Высоковакуумная установка для нанесения покрытий с тремя источниками испарения с тремя источниками испарения для нано и микроэлектроники

Данное оборудование представляет собой высоковакуумную установку для нанесения покрытий с тремя источниками испарения.В оборудовании используется конструкция вакуумной камеры с передней дверью, которая имеет большое пространство камеры и высокую расширяемость, что позволяет наносить испарительное покрытие на образцы разных стилей и больших размеров.Камера оснащена верхним столиком для проб, а зажимные или зажимные детали для крепления проб могут быть выбраны в соответствии со стилем отбора проб пользователя.Предметный столик вращается и нагревается, а все операции выполняются с помощью сенсорного экрана.Группа вакуумных насосов оборудования представляет собой двухступенчатую вакуумную систему, которая состоит из биполярного пластинчато-роторного вакуумного насоса и турбомолекулярного насоса, который может обеспечить чистую и безмасляную среду высокого вакуума для экспериментов с вакуумным покрытием;Вакуумная система содержит полную систему пневматических клапанов, пользователи могут управлять одной кнопкой через сенсорный экран, реализуя такие операции, как вакуумная экстракция, непрерывный отбор проб и полное отключение.

Подробное введение:

В этом оборудовании имеется три группы источников испарения: источники испарения с вольфрамовыми лодочками и медные электроды с водяным охлаждением, которые могут выдерживать максимальный ток 260 А, а температура нагрева может достигать 1800 ℃.Он может осуществлять испарение различных тугоплавких металлов.Эти три группы являются независимыми источниками термического испарения, не вызывающими взаимного загрязнения материалов покрытия.Оборудование имеет интегрированную конструкцию, полость и часть электрического управления разделены слева и справа, что обеспечивает разделение воды и электричества и эффективно обеспечивает безопасность пользователей.Электронная часть управления представляет собой комбинацию сенсорного экрана и панели кнопок.Вспомогательные функции, такие как вакуумная система и столик для образцов, управляются одной кнопкой на сенсорном экране, а испарение при включении и контроль толщины пленки управляются независимо через панель, что одновременно максимально удобно для пользователей.Избегайте возможности неправильного использования.Оборудование имеет совершенный дизайн и превосходные характеристики и является незаменимым для высокоточных экспериментов по нанесению покрытий методом испарения в лабораториях.

Области применения:

Металлические и диэлектрические пленки

Производство тонкопленочных датчиков

Оптический элемент

Нано и микроэлектроника

Солнечная батарея

Технический параметр: