| Количество: | |
|---|---|
TN-MSP500S-2DC-1RF
TN
трехмишенная установка магнетронного напыления с UPS для многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок
Установка для нанесения покрытия магнетронным напылением с тремя мишенями представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытия магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией.Он стандартизирован, модульен и настраиваем.
Области применения трехцелевого магнетронного распылителя:
Это устройство можно использовать для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и т.п.По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный напылитель не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для подготовки пленок материала в лаборатории.
Технические параметры устройства магнетронного напыления с тремя мишенями:
Напряжение питания | l В переменного тока 220, 60 Гц |
UPS | л 20кВА 16кВт, задержка 1 час l 16 аккумуляторов емкостью 38 Ач. |
Вакуумная камера | л Размер: Диаметр.325 мм * В 385 мм л Материал: нержавеющая сталь 304 l Обзорное окно (окно): ~4 дюйма (100 мм) со шторкой |
Образец этапа | l Верхний держатель образца l Образец таблицы: Диам.150 мм l Размер выборки: Макс.диаметр 4 дюйма л скорость вращения: 0-40 об/мин регулируемый л Температура нагрева: до 700oC l |
Охладитель воды | л Скорость потока воды: 2,3 м3/час л Мощность: 3P л Холодопроизводительность: 8250 ккал/ч. л Выходная мощность компрессора: 2,25 кВт |
Магнетронный распылительный пистолет | l 3 магнетронных распылительных пистолета диаметром 2 дюйма с автоматическим затвором l Направление распыления вверх л Диаметр цели: 2 дюйма L Магниты: редкоземельный магнит |
РФ Генератор | л 3 источника питания RF 300 Вт с автоматическим соответствием л Диапазон выходной мощности: 5 Вт ~ 300 Вт л Максимальная отраженная мощность: 100 Вт л Стабильность мощности: ±0,1% л Гармоническая составляющая: ≤-50 дБн л Источник питания: однофазный, 187–253 В переменного тока, 50/60 Гц. л Эффективность: ≥70% л Коэффициент мощности: ≥90% l Отраженная мощность (при максимальной мощности): <3 Вт л Максимальный ток нагрузки: 30ARMS л Максимальное напряжение нагрузки: 7500 ВRMS l Выходной разъем RF: 50 Ом, L29 или по индивидуальному заказу. л Время матча: 1 ~ 3 с. l Диапазон реальной части согласованного импеданса: 0 ~ 80 Ом l Диапазон мнимой части согласованного импеданса:﹣200j~﹢200j л метод охлаждения: принудительное охлаждение |
Массовый расходомер | l 3 × регулятор массового расхода MFC (Ar, O2 и N2) l Диапазоны измерения: до 20sccm l С пневматическим запорным клапаном(ами) и фильтром. |
Полное автоматическое управление с помощью ПК или ПЛК для управления | l Храните минимум 100 рецептов. l 19-дюймовый плоский контроллер |
трехмишенная установка магнетронного напыления с UPS для многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок
Установка для нанесения покрытия магнетронным напылением с тремя мишенями представляет собой экономичное оборудование для нанесения покрытия магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией.Он стандартизирован, модульен и настраиваем.
Области применения трехцелевого магнетронного распылителя:
Это устройство можно использовать для изготовления однослойных или многослойных тонких сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и т.п.По сравнению с аналогичным оборудованием, этот трехмишенный магнетронный напылитель не только широко используется, но также имеет преимущества небольшого размера и простоты эксплуатации, а также является идеальным оборудованием для подготовки пленок материала в лаборатории.
Технические параметры устройства магнетронного напыления с тремя мишенями:
Напряжение питания | l В переменного тока 220, 60 Гц |
UPS | л 20кВА 16кВт, задержка 1 час l 16 аккумуляторов емкостью 38 Ач. |
Вакуумная камера | л Размер: Диаметр.325 мм * В 385 мм л Материал: нержавеющая сталь 304 l Обзорное окно (окно): ~4 дюйма (100 мм) со шторкой |
Образец этапа | l Верхний держатель образца l Образец таблицы: Диам.150 мм l Размер выборки: Макс.диаметр 4 дюйма л скорость вращения: 0-40 об/мин регулируемый л Температура нагрева: до 700oC l |
Охладитель воды | л Скорость потока воды: 2,3 м3/час л Мощность: 3P л Холодопроизводительность: 8250 ккал/ч. л Выходная мощность компрессора: 2,25 кВт |
Магнетронный распылительный пистолет | l 3 магнетронных распылительных пистолета диаметром 2 дюйма с автоматическим затвором l Направление распыления вверх л Диаметр цели: 2 дюйма L Магниты: редкоземельный магнит |
РФ Генератор | л 3 источника питания RF 300 Вт с автоматическим соответствием л Диапазон выходной мощности: 5 Вт ~ 300 Вт л Максимальная отраженная мощность: 100 Вт л Стабильность мощности: ±0,1% л Гармоническая составляющая: ≤-50 дБн л Источник питания: однофазный, 187–253 В переменного тока, 50/60 Гц. л Эффективность: ≥70% л Коэффициент мощности: ≥90% l Отраженная мощность (при максимальной мощности): <3 Вт л Максимальный ток нагрузки: 30ARMS л Максимальное напряжение нагрузки: 7500 ВRMS l Выходной разъем RF: 50 Ом, L29 или по индивидуальному заказу. л Время матча: 1 ~ 3 с. l Диапазон реальной части согласованного импеданса: 0 ~ 80 Ом l Диапазон мнимой части согласованного импеданса:﹣200j~﹢200j л метод охлаждения: принудительное охлаждение |
Массовый расходомер | l 3 × регулятор массового расхода MFC (Ar, O2 и N2) l Диапазоны измерения: до 20sccm l С пневматическим запорным клапаном(ами) и фильтром. |
Полное автоматическое управление с помощью ПК или ПЛК для управления | l Храните минимум 100 рецептов. l 19-дюймовый плоский контроллер |
