Двойное магнетронное распыление и машина для нанесения композитного покрытия с термическим испарением

Машина для нанесения покрытия «два в одном» с магнетронным напылением и термическим испарением может использоваться для нанесения покрытия на электронные изделия, стекло, керамические образцы, металл и другие образцы, особенно подходит для подготовки проб в лабораторном SEM (сканирующем электронном микроскопе).

Оборудование в основном состоит из вакуумной камеры из нержавеющей стали, мишени магнетронного распыления, источника испарения, поворотного нагревательного стола для образцов, вакуумного насоса, вакуумметра, системы забора воздуха и системы управления.

Функции

а.      Управление сенсорным экраном, обнаружение счетчика контроля температуры.Цифровой интерфейс параметров и автоматический режим работы предоставляют пользователям отличную платформу для исследований и разработок;

б.      Вакуумная камера изготовлена ​​из нержавеющей стали 304 со смотровым окном и перегородкой.Красивая форма, тонкая работа, отличная производительность вакуума.Основной уплотнительный фланец представляет собой высоковакуумный уплотнительный фланец серии CF.Каждый интерфейс вакуумной камеры герметизирован резиновым уплотнительным кольцом, которое имеет превосходные характеристики вакуума и может эффективно гарантировать качество покрытия;

в.       Мишень расположена внизу полости, а мишень вверху.Стол для образцов имеет функцию нагрева и вращения, что может сделать эффект покрытия более равномерным;

д.      Система сбора вакуума использует двухступенчатую группу вакуумных насосов.Форвакуумный насос представляет собой механический насос с высокой скоростью откачки, который позволяет эффективно сократить время перехода от атмосферного давления к низкому вакууму.Основным насосом является турбинный молекулярный насос, который имеет высокую скорость откачки и более высокую скорость получения вакуума.В целом система сбора вакуума работает чисто и быстро.

Технический параметр

Доступен новый образец таблицы