Устройство для нанесения покрытия магнетронным напылением с тремя мишенями и переходной камерой для керамической пленки

Модель продукта

TN-MSP325G-3T-DVC-2DC-1RF

Условия установки

1. Температура рабочей среды 25 ℃ ± 15 ℃, влажность 55% ± 10% относительной влажности;

2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен;

3. Номинальная мощность: 5000 Вт;

4. Газ для оборудования: камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки, а заказчику необходимо подготовить аргон с чистотой ≥99,99%;

5. Размер площадки 1200×1200×2000 мм;

6. Положение размещения требует хорошей вентиляции и отвода тепла.

Технические характеристики

1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 500 Вт x2;максимальное выходное напряжение 600 В, предел выходного тока 1000 мА

2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая сбалансированная мишень с перегородкой магнитной связи;

3. Применимый материал мишени для магнетронной мишени: проводящий металлический материал φ50 мм x 3 мм толщиной.

4. Размер полости: основная полость φ325 x 410 мм;переходная полость 150х150х150мм

5. Функция камеры: Основная камера оснащена боковой дверцей, уплотненной уплотнительным кольцом, кварцевым смотровым окном с перегородкой и стержнем ручного управления для переноса образцов.Переходная камера снабжена верхней крышкой с кварцевым окном, уплотненным уплотнительным кольцом, магнитной муфтой-толкателем для транспортировки образцов в основную камеру и независимой вакуумной системой.

6. Материал полости: нержавеющая сталь 304.

7. Вращающийся нагревательный стол для образцов: скорость плавно регулируется от 1 до 20 об/мин;температура нагрева — до 500°С, рекомендуемая скорость нагрева — 10°С/мин, максимальная температура — 20°С/мин.

8. Метод охлаждения: магнетронная мишень и молекулярный насос нуждаются в охладителе циркулирующей воды;

9. Охладитель воды: объем резервуара для воды 9 л, скорость потока 10 л/мин.

10. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газа AR, расход 1 ~ 200 см3 (настраиваемый);

11. Точность расходомера: диапазон ± 1,5%.

12. Насосный интерфейс вакуумной камеры — CF160;

13. Интерфейс воздухозаборника представляет собой двойное уплотнительное соединение диаметром 1/4 дюйма;

14. На дисплее представлены 14 промышленных компьютеров «все-в-одном»;

15. Ток распыления можно регулировать, а также устанавливать безопасное значение тока распыления и безопасное значение вакуума;

16. Защитная защита: ток распыления автоматически отключается, когда перегрузка по току и вакуум слишком низкие;

17. Вакуумная система: основная камера оснащена высоковакуумным молекулярным насосом TN-GZK103 со скоростью откачки 600 л/с;переходная камера оснащена небольшим молекулярным насосом со скоростью откачки 60 л/с.Два комплекта вакуумных систем могут работать и управлять независимо, а пневматические клапаны между камерами и в вакуумной системе управляются программами, которые могут осуществлять действие одной кнопкой, что удобно и быстро.

18. Предельный вакуум: 5Э-4Па (с молекулярным насосом);

19. Для измерения вакуума используется композитный вакуумметр, его диапазон: 10-5Па~105Па.

Меры предосторожности

1. Для достижения более высокого уровня бескислородной среды вакуумную камеру необходимо очистить инертным газом высокой чистоты не менее 3 раз.

2. Магнетронное распыление более чувствительно к объему всасываемого воздуха, поэтому для контроля объема всасываемого воздуха необходимо использовать массовый расходомер.

3. Держите полость в вакууме, когда оборудование не используется.

4. Если пылесос не использовался в течение длительного времени, при повторном использовании его следует дегазировать, чтобы улучшить характеристики вакуума.

Дополнительные аксессуары

Монитор толщины пленки

1. Разрешение толщины пленки: 0,0136Å (алюминий).

2. Точность толщины пленки: ±0,5%, в зависимости от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности.

3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/время, диапазон измерения может быть установлен: 500 000 Å (алюминий)

4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц

5. Применимая частота чипа: 6 МГц. Применимый размер чипа: Φ14 мм. Монтажный фланец: CF35.

Другие аксессуары

1. Высокопроизводительный молекулярный насос серии TN-CZK103 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па);

Комплект малых молекулярных насосов серии TN-GZK60 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па)

Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос ВРД-4;

2. Вакуумные сильфоны КФ25/40;длина может быть 0,5м, 1м, 1,5м;Зажимной кронштейн KF25

3. Кварцевый генератор толщиномера пленки;