штат: | |
---|---|
Количество: | |
TN-EVH300-III-HHH-SS
TN
Установка для термоиспарения в высоком вакууме — это сложное оборудование, предназначенное для точного и эффективного нанесения тонких пленок на подложки. В этом устройстве для нанесения покрытия используется процесс термического испарения в условиях высокого вакуума, чтобы обеспечить равномерное и высококачественное осаждение пленки.
Оснащенный передовыми технологиями, этот аппарат для нанесения покрытий способен наносить широкий спектр материалов на различные подложки, что делает его пригодным для различных применений в таких отраслях, как электроника, оптика и исследования. Условия высокого вакуума гарантируют отсутствие примесей и дефектов в нанесенных пленках, что обеспечивает превосходное качество пленки.
Благодаря удобному управлению и прочной конструкции высоковакуумная установка для термоиспарения проста в эксплуатации и обслуживании, что делает ее идеальным выбором как для исследовательских, так и для производственных сред. Высокая точность и надежность делают его ценным инструментом для достижения стабильных и воспроизводимых результатов в процессах осаждения тонких пленок.
В целом, установка для термоиспарения в высоком вакууме представляет собой универсальное и эффективное решение для нанесения тонких пленок в условиях высокого вакуума, что делает его незаменимым инструментом для исследователей и производителей, стремящихся получить высококачественные пленочные покрытия на своих подложках.
Устройство для нанесения покрытий с высоким вакуумом и испарением с тремя источниками. Области применения: металлические и диэлектрические пленки, производство тонкопленочных датчиков, оптический элемент, нано- и микроэлектроника, солнечные батареи.
название продукта | Испарение в высоком вакууме с тремя источниками Коатер | |
Номер продукта | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
Образец этапа | Размер | Максимальная опора образца φ150 мм |
Функция | Вращающийся, нагрев до 500°C. | |
Источник испарения | Количество | Вольфрамовая лодка x3 |
Власть | Каждый источник испарения оснащен независимый источник питания; три источника испарения имеют в общей сложности три независимые источники питания | |
Вакуумная камера | Размер полости | φ300x400 мм |
Окно наблюдения | Передняя часть φ100 мм | |
Материал полости | нержавеющая сталь 304 | |
Открытый метод | Входная дверь | |
Контроль толщины пленки (опция) | Измерение толщины пленки кристаллического типа прибор, дополнительный многоканальный контроллер толщины пленки | |
Вакуумная система | Форвакуумный насос | Биполярный роторно-лопастной насос |
Выпускной порт | КФ16 | |
Вторичный насос | Турбомолекулярный насос | |
Выпускной порт | ISO160 | |
Измерение вакуума | Сопротивление + Ионизация Композитный вакуумметр | |
Скорость выхлопа | Механический насос 1,1 л/с. Молекулярный насос 600л/с | |
Предельный вакуум | 1,0Э-5Па | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50/60 Гц | |
Скорость откачки | Роторно-лопастной насос: 1,1 л/с. | |
Система управления | Автоматическое управление ПЛК Интерфейс управления: сенсорный экран + панель управления (сенсорный экран контролирует процесс нанесения и быстрый ввод данных; удобная для пользователя система программного обеспечения ПЛК, может быть обновлена с помощью сеть) | |
Другой | Напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Общий размер | 1200 мм х 900 мм х 1650 мм | |
Общая мощность | 5кВт | |
Общий вес | 500 кг |
Устройство для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме — это оборудование, используемое для нанесения тонких пленок на подложки посредством процесса термического испарения в среде высокого вакуума. Вот основные цели и области применения установки для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме:
Нанесение тонкой пленки: Основная цель устройства для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме — нанесение тонких пленок различных материалов, таких как металлы, полупроводники и диэлектрики, на подложки. Процесс включает нагревание материала в высоком вакууме до тех пор, пока он не испарится, а затем не конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.
Микроэлектроника и производство полупроводников: Термическое испарение используется в полупроводниковой промышленности для нанесения металлических контактов, адгезионных слоев и других проводящих пленок на полупроводниковые пластины. Это ключевой метод изготовления микроэлектронных устройств, таких как транзисторы, диоды и интегральные схемы.
Оптические покрытия: Устройство для нанесения покрытий широко используется для нанесения оптических покрытий, в том числе просветляющих покрытий, светоделителей и зеркал, на линзы, стекло и другие оптические компоненты. Среда высокого вакуума обеспечивает однородность, чистоту покрытий и желаемые оптические свойства.
