| Количество: | |
|---|---|
TN
Представляем нашу установку для нанесения покрытий методом испарения с тремя источниками и перчаточным ящиком с одной станцией для перовскитных солнечных батарей.Это передовое оборудование служит важным экспериментальным инструментом, позволяющим исследователям углубиться в область тонкопленочных солнечных элементов нового поколения, включая CdTe, сульфидные и перовскитовые солнечные элементы.
Созданная с точностью и инновациями, наша установка для нанесения термоиспарительного покрытия демонстрирует непревзойденную производительность и надежность.Это дает ученым и инженерам возможность проводить сложные эксперименты и исследовать потенциал этих передовых технологий солнечных батарей.
Благодаря трем различным источникам этот аппарат для нанесения покрытий дает исследователям возможность наносить на подложки несколько материалов, облегчая создание сложных многослойных структур.Эта возможность жизненно важна для оптимизации эффективности и производительности тонкопленочных солнечных элементов.
Кроме того, наш перчаточный бокс с одной станцией обеспечивает контролируемую и свободную от загрязнений среду, сохраняя целостность чувствительных материалов во время процесса осаждения.Эта особенность имеет решающее значение для поддержания высоких стандартов качества, необходимых для перовскитных солнечных элементов.
Разработанная с максимальным профессионализмом, наша установка для нанесения покрытий с тремя источниками испарения и перчаточным ящиком с одной станцией воплощает в себе надежность, точность и эффективность.Он снабжает исследователей инструментами, необходимыми для того, чтобы расширить границы технологии тонкопленочных солнечных батарей и проложить путь к устойчивому будущему.
Инвестируйте в наше современное оборудование и присоединяйтесь к авангарду исследований солнечных батарей.Почувствуйте разницу, которую наша установка для нанесения термического испарения может внести в ваши научные начинания.
III.Технические параметры:
1. Вакуум Камера | ||
Появление | 1 комплект высококачественной вакуумной камеры из нержавеющей стали 304 D-образной формы, внутренняя размер вакуумной камеры D400*480мм, передняя и задняя двойные двери, а задняя дверь имеет распашную квадратную дверь, что удобно для очистка вакуумной камеры, внутренняя отладка, техническое обслуживание и выборочные образцы; передняя дверь оснащена квадратной дверью с горизонтальным вытягиванием, а каждая передняя и задняя дверь оборудован 1 комплектом окон DN100; | |
Нижний | 2 наборы интерфейсов металлических источников, 4 набора интерфейсов органических источников, 1 комплект интерфейса молекулярного насоса, 2 комплекта осветительных интерфейсов и 3 комплекта пленки интерфейсы датчиков толщины; | |
Вершина | 1 комплект интерфейса предметного столика, 1 комплект интерфейса электрической перегородки, 1 комплект интерфейс высоковакуумного пневматического перегородочного клапана; | |
Левый сторона | 1 набор интерфейса высоковакуумного пневматического клапана створки. | |
2.Металл/Органический Исходная система | ||
Металл источник | Количество: 2 комплекта 2 наборы медных электродов с водяным охлаждением, совместимых с испарительными лодочками (вольфрамовые, молибденовые и танталовые лодочки) и спиральные проволоки, снабженные пневматические перегородки, 1 комплект источника постоянного тока мощностью 1 кВт (цифровой дисплей), точность регулировки тока 1А (тонкая регулировка), мощность соответствует общее Испарение металлов и оксидов металлов; | |
Органический источник | Количество: 4 комплекта 4CC кварцевая лодочка, 2 источника питания для контроля температуры (измеритель температуры точность отображения 0,1°C), диапазон температур: RT~500°C (контроль температуры) точность ±1°С), с пневматической перегородкой; | |
перегородка | источники испарения независимы друг от друга, а перегородка разделены во избежание перекрестного загрязнения | |
3. Образец Сценическая система | ||
Субстрат rotation | скорость плавно регулируется от 0 до 30 об/мин; | |
Субстрат подъем | Электрический при подъеме расстояние между подложкой и источником испарения составляет 200–300 мм. плавная регулировка с помощью сенсорного экрана; | |
Образец держатель | 20*20 мм подложка 8 шт. | |
Субстрат затвор | Электрический затвор | |
4. Вакуум Система | ||
