| Количество: | |
|---|---|
ТН-MSP190S-1Т-УД
TN
В настольной машине магнетронного напыления с нижней мишенью используется передовая технология магнетронного распыления, позволяющая эффективно и надежно наносить пленку.Благодаря удобному интерфейсу операторы могут легко контролировать параметры нанесения и контролировать процесс нанесения покрытия в режиме реального времени.
Это устройство для нанесения покрытий способно наносить пленки на различные подложки, включая стекло, кремний и металл.Он предлагает широкий спектр материалов для осаждения, таких как металлы, сплавы и оксиды, что обеспечивает гибкость для различных исследовательских и промышленных применений.
Устройство магнетронного напыления обеспечивает превосходное качество пленки с высокой адгезией, равномерной толщиной и низкой шероховатостью поверхности.Это позволяет точно контролировать состав и толщину пленки, что приводит к стабильным и воспроизводимым свойствам пленки.
Благодаря компактному дизайну эта настольная машина для нанесения покрытий подходит для лабораторий, научно-исследовательских институтов и небольших производственных предприятий.Он требует минимального места для установки и может быть легко интегрирован в существующие установки.
Таким образом, настольная установка магнетронного напыления с нижней мишенью для чувствительной пленки с камерой из нержавеющей стали предлагает расширенные возможности осаждения пленки, точный контроль над параметрами покрытия и превосходное качество пленки.Это идеальный выбор для исследователей и специалистов, которым нужны надежные и эффективные решения для нанесения тонких пленок.
Технические параметры магнетронного напыления:
наименование товара | Настольная нижняя одномишеневая установка для нанесения покрытий из нержавеющей стали полость |
Модель продукта | ТН-MSP190S-1Т-УД (под) |
Условия установки | 1. Температура рабочей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% ± 10% относительной влажности; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность: 1000 Вт; 4. Газовое оборудование: камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600×600×700 мм, несущая способность ≥ 50 кг; 6. Позиция должна хорошо вентилироваться и охлаждаться. |
Технические индикаторы | 1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение. 600 В, ограничено выходной ток 500 мА 2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм. 4. Размер полости: снаружи. Диаметр 194, внутренний диаметр 186 мм х высота 230 мм 5. Материал полости: нержавеющая сталь 304. 6. Вращающийся нагревательный образец. стол: вращать скорость 1~20 об/мин плавная регулировка; максимальная температура нагрева 500 ℃, рекомендуется самая низкая температура скорость нагрева 10 ℃/мин, рекомендуется самая высокая скорость нагрева 20℃/мин. 7. Режим охлаждения: магнитная мишень и Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды 8. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, скорость потока 10 л/мин. 9. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газа аргон, расход 1 ~ 30 куб.см (настраиваемый). 10, Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения. 11. Интерфейс накачки воздуха. вакуумной камеры KF25 12. Интерфейс воздухозаборника Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13. Сенсорный экран 7-дюймовый цветной. сенсорный экран 14. Регулируемое распыление. ток, распыление Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума; 15、 Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум автоматически отключать ток распыления 16. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум). насос); 17、 Вакуум Измерение осуществляется вакуумметром Parana, диапазон: 1～105 Па. |
Уведомление | 1, магнетронное распыление имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярный насос. 2. Для достижения среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3 раз с инертным газом высокой чистоты。 3, магнетронное распыление чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздуха необходим массовый расходомер прием |
Необязательный аксессуар | |
Фильм толщина Монитор | 1. Разрешение толщины пленки: 0,0136 Å (алюминий). 2, точность пленки Толщина: ±0,5%, зависит от процесса условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и плотность 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, диапазон измерения может быть комплект: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц 5, подходит для пластин частота: 6 МГц подходит для размера пластины: Φ14 мм монтаж фланец: CF35 |
Другой аксессуар | · 1, высокая производительность серии CY-CZK103 комплект молекулярного насоса (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) Биполярно-роторная лопасть ВРД-4 вакуумный насос 2,КФ25 Вакуумные сильфоны;Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40 3, измеритель толщины пленки кварцевый генератор; |
В настольной машине магнетронного напыления с нижней мишенью используется передовая технология магнетронного распыления, позволяющая эффективно и надежно наносить пленку.Благодаря удобному интерфейсу операторы могут легко контролировать параметры нанесения и контролировать процесс нанесения покрытия в режиме реального времени.