Металлические и диэлектрические покрытия: Термическое испарение в высоком вакууме используется для нанесения как металлических пленок (таких как золото, серебро, алюминий), так и диэлектрических пленок (таких как диоксид кремния, диоксид титана) для различных применений, включая отражающие покрытия, конденсаторы и изолирующие слои.
Декоративные покрытия: Устройство для нанесения покрытия также используется в декоративных целях, когда тонкие металлические пленки наносятся на потребительские товары, такие как часы, ювелирные изделия и корпуса электроники, чтобы придать им металлический блеск или эстетическую привлекательность.
Исследования и разработки: В исследовательских лабораториях термическое испарение является распространенным методом подготовки тонких пленок для исследований в области материаловедения, физики и нанотехнологий. Возможность контролировать толщину и однородность пленки делает ее ценным инструментом для экспериментальных исследований и прототипирования.
Изготовление органических и неорганических устройств: Термическое испарение используется при производстве органических светоизлучающих диодов (OLED), тонкопленочных транзисторов (TFT) и другой органической электроники. Этот метод также используется при производстве неорганических тонкопленочных устройств, таких как солнечные элементы и датчики.
Применение нанотехнологий: В нанотехнологиях термическое испарение используется для нанесения тонких пленок для изготовления наноструктур и наноразмерных устройств. Среда высокого вакуума гарантирует чистоту и точность осаждения, что имеет решающее значение для наноразмерных приложений.
Барьерные и защитные покрытия: Устройство для нанесения покрытий можно использовать для нанесения защитных и барьерных покрытий на различные основания для повышения их долговечности, коррозионной стойкости и других свойств поверхности. Эти покрытия используются в различных отраслях промышленности: от упаковки до аэрокосмической промышленности.
В целом, установка для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме — это универсальный инструмент, который играет решающую роль в различных отраслях промышленности и областях исследований. Его ценят за его способность наносить однородные тонкие пленки высокой чистоты с точным контролем толщины, что делает его незаменимым для применения в микроэлектронике, оптике, материаловедении и других сферах.
Установка для термоиспарения в высоком вакууме — это сложное оборудование, предназначенное для точного и эффективного нанесения тонких пленок на подложки. В этом устройстве для нанесения покрытия используется процесс термического испарения в условиях высокого вакуума, чтобы обеспечить равномерное и высококачественное осаждение пленки.
Оснащенный передовыми технологиями, этот аппарат для нанесения покрытий способен наносить широкий спектр материалов на различные подложки, что делает его пригодным для различных применений в таких отраслях, как электроника, оптика и исследования. Условия высокого вакуума гарантируют отсутствие примесей и дефектов в нанесенных пленках, что обеспечивает превосходное качество пленки.
Благодаря удобному управлению и прочной конструкции высоковакуумная установка для термоиспарения проста в эксплуатации и обслуживании, что делает ее идеальным выбором как для исследовательских, так и для производственных сред. Высокая точность и надежность делают его ценным инструментом для достижения стабильных и воспроизводимых результатов в процессах осаждения тонких пленок.
В целом, установка для термоиспарения в высоком вакууме представляет собой универсальное и эффективное решение для нанесения тонких пленок в условиях высокого вакуума, что делает его незаменимым инструментом для исследователей и производителей, стремящихся получить высококачественные пленочные покрытия на своих подложках.
Устройство для нанесения покрытий с высоким вакуумом и испарением с тремя источниками. Области применения: металлические и диэлектрические пленки, производство тонкопленочных датчиков, оптический элемент, нано- и микроэлектроника, солнечные батареи.
