| Количество: | |
|---|---|
TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
TN
Представляем нашу современную трехмишенную установку магнетронного напыления, предназначенную для передовых применений в области осаждения тонких пленок в различных отраслях промышленности. Это современное оборудование оснащено рядом функций, которые делают его идеальным для производства тонких пленок из высококачественных сплавов, сложных оптических покрытий, пленок из магнитных сплавов, тонкопленочных солнечных элементов, покрытий из твердых сплавов, коррозионностойких слоев и многого другого. .
Наша установка для магнетронного напыления с тремя мишенями — это универсальный инструмент, который необходим для исследований в области материаловедения и нанотехнологий, а также для создания прототипов и экспериментов. Благодаря точному контролю параметров нанесения, включая толщину пленки, состав и однородность, эта установка для нанесения покрытий позволяет создавать покрытия по индивидуальному заказу, адаптированные к конкретным требованиям.
Независимо от того, работаете ли вы над разработкой новых материалов, усовершенствованием существующих продуктов или проводите исследования в области технологии тонких пленок, наша трехмишенная установка для магнетронного напыления предлагает надежность, гибкость и производительность, необходимые для достижения ваших целей. Инвестируйте в это современное оборудование сегодня и поднимите свои возможности нанесения тонких пленок на новый уровень.
Продукт имя | Горизонтальный высокий вакуум трехмишенная установка для магнетронного напыления | |
Продукт модель | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
Власть напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
Полный власть | 6кВт | |
Система вакуум | ≦5×10-4Па | |
Образец этап | Dimensions | φ150 мм |
Обогрев температура | ≦850℃ | |
Температура точность управления | ±1℃ | |
Adjustable скорость | ≦20 об/мин | |
Магнетрон Распыление мишени | Цель размер | Диаметр Φ50,8 мм, толщина ≦3 мм |
Охлаждение режим | циркулирующий водяное охлаждение | |
Вода размер потока | Not менее 10 л/мин | |
Количество | 3 | |
Вакуум камера | Полость размер | Диаметр φ325 мм |
Полость материал | СУУ304 нержавеющая сталь | |
Наблюдение окно | Диаметр φ100 мм | |
Открытие метод | Вершина открытие | |
Газ контроль | 1 массовый расходомер используется для контролировать поток аргона в диапазоне 200SCCM | |
Вакуум система | Оборудовано с 1 молекулярным насосом система, скорость откачки газа 600л/с | |
Фильм измерение толщины | Необязательный кварцевая кристаллическая пленка толщиномер, разрешение 0,10 Å | |
Напыление источник питания | Оборудовано с источником питания постоянного тока, мощность 500 Вт*2 ВЧ источник питания 300 Вт | |
Контроль система | ЦИКИ саморазвитый профессионал система управления | |
Оборудование размеры | 570мм×1040мм×1700мм | |
Оборудование масса | 250 кг | |
Трехмишенная установка для магнетронного напыления тонких пленок сплавов представляет собой специализированное оборудование, предназначенное для нанесения сложных составов сплавов и многослойных покрытий с использованием трех различных целевых материалов. Такая конфигурация позволяет использовать широкий спектр применений, особенно в областях, где решающее значение имеет точный контроль над составом и свойствами тонких пленок. Вот основные области, в которых обычно используется трехмишеневой магнетронный напылитель:
Передовая микроэлектроника и производство полупроводников:
Тонкие пленки из сплава: Машина идеально подходит для нанесения тонких пленок сплавов, которые имеют решающее значение в современных полупроводниковых устройствах. Путем одновременного распыления из трех разных мишеней можно создавать сложные составы сплавов, необходимые для микроэлектроники нового поколения.
Многослойные и градиентные пленки: Данное оборудование используется для создания многослойных пленок из различных материалов, что позволяет изготавливать устройства с улучшенными электрическими, оптическими и механическими свойствами.
Оптоэлектроника и фотоника:
Сложные оптические покрытия: В области оптоэлектроники трехмишенная система используется для нанесения сложных оптических покрытий, таких как фильтры, зеркала и просветляющие покрытия, с заданными показателями преломления и оптическими свойствами.
