Вы здесь: Дом / Продукты / Устройство для нанесения магнетронного напыления / Настольный магнетронный распылитель с одной целью и полостью из нержавеющей стали для электронной пленки

Настольный магнетронный распылитель с одной целью и полостью из нержавеющей стали для электронной пленки

Настольная установка для магнетронного напыления с одной мишенью может использоваться для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т.п.По сравнению с аналогичным оборудованием, установка для нанесения магнетронного распыления с двумя мишенями не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для подготовки пленок материала в лаборатории.
штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • ТН-MSP190S-1Т-А

  • TN

Представляем нашу настольную установку для нанесения магнетронного напыления с одной мишенью и полостью из нержавеющей стали для электронной пленки.Эта усовершенствованная установка для нанесения покрытий разработана с учетом потребностей профессионалов в этой области и предлагает исключительную производительность и надежность.


Наша установка для магнетронного напыления способна изготавливать как однослойные, так и многослойные тонкие сегнетоэлектрические пленки, проводящие пленки и пленки из сплавов.Благодаря передовой технологии это устройство для нанесения покрытий обеспечивает точное и равномерное нанесение пленок, что приводит к высококачественным и стабильным результатам.


Полость нашего устройства для нанесения покрытий из нержавеющей стали обеспечивает превосходную долговечность и устойчивость к коррозии, обеспечивая длительный срок службы и оптимальную производительность.Его компактный настольный дизайн позволяет легко установить и интегрировать его в любую лабораторию или исследовательский центр.


Оснащенный современной технологией магнетронного распыления, этот аппарат для нанесения покрытий обеспечивает повышенную эффективность и производительность.Это позволяет быстро и эффективно наносить пленку, экономя драгоценное время и ресурсы.Регулируемые параметры и интуитивно понятное управление позволяют легко настроить процесс нанесения покрытия в соответствии с конкретными требованиями.


Наша настольная установка для нанесения магнетронного напыления с одной мишенью — идеальный выбор для профессионалов в области электронной киноиндустрии.Его профессиональный и элегантный дизайн в сочетании с исключительными характеристиками делает его незаменимым инструментом для любой лаборатории или исследовательского учреждения.Доверьтесь нашему устройству для нанесения покрытий, и вы получите выдающиеся результаты и поднимете процессы нанесения пленки на новую высоту.


Устройство для нанесения магнетронного распыления с одной целью Технические параметры:

наименование товара

Настольный одноцелевой   Устройство магнетронного напыления с полостью из нержавеющей стали

Модель продукта

ТН-MSP190S-1Т-А

Условия установки

1. Температура рабочей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% ± 10% относительной влажности;

2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен;

3. Номинальная мощность: 1000 Вт;

4. Газовое оборудование: камера оборудования должна быть заполнена аргоном для очистки.   Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%.

5. Требования к размеру стола: 600 мм × 600 мм × 700 мм, несущая способность ≥ 50 кг;

6. Позиция должна хорошо вентилироваться и охлаждаться.

Технические индикаторы

1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение.   600 В, ограниченный выходной ток 500 мА

2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, магнитная.   соединительная перегородка;

3. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм.

4. Размер полости: снаружи.   Диаметр 194, внутренний диаметр 186 мм х высота 230 мм

5. Материал полости: нержавеющая сталь 304.

6. Вращающийся нагревательный образец.   стол: вращать   скорость 1~20 об/мин  плавная регулировка; максимальный нагрев   температура 500℃,   Самая низкая рекомендуемая скорость нагрева 10 ℃/мин,   максимальная рекомендуемая скорость нагрева 20 ℃/мин.

7. Режим охлаждения: магнитная мишень и   Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды

8. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, расход.   скорость 10л/мин

9. Система подачи газа: массовый расходомер, тип   газ Аргон, расход 1 ~ 30 см3 (настраиваемый)

10, Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения.

11. Интерфейс накачки воздуха.   вакуумной камеры KF25

12. Интерфейс воздухозаборника   Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма

13. Сенсорный экран 7 дюймов.   цветной сенсорный экран

14. Регулируемое распыление.   ток, значение тока безопасности распыления и значение безопасного вакуума могут быть установлены;

15、  Защитная защита: перегрузка по току, слишком низкий вакуум   автоматически отключать ток распыления

16. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум).   насос);

17、 Вакуум   Измерение осуществляется вакуумметром Парана, диапазон: 1 ~ 105 Па.

Уведомление

1, магнетронное распыление   имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярными   насос.

2. Для достижения   среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3   раз с инертным газом высокой чистоты。

3, магнетронное распыление   чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздухозаборника необходим массовый расходомер

Дополнительный аксессуар

Фильм

Монитор толщины

1, толщина пленки   разрешение: 0,0136 Å (алюминий)

2, точность пленки   Толщина: ± 0,5%, это   зависит от условий процесса, особенно от положения датчика, напряжения материала,   температура и плотность  

3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, измерение   диапазон может быть установлен: 500000 Å (алюминий)

4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц

5, подходит для пластин   частота: 6 МГц  

подходит для размера пластины: Φ14 мм

монтажный фланец: CF35

Другой аксессуар

·              1, высокая производительность серии CY-CZK103   комплект молекулярного насоса (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения   10-5Па~105Па)

Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения   10-5Па~102Па)

ВРД-4 биполярный поворотный лопастной   вакуумный насос

2, Вакуумный сильфон KF25;   Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40

3, измеритель толщины пленки   кварцевый генератор;



на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com