| Количество: | |
|---|---|
TN
Этот прибор представляет собой инструмент для нанесения покрытия методом испарения в высоком вакууме, в качестве источника испарения используется корзина из вольфрамовой проволоки (или вольфрамовая лодочка), а расстояние между столом для образцов и источником испарения регулируется.Прибор может стабильно испарять металлы и некоторые органические вещества.Камера из нержавеющей стали с высоким вакуумом, хорошие характеристики уплотнения, хорошие характеристики вакуума.Камера оборудована смотровыми окнами, чтобы можно было наблюдать за процессом нанесения покрытия.Предельный вакуум 10E-4Pa системы молекулярного насоса может эффективно улучшить качество покрытия и обеспечить вакуум, необходимый для большинства экспериментов по нанесению испарительного покрытия.
В приборе для нанесения покрытия методом термического испарения в высоком вакууме используются:
Устройство для нанесения покрытий с использованием испарительного змеевика можно использовать для выращивания пленок различных видов материалов, большинства металлов и пленок некоторых органических материалов, таких как металлы, полупроводники, оксиды и т. д.
Технические параметры прибора для нанесения покрытия методом термического испарения в высоком вакууме:
Напряжение питания | Однофазный, 220 В переменного тока, 50 Гц |
Обработка внутренней стены | Электролитическая полировка |
Материал полости | нержавеющая сталь 304 |
Размер полости | Горизонтальный Φ600 мм x 500 мм |
Смотровое окно | Передняя часть φ100 мм, включая солнцезащитную пластину |
Режим открытия | Тип входной двери |
Перемотка | Φ200ммx300мм |
Скорость | 60 м/мин (регулируемая) |
Напряжение | Adjustable |
Количество деталей | 1 комплект источника испарения металла с независимая перегородка |
Напряжение электрода | 10 В |
Скорость подачи проволоки | ≤3 м/мин |
Ток испарения | Мощность 2кВт, максимальный ток 160А, регулировка точность 1А |
Испаритель | Вольфрамовая лодочка, 1 шт. |
Передний насос | Биполярный пластинчато-роторный насос, скорость откачки 1,1 л/с. |
Турбомолекулярный насос | Скорость откачки: 600 л/с; Номинальная скорость: 24000 об/мин; Время запуска: ≤4,5 мин. Режим охлаждения: водяное охлаждение + воздушное охлаждение. Интерфейс впуска: ISO150 Интерфейс выхода воздуха: KF40 Вакуум: 5,0*10-4Па (5,0*10-6мбар) Вакуумировать до давления 5,0×10-3 Па (5,0*10-5 мбар) в течение менее 40 минут. |
Композитный вакуумметр | Диапазон измерения 105Па~10-5Па. |
Точность измерения | 0,1Å |
Измеренная скорость | 100 мс-1 с/раз |
Диапазон измерения может быть установлен | 500000Å(алюминий) |
Стандартный сенсорный кристалл | 6 МГц |
Применимый размер кристалла | Φ14 мм (стандартно, 10 шт.) |
Воздушный компрессор | Воздействие на пневматический клапан с электронным управлением |
Кулер | Температура охлаждающей воды: ≦37℃ Скорость потока: 10 л/мин Мощность: 0,1 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/C Емкость бака: 9л. |
Система контроля | Автоматическое управление ПЛК Интерфейс управления: сенсорный экран + панель управления. |
Этот прибор представляет собой инструмент для нанесения покрытия методом испарения в высоком вакууме, в качестве источника испарения используется корзина из вольфрамовой проволоки (или вольфрамовая лодочка), а расстояние между столом для образцов и источником испарения регулируется.Прибор может стабильно испарять металлы и некоторые органические вещества.Камера из нержавеющей стали с высоким вакуумом, хорошие характеристики уплотнения, хорошие характеристики вакуума.Камера оборудована смотровыми окнами, чтобы можно было наблюдать за процессом нанесения покрытия.Предельный вакуум 10E-4Pa системы молекулярного насоса может эффективно улучшить качество покрытия и обеспечить вакуум, необходимый для большинства экспериментов по нанесению испарительного покрытия.
В приборе для нанесения покрытия методом термического испарения в высоком вакууме используются:
Устройство для нанесения покрытий с использованием испарительного змеевика можно использовать для выращивания пленок различных видов материалов, большинства металлов и пленок некоторых органических материалов, таких как металлы, полупроводники, оксиды и т. д.
Технические параметры прибора для нанесения покрытия методом термического испарения в высоком вакууме:
Напряжение питания | Однофазный, 220 В переменного тока, 50 Гц |
Обработка внутренней стены | Электролитическая полировка |
Материал полости | нержавеющая сталь 304 |
Размер полости | Горизонтальный Φ600 мм x 500 мм |
Смотровое окно | Передняя часть φ100 мм, включая солнцезащитную пластину |
Режим открытия | Тип входной двери |
Перемотка | Φ200ммx300мм |
Скорость | 60 м/мин (регулируемая) |
Напряжение | Adjustable |
Количество деталей | 1 комплект источника испарения металла с независимая перегородка |
Напряжение электрода | 10 В |
Скорость подачи проволоки | ≤3 м/мин |
Ток испарения | Мощность 2кВт, максимальный ток 160А, регулировка точность 1А |
Испаритель | Вольфрамовая лодочка, 1 шт. |
Передний насос | Биполярный пластинчато-роторный насос, скорость откачки 1,1 л/с. |
Турбомолекулярный насос | Скорость откачки: 600 л/с; Номинальная скорость: 24000 об/мин; Время запуска: ≤4,5 мин. Режим охлаждения: водяное охлаждение + воздушное охлаждение. Интерфейс впуска: ISO150 Интерфейс выхода воздуха: KF40 Вакуум: 5,0*10-4Па (5,0*10-6мбар) Вакуумировать до давления 5,0×10-3 Па (5,0*10-5 мбар) в течение менее 40 минут. |
Композитный вакуумметр | Диапазон измерения 105Па~10-5Па. |
Точность измерения | 0,1Å |
Измеренная скорость | 100 мс-1 с/раз |
Диапазон измерения может быть установлен | 500000Å(алюминий) |
Стандартный сенсорный кристалл | 6 МГц |
Применимый размер кристалла | Φ14 мм (стандартно, 10 шт.) |
Воздушный компрессор | Воздействие на пневматический клапан с электронным управлением |
Кулер | Температура охлаждающей воды: ≦37℃ Скорость потока: 10 л/мин Мощность: 0,1 кВт Мощность охлаждения: 50 Вт/C Емкость бака: 9л. |
Система контроля | Автоматическое управление ПЛК Интерфейс управления: сенсорный экран + панель управления. |
