| Количество: | |
|---|---|
TN-MSP500S-DC-RF
TN
Данное оборудование представляет собой настольную машину для магнетронного напыления с одной распылительной головкой.Миниатюрный дизайн оборудования ограничивает внешний вид оборудования уровнем настольного компьютера, что значительно снижает требования к месту установки.Оборудование оснащено источником питания постоянного тока, который можно использовать для распыления металлических материалов и имеет характеристики высокой скорости и низкого повышения температуры.
Устройство для нанесения магнетронного распыления с одной распылительной головкой и камерой из нержавеющей стали можно использовать для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т.п.По сравнению с аналогичным оборудованием, установка для нанесения покрытий с двойным магнетронным напылением не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для подготовки пленок материала в лаборатории.
Технические параметры:
Напряжение питания | 220 В переменного тока, 60 Гц |
Вакуумная камера | Размер: Диаметр.300 мм * В 300 мм Материал: нержавеющая сталь 304. Обзорное окно (окно): ~4 дюйма (100 мм) со шторкой |
Верхняя камера | Центральный верхний держатель образцов Размер выборки: Макс.диаметр 4 дюйма Скорость вращения: регулируемая 0-20 об/мин. Температура нагрева: до 300oC |
Нижняя камера | 2 магнетронных распылительных пистолета размером 2 дюйма, с автоматическим затвором на каждом пистолете, все КОНФОКАЛЬНЫЙ, ориентация распыления вверх 1 резистивный термоиспарительный, низковольтный, мощность 500 Вт. |
Генератор постоянного тока | Количество: 1 комплект Выходная мощность: 0 ~ 500 Вт Выходное напряжение: 0 ~ 600 В Длина синхронизации: 65000 с Время плавного пуска: 1 ~ 10 с. Макс.выходной ток: 1 А Регулирование нагрузки: >99,86% Время реакции на короткое замыкание: <5 мс Точность управления: 1%±1 |
Монитор толщины пленки | Кварцевый кристалл монитора: 6 МГц |
Вакуумный насос система | Ограниченное вакуум: 10-5Па |
Охладитель воды | Температура охлаждающей воды: 37 ℃ Скорость потока: 10 л/мин Мощность: 0,1 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/℃ Емкость бака: 9л. |
Массовый расходомер | 1 × регулятор массового расхода MFC С электрическим вакуумным клапаном для закрытия потока газа |
Данное оборудование представляет собой настольную машину для магнетронного напыления с одной распылительной головкой.Миниатюрный дизайн оборудования ограничивает внешний вид оборудования уровнем настольного компьютера, что значительно снижает требования к месту установки.Оборудование оснащено источником питания постоянного тока, который можно использовать для распыления металлических материалов и имеет характеристики высокой скорости и низкого повышения температуры.
Устройство для нанесения магнетронного распыления с одной распылительной головкой и камерой из нержавеющей стали можно использовать для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т.п.По сравнению с аналогичным оборудованием, установка для нанесения покрытий с двойным магнетронным напылением не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для подготовки пленок материала в лаборатории.
Технические параметры:
Напряжение питания | 220 В переменного тока, 60 Гц |
Вакуумная камера | Размер: Диаметр.300 мм * В 300 мм Материал: нержавеющая сталь 304. Обзорное окно (окно): ~4 дюйма (100 мм) со шторкой |
Верхняя камера | Центральный верхний держатель образцов Размер выборки: Макс.диаметр 4 дюйма Скорость вращения: регулируемая 0-20 об/мин. Температура нагрева: до 300oC |
Нижняя камера | 2 магнетронных распылительных пистолета размером 2 дюйма, с автоматическим затвором на каждом пистолете, все КОНФОКАЛЬНЫЙ, ориентация распыления вверх 1 резистивный термоиспарительный, низковольтный, мощность 500 Вт. |
Генератор постоянного тока | Количество: 1 комплект Выходная мощность: 0 ~ 500 Вт Выходное напряжение: 0 ~ 600 В Длина синхронизации: 65000 с Время плавного пуска: 1 ~ 10 с. Макс.выходной ток: 1 А Регулирование нагрузки: >99,86% Время реакции на короткое замыкание: <5 мс Точность управления: 1%±1 |
Монитор толщины пленки | Кварцевый кристалл монитора: 6 МГц |
Вакуумный насос система | Ограниченное вакуум: 10-5Па |
Охладитель воды | Температура охлаждающей воды: 37 ℃ Скорость потока: 10 л/мин Мощность: 0,1 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/℃ Емкость бака: 9л. |
Массовый расходомер | 1 × регулятор массового расхода MFC С электрическим вакуумным клапаном для закрытия потока газа |
