| Количество: | |
|---|---|
ТН-MSP180G-1T-Б
TN
Представление продукта: Это оборудование представляет собой одноцелевой прибор для магнетронного распыления, который можно использовать для приготовления тонких металлических пленок общего назначения.При этом оборудование оснащено источником питания смещения, который можно использовать для плазменной очистки перед распылением и создания смещения во время распыления.
Это устройство для нанесения магнетронного напыления с одной мишенью оснащено полостью из нержавеющей стали высокого вакуума, полость оснащена кварцевой перегородкой смотрового окна, за которой легко наблюдать и записывать эксперимент;Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшая форма делают ее очень подходящей для лабораторного использования.В то же время оборудование оснащено вращающимся столом для нагрева образцов, что позволяет эффективно улучшить однородность и качество пленки.Машина имеет модульную конструкцию, простую логику работы, интуитивно понятный интерфейс управления, легко начать работу.
Настольный одноцелевой магнетронный распылитель Технические параметры:
наименование товара | Настольное одномишенное магнетронное распыление устройство для нанесения покрытий с напряжением смещения |
Модель продукта | TN-MSP180G-1T-B (напряжение смещения) |
Условия установки | 1. Температура рабочей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% ± 10% относительной влажности; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность: 1000 Вт; 4. Газовое оборудование: камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600×600×850 мм, несущая способность ≥ 50 кг; 6. Позиция должна хорошо вентилироваться и охлаждаться. |
Технические индикаторы | 1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение. 600 В, ограничено выходной ток 500 мА 2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3. Источник питания смещения: выход напряжение <1000 В, тип: высокочастотный импульсный источник постоянного тока 4. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм. 5. Размер полости: снаружи. Диаметр 194, внутренний диаметр 186 мм х высота 230 мм 6. Материал полости: нержавеющая сталь 304. 7. Вращающийся нагревательный образец. стол: вращать скорость 1~20 об/мин плавная регулировка; максимальный нагрев температура 500 ℃, рекомендуется самая низкая скорость нагрева 10 ℃/мин, рекомендуется самая высокая скорость нагрева 20℃/мин. 8. Режим охлаждения: магнитная мишень и Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды 9. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, скорость потока 10 л/мин. 10. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газа аргон, расход 1 ~ 30 куб.см (настраиваемый). 11. Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения. 12. Интерфейс накачки воздуха. вакуумной камеры KF25 13. Интерфейс воздухозаборника Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 14. Сенсорный экран 7 дюймов. цветной сенсорный экран 15. Регулируемое распыление. ток, распыление Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума; 16. Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум. автоматически отключать ток распыления 17. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум). насос); 18、 Вакуум Измерение производится вакуумметром Парана, диапазон: 1～105Па. |
Уведомление | 1, магнетронное распыление имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярный насос. 2. Для достижения среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3 раз с инертным газом высокой чистоты。 3, магнетронное распыление чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздуха необходим массовый расходомер прием |
Необязательный Аксессуар | |
Монитор толщины пленки | 1, толщина пленки разрешение: 0,0136 Å (алюминий) 2, точность пленки Толщина: ±0,5%, зависит от процесса условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и плотность 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, диапазон измерения может быть комплект: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц 5, подходит для пластин частота: 6 МГц подходит для размера пластины: Φ14 мм монтажный фланец: CF35 |
Еще один аксессуар | · 1, высокая производительность серии CY-CZK103 комплект молекулярного насоса (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) ВРД-4 биполярный поворотный лопастной вакуумный насос 2, Вакуумный сильфон KF25; Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40 3, измеритель толщины пленки кварцевый генератор; |
Представление продукта: Это оборудование представляет собой одноцелевой прибор для магнетронного распыления, который можно использовать для приготовления тонких металлических пленок общего назначения.При этом оборудование оснащено источником питания смещения, который можно использовать для плазменной очистки перед распылением и создания смещения во время распыления.
Это устройство для нанесения магнетронного напыления с одной мишенью оснащено полостью из нержавеющей стали высокого вакуума, полость оснащена кварцевой перегородкой смотрового окна, за которой легко наблюдать и записывать эксперимент;Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшая форма делают ее очень подходящей для лабораторного использования.В то же время оборудование оснащено вращающимся столом для нагрева образцов, что позволяет эффективно улучшить однородность и качество пленки.Машина имеет модульную конструкцию, простую логику работы, интуитивно понятный интерфейс управления, легко начать работу.
Настольный одноцелевой магнетронный распылитель Технические параметры:
наименование товара | Настольное одномишенное магнетронное распыление устройство для нанесения покрытий с напряжением смещения |
Модель продукта | TN-MSP180G-1T-B (напряжение смещения) |
Условия установки | 1. Температура рабочей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% ± 10% относительной влажности; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность: 1000 Вт; 4. Газовое оборудование: камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600×600×850 мм, несущая способность ≥ 50 кг; 6. Позиция должна хорошо вентилироваться и охлаждаться. |
Технические индикаторы | 1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение. 600 В, ограничено выходной ток 500 мА 2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3. Источник питания смещения: выход напряжение <1000 В, тип: высокочастотный импульсный источник постоянного тока 4. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм. 5. Размер полости: снаружи. Диаметр 194, внутренний диаметр 186 мм х высота 230 мм 6. Материал полости: нержавеющая сталь 304. 7. Вращающийся нагревательный образец. стол: вращать скорость 1~20 об/мин плавная регулировка; максимальный нагрев температура 500 ℃, рекомендуется самая низкая скорость нагрева 10 ℃/мин, рекомендуется самая высокая скорость нагрева 20℃/мин. 8. Режим охлаждения: магнитная мишень и Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды 9. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, скорость потока 10 л/мин. 10. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газа аргон, расход 1 ~ 30 куб.см (настраиваемый). 11. Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения. 12. Интерфейс накачки воздуха. вакуумной камеры KF25 13. Интерфейс воздухозаборника Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 14. Сенсорный экран 7 дюймов. цветной сенсорный экран 15. Регулируемое распыление. ток, распыление Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума; 16. Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум. автоматически отключать ток распыления 17. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум). насос); 18、 Вакуум Измерение производится вакуумметром Парана, диапазон: 1～105Па. |
Уведомление | 1, магнетронное распыление имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярный насос. 2. Для достижения среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3 раз с инертным газом высокой чистоты。 3, магнетронное распыление чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздуха необходим массовый расходомер прием |
Необязательный Аксессуар | |
Монитор толщины пленки | 1, толщина пленки разрешение: 0,0136 Å (алюминий) 2, точность пленки Толщина: ±0,5%, зависит от процесса условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и плотность 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, диапазон измерения может быть комплект: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц 5, подходит для пластин частота: 6 МГц подходит для размера пластины: Φ14 мм монтажный фланец: CF35 |
Еще один аксессуар | · 1, высокая производительность серии CY-CZK103 комплект молекулярного насоса (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) ВРД-4 биполярный поворотный лопастной вакуумный насос 2, Вакуумный сильфон KF25; Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40 3, измеритель толщины пленки кварцевый генератор; |
