| Количество: | |
|---|---|
TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
TN
Представляем нашу современную установку для нанесения магнетронного распыления с тремя мишенями, предназначенную для прецизионного нанесения покрытий в различных отраслях промышленности. Эта передовая установка для нанесения покрытий оснащена новейшими технологиями для производства высококачественных многослойных и градуированных пленок, пленок из сложных сплавов и пленок из магнитных сплавов с исключительной точностью и эффективностью.
Установка трехмишенного магнетронного напыления способна наносить широкий спектр материалов, включая сплавы алюминия и меди, пленки кремния и германия, пермаллои (никель-железо) и CoFeB (кобальт-железо-бор). Эти материалы необходимы для производства тонкопленочных солнечных элементов, а также других электронных и оптических устройств.
Благодаря своим универсальным возможностям и превосходным характеристикам наша трехмишенная установка для магнетронного распыления является идеальным решением для научно-исследовательских лабораторий, университетов и промышленных производителей, стремящихся получить точные и равномерные покрытия на различных подложках. Инвестируйте в нашу передовую установку для нанесения покрытий сегодня и ощутите разницу в качестве и эффективности, которую она может привнести в ваши производственные процессы.
Продукт имя | Автоматический трехмишенное магнетронное напыление в высоком вакууме с программным управлением инструмент для оксидной пленки | |
Продукт модель | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
Власть напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
Полный власть | 6кВт | |
Система вакуум | ≦5×10-4Па | |
Образец этап | Dimensions | φ150 мм |
Обогрев температура | ≦850℃ | |
Температура точность управления | ±1℃ | |
Adjustable скорость | ≦20 об/мин | |
Магнетрон Распыление мишени | Цель размер | Диаметр Φ50,8 мм, толщина ≦3 мм |
Охлаждение режим | циркулирующий водяное охлаждение | |
Вода размер потока | Not менее 10 л/мин | |
Количество | 3 | |
Вакуум камера | Полость размер | Диаметр φ325 мм |
Полость материал | СУУ304 нержавеющая сталь | |
Наблюдение окно | Диаметр φ100 мм | |
Открытие метод | Вершина открытие | |
Газ контроль | 1 массовый расходомер используется для контроля расхода аргона с диапазоном 200SCCM. | |
Вакуум система | Оборудовано с 1 системой молекулярного насоса, скорость откачки газа 600 л/с. | |
Фильм измерение толщины | Необязательный измеритель толщины кварцевой пленки, разрешение 0,10 Å | |
Напыление источник питания | Оборудовано с источником питания постоянного тока, мощность 500 Вт*2, источник питания RF 300 Вт | |
Контроль система | ЦИКИ собственная разработка профессиональной системы управления | |
Оборудование размеры | 570мм×1040мм×1700мм | |
Оборудование масса | 350 кг | |
Трехмишенная установка магнетронного напыления тонких пленок сплавов представляет собой узкоспециализированное оборудование, предназначенное для нанесения сложных составов сплавов и многослойных структур. Используя три различных мишени, эта система позволяет создавать точные пленки сплавов и слоистые материалы с заданными свойствами. Вот основные области, где этот тип машины доступен и широко используется:
Многослойные и сортированные пленки: Конфигурация с тремя мишенями идеально подходит для нанесения многослойных или градуированных пленок, где различные материалы могут наноситься последовательно или одновременно. Это имеет решающее значение при производстве современных полупроводниковых устройств, включая транзисторы, конденсаторы и межсоединения.
Пленки из сложных сплавов: В микроэлектронике часто требуются пленки сплавов с особыми электрическими и термическими свойствами. Трехмишенная система позволяет точно контролировать состав таких сплавов, как алюминиево-медные сплавы или кремний-германиевые пленки.
Антибликовые и светоотражающие покрытия: Машина может наносить сложные оптические покрытия, в том числе с градиентными показателями преломления или многослойными стопками. Эти покрытия необходимы для линз, зеркал и оптических фильтров в широком спектре применений.
