Небольшое устройство термического испарения для перчаточного бокса с кварцевой камерой чистоты

Продукт   Модель

TN-EVP180G-1S-G（G   означает перчаточный ящик)

Условия установки

1、Работа   температура окружающей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной влажности;

2、Оборудование   источник питания: 220 В переменного тока, 50 Гц,   должен быть хорошо заземлен;

3, рейтинг   мощность: 1200 Вт;

4、Оборудование   для газа: Камера оборудования должна быть заполнена аргоном.   газ для очистки.Заказчик должен подготовить аргон чистотой ≥99,99%.

5、Стол   Требования к размеру: 580 мм×250 мм×330 мм, подшипник   вместимость ≥ 30 кг;

6、   Помещение должно хорошо вентилироваться и охлаждаться.

Технические индикаторы

1, источник испарения   напряжение: 10 В

2、 Ток испарения   плавно регулируется от 0 до 100 А

3、 С вольфрамовой лодочкой   вольфрамовая корзина;

4、  нержавеющая сталь   стол для образцов, диаметр 60мм;

5、  Расстояние   между платформой для проб и источником испарения регулируется от 20   до 55 мм;

6、 Вакуумная полость представляет собой   кварцевая полость диаметром 180 мм и высотой 100 мм;；

7. Интерфейс накачки воздуха.   вакуумной камеры KF16

8. Интерфейс воздухозаборника   Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма

9. Сенсорный экран 7 дюймов.   цветной сенсорный экран

10. Регулируемое распыление.   ток, распыление   Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума;

11、  защита безопасности:   перегрузка по току, вакуум слишком низкий, автоматически отключается ток распыления

12. Максимальный вакуум: 5E-4Pa (соответствует   молекулярный насос);

13、 Измерение вакуума   Вакуумметр Парана ，   диапазон: 1～10⁵Па

Уведомление

1. Для материалов, которые   чувствительны к кислороду, рекомендуется добавить группу молекулярного насоса.

2、Для достижения   среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3   раз с инертным газом высокой чистоты.

Необязательный   аксессуар

Фильм

толщина   Монитор

1, Толщина пленки   разрешение: 0,0136 Å (алюминий)

2, Точность пленки   толщина: ±0,5%, зависит от условий процесса, особенно от датчика   положение, напряжение материала, температура и плотность  

3. Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз, диапазон измерения может быть установлен: 500 000 Å (алюминий).

4. Стандартный датчик   кристалл: 6 МГц

5. Подходит для   Частота пластины: 6 МГц

подходит для размера пластины: Φ14 мм

монтажный фланец: CF35

Другой аксессуар

1, вольфрамовая лодочка, вольфрам   корзина;

2. Органическое испарение.   источник (включая кварцевую лодочку и источник нагрева из вольфрамовой проволоки)

3, серия TN-CZK103 высокая   Комплект молекулярного насоса производительности (включая композитный вакуумметр, измерительный   диапазон 10-5Па~105Па);

Комплект малых молекулярных насосов серии TN-GZK60 (включая   композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па)

Биполярно-роторная лопасть ВРД-4   вакуумный насос

4, КФ40   Вакуумные сильфоны;Длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF40;

5, фильм   кварцевый генератор толщиномера;