Вакуум насосный агрегат | 1) 1 комплект молекулярного насоса производительностью 600 л/с; 2) 1 комплект пластинчато-роторного насоса производительностью 8 л/с. 3) 1 комплект пневматической задвижки высокого вакуума CF150; 4) 1 комплект пневматического клапана высокого вакуума CF40; 5) 2 комплекта высоковакуумных пневматических заслонок KF16; 6) 1 комплект пневматического клапана высокого вакуума KF40; 7) 1 комплект вакуумного электромагнитного клапана KF40; 8) 2 комплекта соединительных шлангов клапана насоса KF40, 1 комплект тройника KF40; 9) 1 комплект цифрового вакуумметра (диапазон измерения: 1×105~1×10-5Па) | |
5. Фильм Система контроля толщины | ||
Фильм толщиномер | 1 комплект трехканального монитора толщины кварцевой пленки | |
Фильм датчик толщины | 3 комплекты датчиков толщины пленки CF35 с водяным охлаждением | |
6.Оборудование Rack | ||
1) 1 комплект сварной рамы из квадратных труб из 40 углеродистой стали; 2) 4 универсальных колеса, перемещайте и регулируйте; 3) 4 ножки M16, зафиксированные и установленные. | ||
7. Электронный Система контроля | ||
Власть поставка источника металла | 1 набор | |
Власть поставка органического источника | 2 комплекты (один на двоих) | |
Испарение источник питания с перегородкой | 1 набор | |
Трехканальный монитор толщины кварцевой пленки | 1 набор | |
Образец стол и его перегородка, блок питания | 1 набор | |
Выпечка источник питания освещения | 1 набор | |
ПЛК контроль | 1 комплект, оснащенный сенсорным экраном | |
Общий источник питания управления | 1 набор | |
8. Одинокий Перчаточный ящик рабочей станции (С съемный левый борт, нет системы газоочистки и анализаторов) | ||
Камера размер | Л1200* Ш750* В900мм | |
Перчатки | 1 пара | |
Большой прихожая | Внутренний диаметр 360мм, длина 600мм | |
Маленький прихожая | Внутренний диаметр 150мм, длина 300мм | |
9.Другое Параметры | ||
1) Защита от потери фазы, защита от неправильной эксплуатации, блокировка соединения и один ключ функции вакуумного запуска и остановки; 2) Электропитание: двухфазная система электропитания ~220 В (пиковая мощность 3 кВт); 3) Водоснабжение: небольшой охладитель, температура охлаждающей воды 5℃～35℃, температура рабочей среды: 10℃～40℃; 4) Подача воздуха: небольшой безмасляный бесшумный воздушный насос, обеспечивающий давление воздуха 0,2-0,3 МПа. для привода пневмоклапанов; 5) Предельный вакуум: 6×10-5Па, время от атмосферы до 6×10-4Па менее 35 минут (заполнить сухим азотом), отключить на 12 часов степень вакуума≤10Па. | ||
Представляем нашу установку для нанесения покрытий методом испарения с тремя источниками и перчаточным ящиком с одной станцией для перовскитных солнечных батарей.Это передовое оборудование служит важным экспериментальным инструментом, позволяющим исследователям углубиться в область тонкопленочных солнечных элементов нового поколения, включая CdTe, сульфидные и перовскитовые солнечные элементы.
Созданная с точностью и инновациями, наша установка для нанесения термоиспарительного покрытия демонстрирует непревзойденную производительность и надежность.Это дает ученым и инженерам возможность проводить сложные эксперименты и исследовать потенциал этих передовых технологий солнечных батарей.
Благодаря трем различным источникам этот аппарат для нанесения покрытий дает исследователям возможность наносить на подложки несколько материалов, облегчая создание сложных многослойных структур.Эта возможность жизненно важна для оптимизации эффективности и производительности тонкопленочных солнечных элементов.
Кроме того, наш перчаточный бокс с одной станцией обеспечивает контролируемую и свободную от загрязнений среду, сохраняя целостность чувствительных материалов во время процесса осаждения.Эта особенность имеет решающее значение для поддержания высоких стандартов качества, необходимых для перовскитных солнечных элементов.
Разработанная с максимальным профессионализмом, наша установка для нанесения покрытий с тремя источниками испарения и перчаточным ящиком с одной станцией воплощает в себе надежность, точность и эффективность.Он снабжает исследователей инструментами, необходимыми для того, чтобы расширить границы технологии тонкопленочных солнечных батарей и проложить путь к устойчивому будущему.
Инвестируйте в наше современное оборудование и присоединяйтесь к авангарду исследований солнечных батарей.Почувствуйте разницу, которую наша установка для нанесения термического испарения может внести в ваши научные начинания.
