| Количество: | |
|---|---|
ТН-VTC-DC
TN
В этой установке для нанесения покрытий используется технология магнетронного распыления постоянного тока, обеспечивающая эффективное и равномерное осаждение пленки.Он способен наносить пленки на различные подложки, включая стекло, кремний и металл, с превосходной адгезией и однородностью.
Одноцелевая конструкция этого устройства для нанесения покрытий позволяет наносить однослойные пленки, а также последовательно наносить несколько слоев для создания пленочных структур сложной структуры.Благодаря регулируемой мощности распыления и времени осаждения он обеспечивает гибкость в достижении желаемой толщины и свойств пленки.
Оснащенная надежной вакуумной системой, эта установка для нанесения покрытия может достигать высокого уровня вакуума, обеспечивая среду без загрязнений в процессе нанесения покрытия.Камера из нержавеющей стали обеспечивает превосходную устойчивость к коррозии и обеспечивает длительную работу.
Удобный интерфейс и интуитивно понятная панель управления делают работу простой и удобной.Устройство для нанесения покрытий оснащено расширенными функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и автоматическое отключение, обеспечивая безопасность как пользователя, так и оборудования.
Будь то исследовательские лаборатории или промышленные предприятия, эта установка для нанесения покрытий с помощью магнетронного напыления постоянного тока с камерой высокого вакуума из нержавеющей стали является идеальным выбором для точного и надежного осаждения тонких пленок.Его универсальность и прочная конструкция делают его пригодным для широкого спектра применений, включая материаловедение, электронику, оптику и многое другое.
Технические параметры одноцелевого магнетронного распылителя:
Прибор для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока с одной мишенью | ||
Образец этапа | Dimensions | φ185 мм |
Диапазон нагрева | Комнатная температура ~ 500 ℃ | |
Регулируемая скорость | 1-20 об/мин регулируемый | |
magnetic контроль цель пистолет | Целевая плоскость | Цель круглой плоскости |
Напыление вакуумное | 10 Па~0,2 Па | |
Диаметр цели | 50～50,8 мм | |
Целевая толщина | 2~5 мм | |
Напряжение изоляции | >2000В | |
Характеристики кабеля | СЛ-16 | |
Целевая температура головки | ℃65℃ | |
настоящий нулевой Полость тело | Обработка внутренней стены | Электролитическая полировка |
Размер полости | φ300 мм × 300 мм | |
Материал полости | нержавеющая сталь 304 | |
Окно наблюдения | Кварцевое окно, диаметр φ100 мм. | |
Открытый метод | Верхнее отверстие, вспомогательная опора цилиндра | |
газ тело контроль система | Управление потоком | Массовый расходомер, диапазон 0～200SCCM, аргон |
Тип регулирующего клапана | Соленоидный клапан | |
Статическое состояние регулирующего клапана | Нормально закрытый | |
Измерение линейности | ±1,5% полной шкалы | |
Повторяемость измерений | ±0,2% полной шкалы | |
Измерение времени отклика | ≤8 секунд (T95) | |
Диапазон рабочего давления | 0,3 МПа | |
Давление корпуса клапана | 3МПа | |
Рабочая температура | （5～45）℃ | |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L | |
Скорость утечки корпуса клапана | 1×10-8Па.м3/с | |
Соединения труб | 1/4″Компрессионный фитинг | |
Входной и выходной сигнал | 0~5В | |
Источник питания | ±15 В（±5%）（＋15В 50мА, －15 В 200 мА） | |
Габаритные размеры мм | 130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина) | |