Прозрачные проводящие оксиды (TCO): Машина может наносить TCO из сплавов определенного состава, которые используются в дисплеях, сенсорных экранах и фотоэлектрических устройствах.
Магнитные накопители и спинтроника:
Пленки из магнитных сплавов: Устройство для нанесения покрытий используется для нанесения пленок из магнитных сплавов, например тех, которые используются в жестких дисках и магнитных запоминающих устройствах с произвольным доступом (MRAM). Возможность контролировать состав магнитных сплавов имеет решающее значение для оптимизации производительности этих устройств.
Спинтронные устройства: В спинтронике необходимы тонкие пленки сплавов с особыми магнитными свойствами. Трехцелевая система позволяет точно настраивать эти свойства путем регулирования состава наплавляемых сплавов.
Хранение и преобразование энергии:
Компоненты аккумуляторов и топливных элементов: Машина используется для нанесения тонких пленок для устройств хранения энергии, таких как батареи и топливные элементы. Тонкие пленки сплавов можно адаптировать для использования в качестве электродных материалов, защитных покрытий или каталитических слоев.
Тонкопленочные солнечные элементы: При производстве тонкопленочных солнечных элементов трехцелевой аппарат для нанесения покрытий используется для нанесения слоев сложного сплава, которые служат поглощающими материалами или буферными слоями, повышая эффективность и стабильность солнечных элементов.
Износостойкие и защитные покрытия:
Твердосплавные покрытия: Устройство для нанесения покрытий используется для нанесения покрытий из твердых сплавов, например, сочетающих в себе такие элементы, как титан, алюминий и хром. Эти покрытия наносятся на инструменты, формы и механические компоненты для повышения износостойкости и продления срока службы.
Коррозионностойкие слои: Тонкие пленки из сплавов, обеспечивающие коррозионную стойкость, используются в различных отраслях промышленности, включая аэрокосмическую, автомобильную и морскую промышленность.
Декоративные и функциональные покрытия:
Эстетические покрытия: Машина может использоваться для создания декоративных покрытий из сплавов, которые обеспечивают как визуальную привлекательность, так и функциональные свойства, такие как устойчивость к царапинам или проводимость, для бытовой электроники, ювелирных изделий и автомобильной отделки.
Функциональные уровни в архитектуре: Покрытия из сплавов на архитектурном стекле могут обеспечить энергоэффективность, защиту от ультрафиолета и другие функциональные преимущества, а также способствовать эстетическому внешнему виду зданий.
Исследования и разработки:
Материаловедение и нанотехнологии: Трехцелевая система широко используется в исследованиях и разработках для исследования новых материалов и разработки новых составов сплавов с индивидуальными свойствами для конкретных применений. Это особенно полезно при изучении взаимосвязи между составом, структурой и характеристиками тонких пленок.
Прототипирование и экспериментирование: Исследователи используют машину для создания прототипов новых устройств и материалов, экспериментируя с различными комбинациями сплавов и условиями осаждения для достижения желаемых результатов.
Сверхпроводящие пленки:
Исследования сверхпроводников: Машина используется для нанесения пленок сверхпроводящих сплавов, например, на основе ниобия-олова (Nb₃Sn) или других высокотемпературных сверхпроводников. Эти пленки имеют решающее значение в исследованиях и приложениях, связанных со сверхпроводимостью.
Биомедицинские приложения:
Биосовместимые покрытия: Тонкие пленки из сплавов используются для создания биосовместимых покрытий на медицинских имплантатах и устройствах. Трехцелевая система позволяет точно контролировать состав сплава для достижения желаемых биологических и механических свойств.
В целом, трехмишенная установка для магнетронного распыления тонких пленок сплавов обеспечивает огромную универсальность, позволяя разрабатывать сложные материалы с определенным составом и свойствами. Это жизненно важный инструмент в различных отраслях: от электроники и энергетики до здравоохранения и передовых исследований.
