Настольная установка для нанесения покрытий методом термического испарения с электрической подъемной платформой для нанесения образцов металлической пленки

Модель продукта

TN-EVP195S-1S-LT（T означает высокий бак; L означает   поднимать)

Условия установки

1、Работа   температура окружающей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной влажности;

2, мощность оборудования   питание: 220 В переменного тока, 50 Гц, должно быть хорошо заземлено;

3. Номинальная мощность: 2500 Вт;

4、Оборудование для   газ: оборудование   Для очистки камера должна быть заполнена аргоном.Клиент должен   подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%.

5. Размер стола   Требования: 600×600×700 мм, несущая способность ≥ 70 кг;

6. Позиция должна   хорошо вентилироваться и охлаждаться.

Технические индикаторы

1、  Количество источников испарения: 2, каждый   источник испарения оснащен перегородкой;

2. Напряжение источника испарения: 10 В.

3. Ток испарения плавно регулируется.   от 0 до 100А

4. С 1 вольфрамовой лодочкой, 1 вольфрамовой корзиной;

5. Электрическая подъемная платформа для образцов из нержавеющей стали,   диаметр 100 мм, скорость вращения 1–20 об/мин, плавная регулировка;

6、 Расстояние между образцом и местом испарения   источник плавно регулируется от 190 до 300 мм, а также может быть отрегулирован   вверх и вниз в состоянии вакуума;

7. Вакуумная полость представляет собой полость из нержавеющей стали с   внешний диаметр 195 мм,  а   внутренний диаметр 185 мм и высота 350 мм;

8、 Верхняя часть   крышка уплотнена фланцем ISO для облегчения разборки и осмотра;

9、 Полость снабжена передней дверью и   кварцевое смотровое окно с перегородкой, размер   φ60 мм

10、 Интерфейс накачки воздуха вакуумной камеры   КФ40;

11. Интерфейс воздухозаборника представляет собой двойной наконечник диаметром 1/4 дюйма.   соединение, клапан точной настройки из нержавеющей стали предоставляется по умолчанию для   отрегулировать воздухозаборник;

12. Сенсорный экран представляет собой 7-дюймовый цветной сенсорный экран;

13. Регулируемый ток распыления, значение безопасного тока распыления и безопасный вакуум.   значение может быть установлено;

14、  Защитная защита: перегрузка по току, вакуум тоже   низкий уровень автоматического отключения тока распыления;

15. Максимальный вакуум: 1 Па (соответствующий двухступенчатый пластинчато-роторный насос);

Уведомление

1. Чтобы в полной мере реализовать вакуумные характеристики полости, необходимо   рекомендуется использовать его с группой молекулярного насоса.

Дополнительный аксессуар

Фильм

Монитор толщины

1, Толщина пленки   разрешение: 0,0136Å (алюминий)

2, Точность пленки   толщина: ±0,5%, зависит от условий процесса, особенно от датчика   положение, напряжение материала, температура и плотность  

3. Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз, диапазон измерения может быть установлен: 500 000 Å (алюминий).

4. Стандартный датчик   кристалл: 6 МГц

5. Подходит для   Частота пластины: 6 МГц

подходит для размера пластины: Φ14 мм

монтажный фланец: CF35

Другой аксессуар

1, вольфрамовая лодочка, вольфрамовая корзина;

2. Органический источник испарения (включая кварцевую лодочку).   и источник нагрева вольфрамовой проволоки)

3、 Можно выбрать количество источников испарения.   1~2 группы;

4. Высокопроизводительный молекулярный насос серии CY-CZK103.   комплект (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па);

Серия CY-GZK60 маленькая   комплект молекулярного насоса (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения   10-5Па~102Па)

Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос VRD-4;

5. Охладитель циркуляционной воды CW3000 (с воздушным охлаждением, поток   скорость 10л в минуту)

6、 Вакуумные сильфоны KF40;Длина может быть 0,5м, 1м или   1,5м.Зажимной кронштейн KF40;

7. Кварцевый генератор для измерения толщины пленки;