Коммуникационный интерфейс | Протокол RS485 MODBUS | |
источник постоянного тока | Власть | 500 Вт |
Выходное напряжение | 0～600В | |
Продолжительность синхронизации | 65000 секунд | |
Время начала | 1~10 секунд | |
Измерение толщины пленки | Требования к питанию | Постоянный ток: 5 В (± 10%) Максимальный ток 400 мА |
Разрешение | ±0,03 Гц (5–6 МГц), 0,0136 Å / измерение (алюминий) | |
Точность измерения | ±0,5% толщины + 1 отсчет | |
Период измерения | 100 мс~1 с/время (можно установить) | |
Диапазон измерения | 500 000 Å (алюминий) | |
Кристаллическая частота | 6 МГц | |
Коммуникационный интерфейс | Последовательный интерфейс RS-232/485 | |
Отображать цифры | 8-значный светодиодный дисплей | |
Молекулярный насос | Скорость откачки молекулярного насоса | 80л/с |
Номинальная скорость | 65000 об/мин | |
Значение вибрации | ≦0,1 мкм | |
Время начала | ≦4,5 мин. | |
Время простоя | <7мин | |
Метод охлаждения | с воздушным охлаждением | |
Температура охлаждающей воды | ≦37℃ | |
Расход охлаждающей воды | 1л/мин | |
Направление установки | Вертикально ±5° | |
Всасывающий порт | 150CF | |
Вытяжное соединение | КФ40 | |
Форвальный насос | Скорость откачки | 1,1 л/с (ВРД-4) |
Предельный вакуум | 5×10-2Па | |
Источник питания | Переменный ток: 220 В/50 Гц | |
Власть | 400 Вт | |
Шум | ≦56 дБ | |
Всасывающий порт | КФ40 | |
Вытяжное соединение | КФ25 | |
Выпускной клапан | На вакуумной камере установлен пневматический клапан выпуска воздуха с электронным управлением. | |
Максимальный вакуум всей машины | ≦5×10-4Па | |
Скорость наддува вакуумной камеры | ≦2,5 Па/ч | |
Программная система | 1 комплект программного обеспечения для мониторинга и управления | |
Тестовая цель | 2 медные мишени диаметром 2 дюйма и толщиной 3 мм. | |
В этой установке для нанесения покрытий используется технология магнетронного распыления постоянного тока, обеспечивающая эффективное и равномерное осаждение пленки.Он способен наносить пленки на различные подложки, включая стекло, кремний и металл, с превосходной адгезией и однородностью.
Одноцелевая конструкция этого устройства для нанесения покрытий позволяет наносить однослойные пленки, а также последовательно наносить несколько слоев для создания пленочных структур сложной структуры.Благодаря регулируемой мощности распыления и времени осаждения он обеспечивает гибкость в достижении желаемой толщины и свойств пленки.
Оснащенная надежной вакуумной системой, эта установка для нанесения покрытия может достигать высокого уровня вакуума, обеспечивая среду без загрязнений в процессе нанесения покрытия.Камера из нержавеющей стали обеспечивает превосходную устойчивость к коррозии и обеспечивает длительную работу.
Удобный интерфейс и интуитивно понятная панель управления делают работу простой и удобной.Устройство для нанесения покрытий оснащено расширенными функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и автоматическое отключение, обеспечивая безопасность как пользователя, так и оборудования.
Будь то исследовательские лаборатории или промышленные предприятия, эта установка для нанесения покрытий с помощью магнетронного напыления постоянного тока с камерой высокого вакуума из нержавеющей стали является идеальным выбором для точного и надежного осаждения тонких пленок.Его универсальность и прочная конструкция делают его пригодным для широкого спектра применений, включая материаловедение, электронику, оптику и многое другое.