Представляем нашу современную трехмишенную установку магнетронного напыления, предназначенную для передовых применений в области осаждения тонких пленок в различных отраслях промышленности. Это современное оборудование оснащено рядом функций, которые делают его идеальным для производства тонких пленок из высококачественных сплавов, сложных оптических покрытий, пленок из магнитных сплавов, тонкопленочных солнечных элементов, покрытий из твердых сплавов, коррозионностойких слоев и многого другого. .
Наша установка для магнетронного напыления с тремя мишенями — это универсальный инструмент, который необходим для исследований в области материаловедения и нанотехнологий, а также для создания прототипов и экспериментов. Благодаря точному контролю параметров нанесения, включая толщину пленки, состав и однородность, эта установка для нанесения покрытий позволяет создавать покрытия по индивидуальному заказу, адаптированные к конкретным требованиям.
Независимо от того, работаете ли вы над разработкой новых материалов, усовершенствованием существующих продуктов или проводите исследования в области технологии тонких пленок, наша трехмишенная установка для магнетронного напыления предлагает надежность, гибкость и производительность, необходимые для достижения ваших целей. Инвестируйте в это современное оборудование сегодня и поднимите свои возможности нанесения тонких пленок на новый уровень.
Продукт имя | Горизонтальный высокий вакуум трехмишенная установка для магнетронного напыления | |
Продукт модель | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
Власть напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
Полный власть | 6кВт | |
Система вакуум | ≦5×10-4Па | |
Образец этап | Dimensions | φ150 мм |
Обогрев температура | ≦850℃ | |
Температура точность управления | ±1℃ | |
Adjustable скорость | ≦20 об/мин | |
Магнетрон Распыление мишени | Цель размер | Диаметр Φ50,8 мм, толщина ≦3 мм |
Охлаждение режим | циркулирующий водяное охлаждение | |
Вода размер потока | Not менее 10 л/мин | |
Количество | 3 | |
Вакуум камера | Полость размер | Диаметр φ325 мм |
Полость материал | СУУ304 нержавеющая сталь | |
Наблюдение окно | Диаметр φ100 мм | |
Открытие метод | Вершина открытие | |
Газ контроль | 1 массовый расходомер используется для контролировать поток аргона в диапазоне 200SCCM | |
Вакуум система | Оборудовано с 1 молекулярным насосом система, скорость откачки газа 600л/с | |
Фильм измерение толщины | Необязательный кварцевая кристаллическая пленка толщиномер, разрешение 0,10 Å | |
Напыление источник питания | Оборудовано с источником питания постоянного тока, мощность 500 Вт*2 ВЧ источник питания 300 Вт | |
Контроль система | ЦИКИ саморазвитый профессионал система управления | |
Оборудование размеры | 570мм×1040мм×1700мм | |
Оборудование масса | 250 кг | |
Трехмишенная установка для магнетронного напыления тонких пленок сплавов представляет собой специализированное оборудование, предназначенное для нанесения сложных составов сплавов и многослойных покрытий с использованием трех различных целевых материалов. Такая конфигурация позволяет использовать широкий спектр применений, особенно в областях, где решающее значение имеет точный контроль над составом и свойствами тонких пленок. Вот основные области, в которых обычно используется трехмишеневой магнетронный напылитель:
Передовая микроэлектроника и производство полупроводников:
Тонкие пленки из сплава: Машина идеально подходит для нанесения тонких пленок сплавов, которые имеют решающее значение в современных полупроводниковых устройствах. Путем одновременного распыления из трех разных мишеней можно создавать сложные составы сплавов, необходимые для микроэлектроники нового поколения.
Многослойные и градиентные пленки: Данное оборудование используется для создания многослойных пленок из различных материалов, что позволяет изготавливать устройства с улучшенными электрическими, оптическими и механическими свойствами.
Оптоэлектроника и фотоника:
Сложные оптические покрытия: В области оптоэлектроники трехмишенная система используется для нанесения сложных оптических покрытий, таких как фильтры, зеркала и просветляющие покрытия, с заданными показателями преломления и оптическими свойствами.
