| Количество: | |
|---|---|
TN-MSP210S-DC-D
TN
Это оборудование представляет собой устройство для нанесения магнетронного распыления с двойной мишенью, которое можно использовать при приготовлении металлических пленок, в области электроники, оптики, специальной керамики и т. д. его также можно использовать для подготовки образцов SEM в лаборатории.
Он оснащен камерой из нержавеющей стали высокого вакуума, конструкцией открывания передней двери и кварцевым смотровым окном на двери, что удобно для наблюдения и записи эксперимента.В то же время оборудование оснащено вращающимся столом для нагрева образцов, который может эффективно улучшить однородность и качество пленки.На верхней крышке установлен комплект перегородок, и две цели можно переключать, вращая перегородку, чтобы реализовать многослойное покрытие.
Это оборудование необходимо использовать вместе с группой молекулярных насосов высокого вакуума.Пользователи могут выбрать небольшой молекулярный насос импортной марки, чтобы еще больше сэкономить место при установке.
В то же время модель может быть оснащена компонентами для измерения толщины пленки, которые могут контролировать толщину пленки в режиме реального времени и предоставлять надежные параметры для экспериментального процесса.
устройство для нанесения магнетронного распыления с двойной мишенью Технические параметры:
Образец этапа | Размер | 100 мм | Обогрев | ≤500℃ |
Скорость вращения | 1-20об/мин | Контроль температуры | ±1℃ | |
Магнетронная распылительная головка | Количество | 2' х2 | Режим охлаждения | С водяным охлаждением |
Вакуумная камера | Размер | Диаметр 210 мм × 260 мм | Окно просмотра | φ40 мм |
Материал | СУС | Открытый режим | Переднее открытие | |
Источник питания распылителя | источник постоянного тока | 1 комплект | Выходная мощность | ≤300 Вт |
Выходное напряжение | ≤600 В | время отклика | <5 мс | |
Водяное охлаждение | Емкость бака | 9L | Поток | 10 л/мин |
Толщиномер пленки | Точность | 0,1 ангстрем | Режим охлаждения | Водяное охлаждение |
Другой | Источник питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | Суммарная мощность | 4 кВт |
Молекулярная насосная система | Форвакуумный насос | Роторно-лопастной насос | Накачка | 1,1 л/с |
Вторичный насос | турбомолекулярный насос (бытовой) | Накачка | 600л/с | |
Интерфейс извлечения | КФ40 | Отверстие для выпуска воздуха | КФ16 |
Это оборудование представляет собой устройство для нанесения магнетронного распыления с двойной мишенью, которое можно использовать при приготовлении металлических пленок, в области электроники, оптики, специальной керамики и т. д. его также можно использовать для подготовки образцов SEM в лаборатории.
Он оснащен камерой из нержавеющей стали высокого вакуума, конструкцией открывания передней двери и кварцевым смотровым окном на двери, что удобно для наблюдения и записи эксперимента.В то же время оборудование оснащено вращающимся столом для нагрева образцов, который может эффективно улучшить однородность и качество пленки.На верхней крышке установлен комплект перегородок, и две цели можно переключать, вращая перегородку, чтобы реализовать многослойное покрытие.
Это оборудование необходимо использовать вместе с группой молекулярных насосов высокого вакуума.Пользователи могут выбрать небольшой молекулярный насос импортной марки, чтобы еще больше сэкономить место при установке.
В то же время модель может быть оснащена компонентами для измерения толщины пленки, которые могут контролировать толщину пленки в режиме реального времени и предоставлять надежные параметры для экспериментального процесса.
устройство для нанесения магнетронного распыления с двойной мишенью Технические параметры:
Образец этапа | Размер | 100 мм | Обогрев | ≤500℃ |
Скорость вращения | 1-20об/мин | Контроль температуры | ±1℃ | |
Магнетронная распылительная головка | Количество | 2' х2 | Режим охлаждения | С водяным охлаждением |
Вакуумная камера | Размер | Диаметр 210 мм × 260 мм | Окно просмотра | φ40 мм |
Материал | СУС | Открытый режим | Переднее открытие | |
Источник питания распылителя | источник постоянного тока | 1 комплект | Выходная мощность | ≤300 Вт |
Выходное напряжение | ≤600 В | время отклика | <5 мс | |
Водяное охлаждение | Емкость бака | 9L | Поток | 10 л/мин |
Толщиномер пленки | Точность | 0,1 ангстрем | Режим охлаждения | Водяное охлаждение |
Другой | Источник питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | Суммарная мощность | 4 кВт |
Молекулярная насосная система | Форвакуумный насос | Роторно-лопастной насос | Накачка | 1,1 л/с |
Вторичный насос | турбомолекулярный насос (бытовой) | Накачка | 600л/с | |
Интерфейс извлечения | КФ40 | Отверстие для выпуска воздуха | КФ16 |
