Вы здесь: Дом / Продукты / Устройство для нанесения магнетронного напыления / Двойное магнетронное распыление и машина для нанесения композитного покрытия с термическим испарением

Двойное магнетронное распыление и машина для нанесения композитного покрытия с термическим испарением

Двойное магнетронное распыление и машина для нанесения композитного покрытия с термическим испарением

Машина для нанесения покрытия «два в одном» с магнетронным напылением и термическим испарением может использоваться для нанесения покрытия на электронные изделия, стекло, керамические образцы, металл и другие образцы, особенно подходит для подготовки проб в лабораторном SEM (сканирующем электронном микроскопе).

Количество:
штат:





Запрос цены Добавить в корзину

Модель:
ТН-МС500С-2ТА1С
Марка продукта:
TN

Магнитроновый и термический испарение двух в одном из них можно использовать для покрытия электронных продуктов, стекла, керамических образцов, металлов и других образцов, особенно подходящих для приготовления образцов лабораторного SEM (сканирующий электронный микроскоп).

Оборудование в основном состоит из вакуумной камеры из нержавеющей стали, магнитронной целевой границы, источника испарения, таблицы образцов вращающегося нагрева, блок вакуумного насоса, измерения вакуума, системы впуска воздуха и системы управления.

Технический параметр

Модель	TN-MS500S-2TA1S
Пример таблицы	Размер	150 мм диаметром.	Обогрев	≤500 ℃
	Скорость вращения	1-20R/мин	Управление температурой	± 1 ℃
Магнитрон разбрызгивающая головка	Количество	2 дюйма × 2	Режим охлаждения	Вода охлаждена
Тепловое испарение	испаритель источник	Вольфрамовая проволочная корзина	Максимальная температура	1500 ℃
Тепловое испарение	Термопару	S тип
Вакуумная камера	Размер	300 ммдиа. × 300 мм	Смотреть окно	100 мм диаметром.
Вакуумная камера	Материал	304 сус	Открытый режим	Первая открывающаяся дверь
Вакуумная система	Механический насос	Насос роторного лопата	Интерфейс извлечения	KF16
	Накачать	1,1 л/с
	Молекулярный насос	Турбо -молекулярный насос	Интерфейс извлечения	CF150
	Накачать	600 л/с	Выхлопная интерфейс	KF40
	Вакуумный датчик	Датчик сопротивления + датчик ионизации
	Конечная вакуумная степень	1,3x10-4pa	Источник питания	AC; 220V 50/60 Гц
Вплести мощность	DC питания	1 набор	Выходная мощность	≤1000 Вт
	Выходное напряжение	≤600 Вт	Время ответа	＜ 5 мс
	РФ питания	1 набор	Выходная мощность	≤1000 Вт
	Устойчивость к мощности	≤5w
	RF -частота	13,56 МГц	Стабильность РЧ	± 0,005%
Толщина пленки	Разрешение	± 0,03 Гц	Точность	± 0,5%
Толщина пленки	Предел верхнего диапазона	50000	Скорость	100 ~ 1000 мс
Система водяного охлаждения	Объем бака	9L	Поток	10 л/мин
Газовая система	Тип потока	MFC (массовый счетчик потока)	Диапазон	200sccm
Газовая система	Газовый тип	АР
Другой	Входная подача	AC220V, 50 Гц	Размер	1400x750x1300 мм
Другой	Общая мощность	4 кВт (хост+вакуумный насос)	Масса	295 кг

Доступна новая таблица образцов

Образец	Размер	Для диа.150 мм образец макс.	Высота	70 мм регулируется
	Скорость вращения	1 ~ 20 об / мин	Обогрев	0 ~ 500 ℃

Двойной целевой магнитровый и тепловой комплексный аппозитный аппарат-это современное решение, предназначенное для применений передового покрытия. Одной из выдающихся особенностей является интуитивно понятная операция сенсорного экрана, дополненная измерителем контроля температуры для точного обнаружения. Этот цифровой интерфейс параметров и автоматический режим работы предоставляют пользователям исключительную платформу для исследований и разработок, оптимизируя процесс покрытия материалов и повышая производительность.

Эта машина, построенная с вакуумной камерой из 304 нержавеющей стали, может похвастаться эстетически приятным дизайном наряду с тонким мастерством. Камера включает в себя окно наблюдения и перегородку, позволяя пользователям эффективно контролировать процесс покрытия. Основным герметичным фланцем является фланец с высоким вакуумным герметиком серии CF, обеспечивающий превосходную вакуумную производительность. Каждый график вакуумной камеры запечатан прочным резиновым кольцом, что значительно способствует поддержанию целостности вакуума и, следовательно, качество полученных покрытий.

С точки зрения функциональности, машина оснащена уникальным целевым расположением, где цель расположена в нижней части полости, обращенной вверх. Эта конструкция в паре с таблицей образцов, которая может нагреваться и вращаться, облегчая более равномерный эффект покрытия на разных субстратах. Эта возможность необходима для достижения последовательных результатов, особенно в процессах сложных покрытий.

Система приобретения вакуума является еще одной основной мощностью, использующей двухэтапную группу вакуумных насосов. Подложенный насос представляет собой высокоскоростный механический насос, который эффективно сокращает время, необходимое для перехода от атмосферного давления к низкому вакууму. Основной насос, молекулярный насос турбины, усиливает этот процесс с высокой скоростью перекачки, обеспечивая быстрое приобретение вакуума. Вместе эти компоненты создают чистую и эффективную вакуумную среду, которая имеет решающее значение для достижения высококачественных покрытий в различных применениях. В целом, эта машина представляет собой значительный прогресс в технологии покрытия, объединяя удобные функции с надежной производительностью.