Это устройство для нанесения покрытий способно наносить пленки на различные подложки, включая стекло, кремний и металл.Он предлагает широкий спектр материалов для осаждения, таких как металлы, сплавы и оксиды, что обеспечивает гибкость для различных исследовательских и промышленных применений.
Устройство магнетронного напыления обеспечивает превосходное качество пленки с высокой адгезией, равномерной толщиной и низкой шероховатостью поверхности.Это позволяет точно контролировать состав и толщину пленки, что приводит к стабильным и воспроизводимым свойствам пленки.
Благодаря компактному дизайну эта настольная машина для нанесения покрытий подходит для лабораторий, научно-исследовательских институтов и небольших производственных предприятий.Он требует минимального места для установки и может быть легко интегрирован в существующие установки.
Таким образом, настольная установка магнетронного напыления с нижней мишенью для чувствительной пленки с камерой из нержавеющей стали предлагает расширенные возможности осаждения пленки, точный контроль над параметрами покрытия и превосходное качество пленки.Это идеальный выбор для исследователей и специалистов, которым нужны надежные и эффективные решения для нанесения тонких пленок.
Технические параметры магнетронного напыления:
наименование товара | Настольная нижняя одномишеневая установка для нанесения покрытий из нержавеющей стали полость |
Модель продукта | ТН-MSP190S-1Т-УД (под) |
Условия установки | 1. Температура рабочей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% ± 10% относительной влажности; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность: 1000 Вт; 4. Газовое оборудование: камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600×600×700 мм, несущая способность ≥ 50 кг; 6. Позиция должна хорошо вентилироваться и охлаждаться. |
Технические индикаторы | 1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение. 600 В, ограничено выходной ток 500 мА 2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм. 4. Размер полости: снаружи. Диаметр 194, внутренний диаметр 186 мм х высота 230 мм 5. Материал полости: нержавеющая сталь 304. 6. Вращающийся нагревательный образец. стол: вращать скорость 1~20 об/мин плавная регулировка; максимальная температура нагрева 500 ℃, рекомендуется самая низкая температура скорость нагрева 10 ℃/мин, рекомендуется самая высокая скорость нагрева 20℃/мин. 7. Режим охлаждения: магнитная мишень и Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды 8. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, скорость потока 10 л/мин. 9. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газа аргон, расход 1 ~ 30 куб.см (настраиваемый). 10, Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения. 11. Интерфейс накачки воздуха. вакуумной камеры KF25 12. Интерфейс воздухозаборника Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13. Сенсорный экран 7-дюймовый цветной. сенсорный экран 14. Регулируемое распыление. ток, распыление Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума; 15、 Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум автоматически отключать ток распыления 16. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум). насос); 17、 Вакуум Измерение осуществляется вакуумметром Parana, диапазон: 1～105 Па. |
Уведомление | 1, магнетронное распыление имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярный насос. 2. Для достижения среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3 раз с инертным газом высокой чистоты。 3, магнетронное распыление чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздуха необходим массовый расходомер прием |
Необязательный аксессуар | |
Фильм толщина Монитор | 1. Разрешение толщины пленки: 0,0136 Å (алюминий). 2, точность пленки Толщина: ±0,5%, зависит от процесса условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и плотность 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, диапазон измерения может быть комплект: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц 5, подходит для пластин частота: 6 МГц подходит для размера пластины: Φ14 мм монтаж фланец: CF35 |
Другой аксессуар | · 1, высокая производительность серии CY-CZK103 комплект молекулярного насоса (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) Биполярно-роторная лопасть ВРД-4 вакуумный насос 2,КФ25 Вакуумные сильфоны;Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40 3, измеритель толщины пленки кварцевый генератор; |