Чирпированные зеркала и светоделители: Эти компоненты часто требуют сложных слоев из нескольких материалов, которые можно эффективно создать с использованием трех разных целей.
Пленки из магнитных сплавов: Трехмишенное распыление используется для нанесения пленок магнитных сплавов, таких как пермаллои (никель-железо) или CoFeB (кобальт-железо-бор), которые имеют решающее значение в производстве магнитных запоминающих устройств, датчиков и компонентов спинтроники.
Спинтронные структуры: Способность создавать слоистые магнитные и немагнитные материалы является ключевой для устройств спинтроники, которые используют вращение электронов для хранения данных и логических операций.
Тонкопленочные солнечные элементы: При производстве тонкопленочных солнечных элементов, таких как CIGS (селенид меди, индия, галлия) или CZTS (сульфид меди, цинка и олова), трехмишенная система необходима для нанесения слоев поглотителя сложного сплава и прозрачных проводящих оксидов.
Компоненты аккумуляторов и топливных элементов: Трехмишенное распыление используется для нанесения пленок сплавов для электродных материалов в батареях и защитных или каталитических слоев в топливных элементах, что повышает эффективность и долговечность этих устройств.
Усовершенствованные инструментальные покрытия: Устройство для нанесения покрытий используется для создания твердых, износостойких покрытий из сплавов, таких как нитрид титана-алюминия (TiAlN) или нитрид хрома-алюминия (CrAlN), которые наносятся на режущие инструменты, формы и другие механические компоненты для улучшения их производительность.
Защитные покрытия: С помощью этой системы наносятся покрытия из сплавов, обеспечивающие коррозионную стойкость, стойкость к окислению или термические барьеры для использования в аэрокосмической, автомобильной и промышленной сферах.
Эстетические покрытия: машина может наносить многослойные или сплавные покрытия, которые обеспечивают как декоративную отделку, так и функциональные свойства (например, устойчивость к царапинам) на потребительских товарах, таких как электроника, ювелирные изделия и предметы домашнего обихода.
Архитектурные покрытия: трехцелевое напыление используется для создания покрытий на архитектурном стекле, которые повышают энергоэффективность, защиту от ультрафиолета и эстетическую привлекательность.
Разработка новых материалов: Исследователи используют трехмишенные установки для нанесения покрытий для разработки и исследования новых материалов из сплавов с особыми электронными, магнитными, оптическими или механическими свойствами. Гибкость системы позволяет быстро создавать прототипы новых материалов.
Наноструктуры и тонкопленочные устройства: В материаловедении и нанотехнологических исследованиях способность создавать сложные многокомпонентные пленки с точным контролем состава и толщины имеет неоценимое значение для изучения и разработки новых тонкопленочных устройств.
Сверхпроводящие материалы: Машина используется для нанесения пленок сверхпроводящих сплавов, таких как NbTi (ниобий-титан) или NbN (нитрид ниобия), для использования в сверхпроводящей электронике, магнитах и исследованиях высокотемпературной сверхпроводимости.
Усовершенствованные магнитные покрытия: Трехцелевое распыление позволяет создавать сложные магнитные сплавы и многослойные материалы, используемые в современных устройствах хранения данных, магнитных датчиках и приложениях спинтроники.
Биосовместимые покрытия: В биомедицинской инженерии трехцелевое распыление используется для нанесения покрытий из сплавов, которые являются биосовместимыми и подходят для медицинских имплантатов, таких как титановые сплавы или покрытия, способствующие росту клеток.
Функциональные биоматериалы: Систему также можно использовать для создания покрытий со специфическими поверхностными свойствами, например антимикробными или гидрофильными, для медицинских устройств и инструментов.
В целом, трехмишенная установка магнетронного напыления представляет собой универсальный и мощный инструмент, используемый во многих отраслях промышленности и областях исследований для нанесения тонких пленок из сложных сплавов и многослойных структур. Его способность обрабатывать три различных материала одновременно или последовательно обеспечивает точный контроль, необходимый для разработки современных материалов и устройств с индивидуальными свойствами.
