта трехцелевая установка магнетронного распыления станет незаменимым инструментом для приготовления высококачественных металлических пленок.Его универсальность, эффективность и точное управление делают его пригодным для широкого спектра применений, включая электронику, оптику, накопление энергии и многое другое.


Инвестируйте в эту установку для нанесения покрытий профессионального уровня и откройте безграничные возможности нанесения тонких пленок.Ощутите превосходную производительность, надежность и производительность благодаря нашему трехмишенному устройству магнетронного распыления.

Образец этапа

Размер

Диаметр 140 мм

Температура нагрева

Макс. 500 ℃

Точность температуры

±1℃

Скорость вращения

1-20 об/мин регулируемый

Магнетронная распылительная головка

Количество

2'×3 (1',2' опционально)

Режим охлаждения

Водяное охлаждение

Охладитель воды

Охладитель циркуляционной воды со скоростью потока 10 л/мин.

Вакуумная камера

Размер камеры

Диаметр 300 мм×300 мм

Материал камеры

Нержавеющая сталь

Окно просмотра

Диаметр 100 мм

Режим открытия

Верхняя крышка открыта

Массовый расходомер

2 канала;диапазон измерения 100SCCM;100SCCM (можно   быть настроены в соответствии с потребностями клиента)

Вакуумная система

Модель

ТН-ГЗК103-А

Молекулярный насос

ТН-600

Форвакуумный насос

Роторно-лопастной насос

Предельный вакуум

1,0Э-5Па

Интерфейс накачки

CF160

Выхлопной интерфейс

КФ40

Измерение вакуума

Составной вакуумметр

Источник питания

переменный ток;220В   50/60 Гц

Скорость откачки

Молекулярный насос: пластинчато-роторный насос производительностью 600 л/с:   1,1 л/с  

Комплексная производительность перекачки газа: вакуум до   1,0E-3Па за 20 минут

Конфигурация питания

Количество

Источник питания постоянного тока x2

Радиочастотный источник питания x1

Максимальная выходная мощность

500 Вт постоянного тока, РЧ 500 Вт

Другие параметры

Напряжение питания

220 В переменного тока, 50 Гц

Суммарная мощность

4кВт

Общий размер

600мм×650мм×1280мм

Общий вес

Около 300 кг



на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com