Вы здесь: Дом / Продукты / Устройство для нанесения магнетронного напыления / Устройство для нанесения магнетронного распыления постоянного тока с тремя мишенями и камерой из нержавеющей стали высокого вакуума для пленки из ПТФЭ

Устройство для нанесения магнетронного распыления постоянного тока с тремя мишенями и камерой из нержавеющей стали высокого вакуума для пленки из ПТФЭ

Оборудование можно использовать для изготовления однослойной или многослойной сегнетоэлектрической пленки, проводящей пленки, пленки из сплава, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки, оксидной пленки, жесткой пленки, пленки из ПТФЭ и так далее.По сравнению с аналогичным оборудованием, устройство для нанесения магнетронного покрытия с тремя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого объема и простоты эксплуатации.Это идеальное оборудование для подготовки пленки материала в лаборатории.
штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN-MSP300S-2DC1RF

  • TN

Представляем трехмишенную установку магнетронного распыления постоянного тока с высоковакуумной камерой из нержавеющей стали, идеальное решение для прецизионной подготовки пленки.Созданная для профессионалов в этой области, эта передовая машина для нанесения покрытий предлагает непревзойденную производительность и надежность.


Эта усовершенствованная система специально разработана для осаждения различных пленок, включая одно- или многослойную сегнетоэлектрическую пленку, проводящую пленку, пленку из сплава, полупроводниковую пленку, керамическую пленку, диэлектрическую пленку, оптическую пленку, оксидную пленку, твердую пленку и пленку из ПТФЭ.Благодаря своим универсальным возможностям он подходит для широкого спектра применений, что делает его незаменимым инструментом как для исследователей, так и для отраслевых экспертов.


Благодаря камере из нержавеющей стали с высоким вакуумом эта установка для нанесения покрытий обеспечивает чистую среду для осаждения пленки, сводя к минимуму загрязнение и повышая качество пленки.Прочная конструкция камеры гарантирует превосходную долговечность, обеспечивая длительную и бесперебойную работу.


Оснащенный технологией магнетронного распыления, этот аппарат для нанесения покрытий обеспечивает точное и равномерное нанесение пленки, гарантируя исключительный контроль толщины и однородности пленки.Это позволяет исследователям достигать последовательных и воспроизводимых результатов, что имеет решающее значение для точного анализа и экспериментов.


Установка для магнетронного напыления постоянного тока с тремя мишенями разработана с учетом удобства использования.Интуитивно понятный интерфейс и простые в использовании элементы управления упрощают работу даже для новичков в этой технологии.Кроме того, его компактный размер и эффективная конструкция оптимизируют использование пространства, что делает его ценным активом в любой лаборатории или производстве.


Инвестируйте в трехмишенную установку магнетронного напыления постоянного тока с высоковакуумной камерой из нержавеющей стали сегодня и откройте мир возможностей в подготовке пленки.Ощутите непревзойденную точность, надежность и универсальность и поднимите свои исследования или производство на новую высоту.Доверьтесь нашему профессиональному оборудованию, которое всегда обеспечит исключительные результаты.

Технические параметры трех целевых магнетронных распылителей:


Наименование товара

Устройство для нанесения покрытий магнетронным напылением с тремя мишенями постоянного тока

Модель продукта

TN-MSP300S-2DC1RF

Источник питания для распыления

Установлены два блока питания постоянного тока.

Мощность постоянного тока: 500 Вт  

Вакуумная камера

Вакуумная камера: диаметр 450 мм x высота 450 мм, смотровое окно из нержавеющей стали: диаметр 100 мм.

Магнетронная распылительная головка

Инструмент оснащен   три 3-дюймовых мишенных магнетронных распылительных мишенных пистолета (один из которых мощный   магнитная мишень и две мишени с постоянными магнитами), и все они имеют водяное охлаждение.   промежуточный слой, который можно охлаждать охлаждающей водой до целевого материала

Пример таблицы

Размер стола для образцов: диаметр 150 мм (стол для образцов может вращаться с регулируемой скоростью).   диапазон: 1-20 об/мин)

Максимальная температура нагрева стола для образцов составляет 750 ℃, точность контроля температуры +/- 1,0 °C.

Регулятор расхода газа

Внутри прибора установлен массовый расходомер.

Диапазон: 0-200sccm (аргон)

Поток газа можно настроить в интеллектуальной системе управления с экраном 15,6 дюйма.

Вакуумный насос

Оснащен набором молекулярных   насосная система, работающая в один клик600л/с

Вакуумметр

Вакуумметр EF Kompirani MPG400  

Диапазон измерения: 5 x 10-9 мбар -- Атмосферное давление

Толщиномер пленки

На оборудовании установлен кварцевый толщиномер вибрационной пленки.   и может контролировать толщину пленки в режиме реального времени с разрешением 0,1 А.

Напряжение

220 В 50 Гц

Примечания

1. три 3-дюймовые мишени для распыления (одна сильная магнитная мишень и две постоянные   магнитные мишени)

2.один расходомер

3. вакуумная камера из нержавеющей стали

4. группа молекулярного насоса

5. толщиномер пленки

6.два источника питания постоянного тока и один источник питания RF

7. блок водяного охлаждения

8.с вращающимся столом для образцов нагрева

Интеллектуальная система управления с экраном 9,15,6 дюйма

10. воздушный компрессор

11. пневматический задвижка с электроуправлением

12.отсечной клапан с электроуправлением

13.Электрически управляемый пневматический боковой насосный клапан

14. Вакуумметр EF kang MPG 400, диапазон измерения.


на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com