Представляем нашу современную установку для нанесения магнетронного распыления с тремя мишенями, предназначенную для прецизионного нанесения покрытий в различных отраслях промышленности. Эта передовая установка для нанесения покрытий оснащена новейшими технологиями для производства высококачественных многослойных и градуированных пленок, пленок из сложных сплавов и пленок из магнитных сплавов с исключительной точностью и эффективностью.
Установка трехмишенного магнетронного напыления способна наносить широкий спектр материалов, включая сплавы алюминия и меди, пленки кремния и германия, пермаллои (никель-железо) и CoFeB (кобальт-железо-бор). Эти материалы необходимы для производства тонкопленочных солнечных элементов, а также других электронных и оптических устройств.
Благодаря своим универсальным возможностям и превосходным характеристикам наша трехмишенная установка для магнетронного распыления является идеальным решением для научно-исследовательских лабораторий, университетов и промышленных производителей, стремящихся получить точные и равномерные покрытия на различных подложках. Инвестируйте в нашу передовую установку для нанесения покрытий сегодня и ощутите разницу в качестве и эффективности, которую она может привнести в ваши производственные процессы.
Продукт имя | Автоматический трехмишенное магнетронное напыление в высоком вакууме с программным управлением инструмент для оксидной пленки | |
Продукт модель | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
Власть напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
Полный власть | 6кВт | |
Система вакуум | ≦5×10-4Па | |
Образец этап | Dimensions | φ150 мм |
Обогрев температура | ≦850℃ | |
Температура точность управления | ±1℃ | |
Adjustable скорость | ≦20 об/мин | |
Магнетрон Распыление мишени | Цель размер | Диаметр Φ50,8 мм, толщина ≦3 мм |
Охлаждение режим | циркулирующий водяное охлаждение | |
Вода размер потока | Not менее 10 л/мин | |
Количество | 3 | |
Вакуум камера | Полость размер | Диаметр φ325 мм |
Полость материал | СУУ304 нержавеющая сталь | |
Наблюдение окно | Диаметр φ100 мм | |
Открытие метод | Вершина открытие | |
Газ контроль | 1 массовый расходомер используется для контроля расхода аргона с диапазоном 200SCCM. | |
Вакуум система | Оборудовано с 1 системой молекулярного насоса, скорость откачки газа 600 л/с. | |
Фильм измерение толщины | Необязательный измеритель толщины кварцевой пленки, разрешение 0,10 Å | |
Напыление источник питания | Оборудовано с источником питания постоянного тока, мощность 500 Вт*2, источник питания RF 300 Вт | |
Контроль система | ЦИКИ собственная разработка профессиональной системы управления | |
Оборудование размеры | 570мм×1040мм×1700мм | |
Оборудование масса | 350 кг | |
Трехмишенная установка магнетронного напыления тонких пленок сплавов представляет собой узкоспециализированное оборудование, предназначенное для нанесения сложных составов сплавов и многослойных структур. Используя три различных мишени, эта система позволяет создавать точные пленки сплавов и слоистые материалы с заданными свойствами. Вот основные области, где этот тип машины доступен и широко используется:
Многослойные и сортированные пленки: Конфигурация с тремя мишенями идеально подходит для нанесения многослойных или градуированных пленок, где различные материалы могут наноситься последовательно или одновременно. Это имеет решающее значение при производстве современных полупроводниковых устройств, включая транзисторы, конденсаторы и межсоединения.
Пленки из сложных сплавов: В микроэлектронике часто требуются пленки сплавов с особыми электрическими и термическими свойствами. Трехмишенная система позволяет точно контролировать состав таких сплавов, как алюминиево-медные сплавы или кремний-германиевые пленки.
Антибликовые и светоотражающие покрытия: Машина может наносить сложные оптические покрытия, в том числе с градиентными показателями преломления или многослойными стопками. Эти покрытия необходимы для линз, зеркал и оптических фильтров в широком спектре применений.