название продукта | Испарение в высоком вакууме с тремя источниками Коатер | |
Номер продукта | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
Образец этапа | Размер | Максимальная опора образца φ150 мм |
Функция | Вращающийся, нагрев до 500°C. | |
Источник испарения | Количество | Вольфрамовая лодка x3 |
Власть | Каждый источник испарения оснащен независимый источник питания; три источника испарения имеют в общей сложности три независимые источники питания | |
Вакуумная камера | Размер полости | φ300x400 мм |
Окно наблюдения | Передняя часть φ100 мм | |
Материал полости | нержавеющая сталь 304 | |
Открытый метод | Входная дверь | |
Контроль толщины пленки (опция) | Измерение толщины пленки кристаллического типа прибор, дополнительный многоканальный контроллер толщины пленки | |
Вакуумная система | Форвакуумный насос | Биполярный роторно-лопастной насос |
Выпускной порт | КФ16 | |
Вторичный насос | Турбомолекулярный насос | |
Выпускной порт | ISO160 | |
Измерение вакуума | Сопротивление + Ионизация Композитный вакуумметр | |
Скорость выхлопа | Механический насос 1,1 л/с. Молекулярный насос 600л/с | |
Предельный вакуум | 1,0Э-5Па | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50/60 Гц | |
Скорость откачки | Роторно-лопастной насос: 1,1 л/с. | |
Система управления | Автоматическое управление ПЛК Интерфейс управления: сенсорный экран + панель управления (сенсорный экран контролирует процесс нанесения и быстрый ввод данных; удобная для пользователя система программного обеспечения ПЛК, может быть обновлена с помощью сеть) | |
Другой | Напряжение питания | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Общий размер | 1200 мм х 900 мм х 1650 мм | |
Общая мощность | 5кВт | |
Общий вес | 500 кг |
Устройство для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме — это оборудование, используемое для нанесения тонких пленок на подложки посредством процесса термического испарения в среде высокого вакуума. Вот основные цели и области применения установки для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме:
Нанесение тонкой пленки: Основная цель устройства для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме — нанесение тонких пленок различных материалов, таких как металлы, полупроводники и диэлектрики, на подложки. Процесс включает нагревание материала в высоком вакууме до тех пор, пока он не испарится, а затем не конденсируется на подложке, образуя тонкую пленку.
Микроэлектроника и производство полупроводников: Термическое испарение используется в полупроводниковой промышленности для нанесения металлических контактов, адгезионных слоев и других проводящих пленок на полупроводниковые пластины. Это ключевой метод изготовления микроэлектронных устройств, таких как транзисторы, диоды и интегральные схемы.
Оптические покрытия: Устройство для нанесения покрытий широко используется для нанесения оптических покрытий, в том числе просветляющих покрытий, светоделителей и зеркал, на линзы, стекло и другие оптические компоненты. Среда высокого вакуума обеспечивает однородность, чистоту покрытий и желаемые оптические свойства.
Металлические и диэлектрические покрытия: Термическое испарение в высоком вакууме используется для нанесения как металлических пленок (таких как золото, серебро, алюминий), так и диэлектрических пленок (таких как диоксид кремния, диоксид титана) для различных применений, включая отражающие покрытия, конденсаторы и изолирующие слои.
Декоративные покрытия: Устройство для нанесения покрытия также используется в декоративных целях, когда тонкие металлические пленки наносятся на потребительские товары, такие как часы, ювелирные изделия и корпуса электроники, чтобы придать им металлический блеск или эстетическую привлекательность.
Исследования и разработки: В исследовательских лабораториях термическое испарение является распространенным методом подготовки тонких пленок для исследований в области материаловедения, физики и нанотехнологий. Возможность контролировать толщину и однородность пленки делает ее ценным инструментом для экспериментальных исследований и прототипирования.
Изготовление органических и неорганических устройств: Термическое испарение используется при производстве органических светоизлучающих диодов (OLED), тонкопленочных транзисторов (TFT) и другой органической электроники. Этот метод также используется при производстве неорганических тонкопленочных устройств, таких как солнечные элементы и датчики.
Применение нанотехнологий: В нанотехнологиях термическое испарение используется для нанесения тонких пленок для изготовления наноструктур и наноразмерных устройств. Среда высокого вакуума гарантирует чистоту и точность осаждения, что имеет решающее значение для наноразмерных приложений.
Барьерные и защитные покрытия: Устройство для нанесения покрытий можно использовать для нанесения защитных и барьерных покрытий на различные основания для повышения их долговечности, коррозионной стойкости и других свойств поверхности. Эти покрытия используются в различных отраслях промышленности: от упаковки до аэрокосмической промышленности.
В целом, установка для нанесения покрытий методом термического испарения в высоком вакууме — это универсальный инструмент, который играет решающую роль в различных отраслях промышленности и областях исследований. Его ценят за его способность наносить однородные тонкие пленки высокой чистоты с точным контролем толщины, что делает его незаменимым для применения в микроэлектронике, оптике, материаловедении и других сферах.