III.Технические параметры:
1. Вакуум Камера | ||
Появление | 1 комплект высококачественной вакуумной камеры из нержавеющей стали 304 D-образной формы, внутренняя размер вакуумной камеры D400*480мм, передняя и задняя двойные двери, а задняя дверь имеет распашную квадратную дверь, что удобно для очистка вакуумной камеры, внутренняя отладка, техническое обслуживание и выборочные образцы; передняя дверь оснащена квадратной дверью с горизонтальным вытягиванием, а каждая передняя и задняя дверь оборудован 1 комплектом окон DN100; | |
Нижний | 2 наборы интерфейсов металлических источников, 4 набора интерфейсов органических источников, 1 комплект интерфейса молекулярного насоса, 2 комплекта осветительных интерфейсов и 3 комплекта пленки интерфейсы датчиков толщины; | |
Вершина | 1 комплект интерфейса предметного столика, 1 комплект интерфейса электрической перегородки, 1 комплект интерфейс высоковакуумного пневматического перегородочного клапана; | |
Левый сторона | 1 набор интерфейса высоковакуумного пневматического клапана створки. | |
2.Металл/Органический Исходная система | ||
Металл источник | Количество: 2 комплекта 2 наборы медных электродов с водяным охлаждением, совместимых с испарительными лодочками (вольфрамовые, молибденовые и танталовые лодочки) и спиральные проволоки, снабженные пневматические перегородки, 1 комплект источника постоянного тока мощностью 1 кВт (цифровой дисплей), точность регулировки тока 1А (тонкая регулировка), мощность соответствует общее Испарение металлов и оксидов металлов; | |
Органический источник | Количество: 4 комплекта 4CC кварцевая лодочка, 2 источника питания для контроля температуры (измеритель температуры точность отображения 0,1°C), диапазон температур: RT~500°C (контроль температуры) точность ±1°С), с пневматической перегородкой; | |
перегородка | источники испарения независимы друг от друга, а перегородка разделены во избежание перекрестного загрязнения | |
3. Образец Сценическая система | ||
Субстрат rotation | скорость плавно регулируется от 0 до 30 об/мин; | |
Субстрат подъем | Электрический при подъеме расстояние между подложкой и источником испарения составляет 200–300 мм. плавная регулировка с помощью сенсорного экрана; | |
Образец держатель | 20*20 мм подложка 8 шт. | |
Субстрат затвор | Электрический затвор | |
4. Вакуум Система | ||
Вакуум насосный агрегат | 1) 1 комплект молекулярного насоса производительностью 600 л/с; 2) 1 комплект пластинчато-роторного насоса производительностью 8 л/с. 3) 1 комплект пневматической задвижки высокого вакуума CF150; 4) 1 комплект пневматического клапана высокого вакуума CF40; 5) 2 комплекта высоковакуумных пневматических заслонок KF16; 6) 1 комплект пневматического клапана высокого вакуума KF40; 7) 1 комплект вакуумного электромагнитного клапана KF40; 8) 2 комплекта соединительных шлангов клапана насоса KF40, 1 комплект тройника KF40; 9) 1 комплект цифрового вакуумметра (диапазон измерения: 1×105~1×10-5Па) | |
5. Фильм Система контроля толщины | ||
Фильм толщиномер | 1 комплект трехканального монитора толщины кварцевой пленки | |
Фильм датчик толщины | 3 комплекты датчиков толщины пленки CF35 с водяным охлаждением | |
6.Оборудование Rack | ||
1) 1 комплект сварной рамы из квадратных труб из 40 углеродистой стали; 2) 4 универсальных колеса, перемещайте и регулируйте; 3) 4 ножки M16, зафиксированные и установленные. | ||
7. Электронный Система контроля | ||
Власть поставка источника металла | 1 набор | |
Власть поставка органического источника | 2 комплекты (один на двоих) | |
Испарение источник питания с перегородкой | 1 набор | |
Трехканальный монитор толщины кварцевой пленки | 1 набор | |
Образец стол и его перегородка, блок питания | 1 набор | |
Выпечка источник питания освещения | 1 набор | |
ПЛК контроль | 1 комплект, оснащенный сенсорным экраном | |
Общий источник питания управления | 1 набор | |
8. Одинокий Перчаточный ящик рабочей станции (С съемный левый борт, нет системы газоочистки и анализаторов) | ||
Камера размер | Л1200* Ш750* В900мм | |
Перчатки | 1 пара | |
Большой прихожая | Внутренний диаметр 360мм, длина 600мм | |
Маленький прихожая | Внутренний диаметр 150мм, длина 300мм | |
9.Другое Параметры | ||
1) Защита от потери фазы, защита от неправильной эксплуатации, блокировка соединения и один ключ функции вакуумного запуска и остановки; 2) Электропитание: двухфазная система электропитания ~220 В (пиковая мощность 3 кВт); 3) Водоснабжение: небольшой охладитель, температура охлаждающей воды 5℃～35℃, температура рабочей среды: 10℃～40℃; 4) Подача воздуха: небольшой безмасляный бесшумный воздушный насос, обеспечивающий давление воздуха 0,2-0,3 МПа. для привода пневмоклапанов; 5) Предельный вакуум: 6×10-5Па, время от атмосферы до 6×10-4Па менее 35 минут (заполнить сухим азотом), отключить на 12 часов степень вакуума≤10Па. | ||
