Вы здесь: Дом / Продукты / Устройство для нанесения магнетронного напыления / Машина для нанесения покрытий методом магнетронного напыления постоянного тока с двойной мишенью и нижней мишенью для диэлектрических пленок

Машина для нанесения покрытий методом магнетронного напыления постоянного тока с двойной мишенью и нижней мишенью для диэлектрических пленок

Машина для нанесения покрытий методом магнетронного напыления с двумя мишенями постоянного тока - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий с двумя мишенями, разработанная нашей компанией.Он оснащен источником питания постоянного тока и источником радиочастотного питания.Его можно использовать для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т. д.
штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN-MSP500S-DCRF-B

  • TN

Машина для нанесения покрытий методом магнетронного напыления с двумя мишенями постоянного тока - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий с двумя мишенями, разработанная нашей компанией.Он оснащен источником питания постоянного тока и источником радиочастотного питания.Его можно использовать для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т. Д.

Функции

а.По сравнению с традиционным плазменным распылением магнетронное распыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца;

б.Магнетронная мишень снабжена промежуточным слоем с водяным охлаждением.Водяной охладитель может эффективно отводить тепло и избегать накопления тепла на целевой поверхности, благодаря чему магнетронное покрытие может работать стабильно в течение длительного времени;

в.В этой модели используется расположение под мишенью, стол для образцов находится сверху, а высота целевой поверхности может быть точно отрегулирована с помощью программы, ее можно вращать и нагревать, что обеспечивает отличную производительность.

Технический параметр:

Модель

TN-MSP500S-DCRF-B

Вход

220 В переменного тока, 50 Гц

Суммарная мощность

6кВт

Конечная степень вакуума

5х10-4Па

Пример параметров таблицы

Размер

150 Диам.

Высота

70 мм регулируемый

Обогрев

≤500℃

Скорость вращения

1-20 об/мин

Параметры магнетронной распылительной головки

Количество

2 комплекта, 2 дюйма

Режим охлаждения

Водяное охлаждение, требуется   скорость потока10л/мин

Охладитель воды

Охлаждение циркулирующей водой 10 л/мин.

Вакуумная камера

Размер

500 ммДиам.×   490 мм высота

Материал

Нержавеющая сталь

Окно просмотра

Диаметр 100 мм.

Открытый режим

передняя открывающаяся дверь

Регулятор расхода газа

1 канал 200sccm Ar;

Вакуумный насос

Молекулярная насосная система, 600 л/с

Толщиномер пленки

Кварцевая вибрирующая пленка   толщиномер,

один   набор,Разрешение 0,10 Å

Источник питания распылителя

Источник питания постоянного тока: один   комплект,500Вт,для металлических пленок

Радиочастотный источник питания: один   комплект,500Вт,для неметаллических пленок

Рабочий режим

Универсальная компьютерная работа

Габаритные размеры

1090 мм х 900 мм х 1250 мм

Общий вес

350 кг





на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com