штат: | |
---|---|
Количество: | |
TN
Прибор представляет собой компактную установку для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме с температурой испарения от 200 ℃ до 1700 ℃.В качестве источника испарения используется корзина из вольфрамовой проволоки, а источник испарения встроен в нижнюю часть тигля из оксида алюминия высокой чистоты.Верхняя крышка оснащена вращающимся столиком для образцов, что позволяет эффективно улучшить однородность формирования пленки.Прибор имеет высокоточную систему контроля температуры и использует метод циркуляционного нагрева, который может стабилизировать испарение металлов и органических веществ.Конструкция камеры высокого вакуума из нержавеющей стали с высокоточным молекулярным насосом позволяет достичь требований к высокому вакууму, а высокий вакуум может эффективно повысить эффективность и качество испарительного покрытия.
Это оборудование подходит для нанесения покрытий методом испарения на большинство металлов и пленки некоторых органических материалов.
Небольшая установка для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме | ||||
Образец этап | Размер | Φ65 мм | Расстояние к источнику испарения | 60 мм~100 мм регулируемый |
Роторный скорость | 1-20 об/мин регулируемый | |||
Испарение система | Испарение источник | вольфрам проволочная корзина | Макс температура | 1700℃ |
Термопара | Тип S термопара | |||
Вакуум камера | Камера размер | φ170 мм × 200 мм | Наблюдение Окно | Кварц смотровое окно φ70 |
Камера материал | Нержавеющая сталь сталь | Открытие способ | Верхняя крышка открыть | |
Вакуум система | Модель | CY-GZK103-A | Накачка интерфейс | КФ40 |
Молекулярный насос | CY-600 | Выхлоп интерфейс | КФ16 | |
Поддержка насос | Роторный лопастной насос | Вакуум измерение | Сложный вакуумметр | |
Окончательный вакуум | 1,0Э-5Па | |||
Накачка ел | Молекулярный насос: роторный 600л/с Роторный лопастной насос: 1,1 л/с всесторонний Производительность откачки: 20 минут вакуума до: 1,0E-3Па | |||
Другой параметры | Поставлять Напряжение | 220 В переменного тока, 50 Гц | Dimensions | 600мм×300мм×470мм |
Общий власть | 1,5 кВт | Общий масса | 40 кг |
Прибор представляет собой компактную установку для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме с температурой испарения от 200 ℃ до 1700 ℃.В качестве источника испарения используется корзина из вольфрамовой проволоки, а источник испарения встроен в нижнюю часть тигля из оксида алюминия высокой чистоты.Верхняя крышка оснащена вращающимся столиком для образцов, что позволяет эффективно улучшить однородность формирования пленки.Прибор имеет высокоточную систему контроля температуры и использует метод циркуляционного нагрева, который может стабилизировать испарение металлов и органических веществ.Конструкция камеры высокого вакуума из нержавеющей стали с высокоточным молекулярным насосом позволяет достичь требований к высокому вакууму, а высокий вакуум может эффективно повысить эффективность и качество испарительного покрытия.
Это оборудование подходит для нанесения покрытий методом испарения на большинство металлов и пленки некоторых органических материалов.
Небольшая установка для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме | ||||
Образец этап | Размер | Φ65 мм | Расстояние к источнику испарения | 60 мм~100 мм регулируемый |
Роторный скорость | 1-20 об/мин регулируемый | |||
Испарение система | Испарение источник | вольфрам проволочная корзина | Макс температура | 1700℃ |
Термопара | Тип S термопара | |||
Вакуум камера | Камера размер | φ170 мм × 200 мм | Наблюдение Окно | Кварц смотровое окно φ70 |
Камера материал | Нержавеющая сталь сталь | Открытие способ | Верхняя крышка открыть | |
Вакуум система | Модель | CY-GZK103-A | Накачка интерфейс | КФ40 |
Молекулярный насос | CY-600 | Выхлоп интерфейс | КФ16 | |
Поддержка насос | Роторный лопастной насос | Вакуум измерение | Сложный вакуумметр | |
Окончательный вакуум | 1,0Э-5Па | |||
Накачка ел | Молекулярный насос: роторный 600л/с Роторный лопастной насос: 1,1 л/с всесторонний Производительность откачки: 20 минут вакуума до: 1,0E-3Па | |||
Другой параметры | Поставлять Напряжение | 220 В переменного тока, 50 Гц | Dimensions | 600мм×300мм×470мм |
Общий власть | 1,5 кВт | Общий масса | 40 кг |