Технические параметры одноцелевого магнетронного распылителя:
Прибор для нанесения покрытий методом магнетронного распыления постоянного тока с одной мишенью | ||
Образец этапа | Dimensions | φ185 мм |
Диапазон нагрева | Комнатная температура ~ 500 ℃ | |
Регулируемая скорость | 1-20 об/мин регулируемый | |
magnetic контроль цель пистолет | Целевая плоскость | Цель круглой плоскости |
Напыление вакуумное | 10 Па~0,2 Па | |
Диаметр цели | 50～50,8 мм | |
Целевая толщина | 2~5 мм | |
Напряжение изоляции | >2000В | |
Характеристики кабеля | СЛ-16 | |
Целевая температура головки | ℃65℃ | |
настоящий нулевой Полость тело | Обработка внутренней стены | Электролитическая полировка |
Размер полости | φ300 мм × 300 мм | |
Материал полости | нержавеющая сталь 304 | |
Окно наблюдения | Кварцевое окно, диаметр φ100 мм. | |
Открытый метод | Верхнее отверстие, вспомогательная опора цилиндра | |
газ тело контроль система | Управление потоком | Массовый расходомер, диапазон 0～200SCCM, аргон |
Тип регулирующего клапана | Соленоидный клапан | |
Статическое состояние регулирующего клапана | Нормально закрытый | |
Измерение линейности | ±1,5% полной шкалы | |
Повторяемость измерений | ±0,2% полной шкалы | |
Измерение времени отклика | ≤8 секунд (T95) | |
Диапазон рабочего давления | 0,3 МПа | |
Давление корпуса клапана | 3МПа | |
Рабочая температура | （5～45）℃ | |
Материал корпуса | Нержавеющая сталь 316L | |
Скорость утечки корпуса клапана | 1×10-8Па.м3/с | |
Соединения труб | 1/4″Компрессионный фитинг | |
Входной и выходной сигнал | 0~5В | |
Источник питания | ±15 В（±5%）（＋15В 50мА, －15 В 200 мА） | |
Габаритные размеры мм | 130 (ширина) × 102 (высота) × 28 (толщина) | |
Коммуникационный интерфейс | Протокол RS485 MODBUS | |
источник постоянного тока | Власть | 500 Вт |
Выходное напряжение | 0～600В | |
Продолжительность синхронизации | 65000 секунд | |
Время начала | 1~10 секунд | |
Измерение толщины пленки | Требования к питанию | Постоянный ток: 5 В (± 10%) Максимальный ток 400 мА |
Разрешение | ±0,03 Гц (5–6 МГц), 0,0136 Å / измерение (алюминий) | |
Точность измерения | ±0,5% толщины + 1 отсчет | |
Период измерения | 100 мс~1 с/время (можно установить) | |
Диапазон измерения | 500 000 Å (алюминий) | |
Кристаллическая частота | 6 МГц | |
Коммуникационный интерфейс | Последовательный интерфейс RS-232/485 | |
Отображать цифры | 8-значный светодиодный дисплей | |
Молекулярный насос | Скорость откачки молекулярного насоса | 80л/с |
Номинальная скорость | 65000 об/мин | |
Значение вибрации | ≦0,1 мкм | |
Время начала | ≦4,5 мин. | |
Время простоя | <7мин | |
Метод охлаждения | с воздушным охлаждением | |
Температура охлаждающей воды | ≦37℃ | |
Расход охлаждающей воды | 1л/мин | |
Направление установки | Вертикально ±5° | |
Всасывающий порт | 150CF | |
Вытяжное соединение | КФ40 | |
Форвальный насос | Скорость откачки | 1,1 л/с (ВРД-4) |
Предельный вакуум | 5×10-2Па | |
Источник питания | Переменный ток: 220 В/50 Гц | |
Власть | 400 Вт | |
Шум | ≦56 дБ | |
Всасывающий порт | КФ40 | |
Вытяжное соединение | КФ25 | |
Выпускной клапан | На вакуумной камере установлен пневматический клапан выпуска воздуха с электронным управлением. | |
Максимальный вакуум всей машины | ≦5×10-4Па | |
Скорость наддува вакуумной камеры | ≦2,5 Па/ч | |
Программная система | 1 комплект программного обеспечения для мониторинга и управления | |
Тестовая цель | 2 медные мишени диаметром 2 дюйма и толщиной 3 мм. | |