Чирпированные зеркала и светоделители: Эти компоненты часто требуют сложных слоев из нескольких материалов, которые можно эффективно создать с использованием трех разных целей.
Пленки из магнитных сплавов: Трехмишенное распыление используется для нанесения пленок магнитных сплавов, таких как пермаллои (никель-железо) или CoFeB (кобальт-железо-бор), которые имеют решающее значение в производстве магнитных запоминающих устройств, датчиков и компонентов спинтроники.
Спинтронные структуры: Способность создавать слоистые магнитные и немагнитные материалы является ключевой для устройств спинтроники, которые используют вращение электронов для хранения данных и логических операций.
Тонкопленочные солнечные элементы: При производстве тонкопленочных солнечных элементов, таких как CIGS (селенид меди, индия, галлия) или CZTS (сульфид меди, цинка и олова), трехмишенная система необходима для нанесения слоев поглотителя сложного сплава и прозрачных проводящих оксидов.
Компоненты аккумуляторов и топливных элементов: Трехмишенное распыление используется для нанесения пленок сплавов для электродных материалов в батареях и защитных или каталитических слоев в топливных элементах, что повышает эффективность и долговечность этих устройств.
Усовершенствованные инструментальные покрытия: Устройство для нанесения покрытий используется для создания твердых, износостойких покрытий из сплавов, таких как нитрид титана-алюминия (TiAlN) или нитрид хрома-алюминия (CrAlN), которые наносятся на режущие инструменты, формы и другие механические компоненты для улучшения их производительность.
Защитные покрытия: С помощью этой системы наносятся покрытия из сплавов, обеспечивающие коррозионную стойкость, стойкость к окислению или термические барьеры для использования в аэрокосмической, автомобильной и промышленной сферах.
Эстетические покрытия: машина может наносить многослойные или сплавные покрытия, которые обеспечивают как декоративную отделку, так и функциональные свойства (например, устойчивость к царапинам) на потребительских товарах, таких как электроника, ювелирные изделия и предметы домашнего обихода.
Архитектурные покрытия: трехцелевое напыление используется для создания покрытий на архитектурном стекле, которые повышают энергоэффективность, защиту от ультрафиолета и эстетическую привлекательность.
Разработка новых материалов: Исследователи используют трехмишенные установки для нанесения покрытий для разработки и исследования новых материалов из сплавов с особыми электронными, магнитными, оптическими или механическими свойствами. Гибкость системы позволяет быстро создавать прототипы новых материалов.
Наноструктуры и тонкопленочные устройства: В материаловедении и нанотехнологических исследованиях способность создавать сложные многокомпонентные пленки с точным контролем состава и толщины имеет неоценимое значение для изучения и разработки новых тонкопленочных устройств.
Сверхпроводящие материалы: Машина используется для нанесения пленок сверхпроводящих сплавов, таких как NbTi (ниобий-титан) или NbN (нитрид ниобия), для использования в сверхпроводящей электронике, магнитах и исследованиях высокотемпературной сверхпроводимости.
Усовершенствованные магнитные покрытия: Трехцелевое распыление позволяет создавать сложные магнитные сплавы и многослойные материалы, используемые в современных устройствах хранения данных, магнитных датчиках и приложениях спинтроники.
Биосовместимые покрытия: В биомедицинской инженерии трехцелевое распыление используется для нанесения покрытий из сплавов, которые являются биосовместимыми и подходят для медицинских имплантатов, таких как титановые сплавы или покрытия, способствующие росту клеток.
Функциональные биоматериалы: Систему также можно использовать для создания покрытий со специфическими поверхностными свойствами, например антимикробными или гидрофильными, для медицинских устройств и инструментов.
В целом, трехмишенная установка магнетронного напыления представляет собой универсальный и мощный инструмент, используемый во многих отраслях промышленности и областях исследований для нанесения тонких пленок из сложных сплавов и многослойных структур. Его способность обрабатывать три различных материала одновременно или последовательно обеспечивает точный контроль, необходимый для разработки современных материалов и устройств с индивидуальными свойствами.
