Настольный аппарат для нанесения покрытий с термическим испарением и столом для образцов с водяным охлаждением для осаждения металлов в перовскитовых солнечных элементах

Продукт   Модель

TN-EVP195S-2S-WT（Т   означает высокий резервуар; W означает стол для проб с водяным охлаждением）

Монтаж   Condition

1、Работа   температура окружающей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной влажности;

2、Оборудование   источник питания: 220 В переменного тока, 50 Гц,   должен быть хорошо заземлен;

3, рейтинг   мощность: 2500 Вт;

4、Оборудование   для газа: Камера оборудования должна быть заполнена аргоном.   газ для очистки.Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%.

5、Стол   Требования к размеру: 600×600×700 мм, подшипник   вместимость ≥ 70 кг;

6、   Помещение должно хорошо вентилироваться и охлаждаться.

Технический   Индикаторы

1、  Число   количество источников испарения: 2, каждый источник испарения снабжен перегородкой;

2、 Испарение   напряжение источника: 10 В

3、   ток испарения плавно регулируется от 0 до 100 А.

4、 С   две вольфрамовые лодочки, две вольфрамовые корзины;

5, нержавеющая сталь   стальная вращающаяся верхняя платформа для образцов с водяным охлаждением, диаметр 100 мм,   скорость вращения 1~20 об/мин, плавная регулировка;

6、   расстояние между платформой для проб и источником испарения — 300 мм;

7、   Интерфейс водяного охлаждения стола для образцов представляет собой быстросъемный разъем диаметром 6 мм,   который должен быть оборудован охладителем циркуляционной воды.

8、   вакуумная полость представляет собой полость из нержавеющей стали с внешним диаметром 195 мм,    внутренний диаметр 185 мм и высота   350 мм;

9, Кварц   смотровое окно с перегородкой, размер φ60 мм

10、   интерфейс накачки воздуха вакуумной камеры – KF40;

11、 Воздух   Впускной интерфейс представляет собой двойное уплотнительное соединение 1/4 дюйма, точная настройка из нержавеющей стали.   по умолчанию предусмотрен клапан для регулировки забора воздуха;

12、 Коснитесь   экран 7-дюймовый цветной сенсорный экран;

13、 Регулируемый   ток распыления, значение безопасного тока распыления и безопасный вакуум   значение может быть установлено;

14、  безопасность   Защита: перегрузка по току, вакуум слишком низкий, автоматически отключается   ток распыления;

15、 Ultimate   вакуум: 1 Па (соответствующий двухступенчатый пластинчато-роторный насос);

16、 Вакуум   измерение - вакуумметр Parana, диапазон   составляет: 1～105Па

Уведомление

1、 В   Чтобы в полной мере раскрыть вакуумные характеристики полости, необходимо   рекомендуется использовать его с группой молекулярного насоса.

2、 Это   Рекомендуется купить водяной охладитель CW3000 или лучший циркуляционный водяной охладитель.

Необязательный   аксессуар

Фильм

Монитор толщины

1, фильм   Разрешение по толщине: 0,0136 Å (алюминий)

2, Точность   Толщина пленки: ±0,5%, зависит от условий процесса, особенно от датчика   положение, напряжение материала, температура и плотность  

3. Измерение   Скорость: от 100 мс до 1 с за раз, измерение   диапазон может быть установлен: 500000 Å (алюминий)

4、Стандарт   кристалл датчика: 6 МГц

5. Подходит   для частоты пластины: 6 МГц

подходящий   для размера пластины: Φ14 мм

монтаж   фланец: CF35

Другой   Аксессуар

1, вольфрам   лодочка, вольфрамовая корзина;

2、 Органический   источник испарения (включая кварцевую лодочку и источник нагрева из вольфрамовой проволоки)

3、   количество источников испарения может быть выбрано 1-2 группы;

4, CY-CZK103   Высокопроизводительный комплект молекулярного насоса серии (включая композитный вакуумметр,   диапазон измерения 10-5Па~105Па);

Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая   композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па)

ВРД-4   биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос;

5、 CW3000   Охладитель циркуляционной воды (с воздушным охлаждением, скорость потока 10 л в минуту)

6, КФ40   Вакуумные сильфоны;Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40;

7、 Фильм   кварцевый генератор толщиномера;