Прозрачные проводящие оксиды (TCO): Машина может наносить TCO из сплавов определенного состава, которые используются в дисплеях, сенсорных экранах и фотоэлектрических устройствах.
Магнитные накопители и спинтроника:
Пленки из магнитных сплавов: Устройство для нанесения покрытий используется для нанесения пленок из магнитных сплавов, например тех, которые используются в жестких дисках и магнитных запоминающих устройствах с произвольным доступом (MRAM). Возможность контролировать состав магнитных сплавов имеет решающее значение для оптимизации производительности этих устройств.
Спинтронные устройства: В спинтронике необходимы тонкие пленки сплавов с особыми магнитными свойствами. Трехцелевая система позволяет точно настраивать эти свойства путем регулирования состава наплавляемых сплавов.
Хранение и преобразование энергии:
Компоненты аккумуляторов и топливных элементов: Машина используется для нанесения тонких пленок для устройств хранения энергии, таких как батареи и топливные элементы. Тонкие пленки сплавов можно адаптировать для использования в качестве электродных материалов, защитных покрытий или каталитических слоев.
Тонкопленочные солнечные элементы: При производстве тонкопленочных солнечных элементов трехцелевой аппарат для нанесения покрытий используется для нанесения слоев сложного сплава, которые служат поглощающими материалами или буферными слоями, повышая эффективность и стабильность солнечных элементов.
Износостойкие и защитные покрытия:
Твердосплавные покрытия: Устройство для нанесения покрытий используется для нанесения покрытий из твердых сплавов, например, сочетающих в себе такие элементы, как титан, алюминий и хром. Эти покрытия наносятся на инструменты, формы и механические компоненты для повышения износостойкости и продления срока службы.
Коррозионностойкие слои: Тонкие пленки из сплавов, обеспечивающие коррозионную стойкость, используются в различных отраслях промышленности, включая аэрокосмическую, автомобильную и морскую промышленность.
Декоративные и функциональные покрытия:
Эстетические покрытия: Машина может использоваться для создания декоративных покрытий из сплавов, которые обеспечивают как визуальную привлекательность, так и функциональные свойства, такие как устойчивость к царапинам или проводимость, для бытовой электроники, ювелирных изделий и автомобильной отделки.
Функциональные уровни в архитектуре: Покрытия из сплавов на архитектурном стекле могут обеспечить энергоэффективность, защиту от ультрафиолета и другие функциональные преимущества, а также способствовать эстетическому внешнему виду зданий.
Исследования и разработки:
Материаловедение и нанотехнологии: Трехцелевая система широко используется в исследованиях и разработках для исследования новых материалов и разработки новых составов сплавов с индивидуальными свойствами для конкретных применений. Это особенно полезно при изучении взаимосвязи между составом, структурой и характеристиками тонких пленок.
Прототипирование и экспериментирование: Исследователи используют машину для создания прототипов новых устройств и материалов, экспериментируя с различными комбинациями сплавов и условиями осаждения для достижения желаемых результатов.
Сверхпроводящие пленки:
Исследования сверхпроводников: Машина используется для нанесения пленок сверхпроводящих сплавов, например, на основе ниобия-олова (Nb₃Sn) или других высокотемпературных сверхпроводников. Эти пленки имеют решающее значение в исследованиях и приложениях, связанных со сверхпроводимостью.
Биомедицинские приложения:
Биосовместимые покрытия: Тонкие пленки из сплавов используются для создания биосовместимых покрытий на медицинских имплантатах и устройствах. Трехцелевая система позволяет точно контролировать состав сплава для достижения желаемых биологических и механических свойств.
В целом, трехмишенная установка для магнетронного распыления тонких пленок сплавов обеспечивает огромную универсальность, позволяя разрабатывать сложные материалы с определенным составом и свойствами. Это жизненно важный инструмент в различных отраслях: от электроники и энергетики до здравоохранения и передовых исследований.
