| Количество: | |
|---|---|
ТН-MSP180G-1Т-А
TN
Это оборудование представляет собой настольную установку для магнетронного напыления с одной мишенью, специально разработанную для использования со сканирующими микроскопами.
Данная установка для магнетронного напыления оснащена кварцевой полостью, что обеспечивает высокую однородность и стабильность в процессе нанесения покрытия.Кварцевая полость также обеспечивает превосходную видимость, позволяя пользователям внимательно следить за процессом осаждения.
Благодаря настольному размеру эта машина для нанесения покрытий идеально подходит для лабораторий и исследовательских учреждений с ограниченным пространством.Компактный дизайн не ухудшает производительность, поскольку он позволяет получать тонкие пленки высокого качества с точным контролем толщины и состава пленки.
Конфигурация с одной мишенью позволяет легко заменять мишени и наносить различные материалы без необходимости сложных процедур настройки.Это делает устройство для нанесения покрытий очень универсальным и подходящим для широкого спектра применений.
Метод магнетронного распыления, используемый в этом устройстве для нанесения покрытий, обеспечивает эффективное и равномерное осаждение, в результате чего получаются пленки с превосходной адгезией и высокой плотностью.Регулируемый источник питания позволяет точно контролировать процесс напыления, обеспечивая оптимальные свойства пленки.
Кроме того, эта установка для нанесения покрытий оснащена расширенными функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и систему блокировки, обеспечивающую безопасность как пользователя, так и оборудования.
В целом, настольный одномишенный магнетронный распылитель с кварцевой полостью для сканирующего микроскопа является надежным и эффективным инструментом для исследователей и ученых в области осаждения тонких пленок.Его компактный размер, универсальные возможности и расширенные функции делают его идеальным выбором для различных приложений в области материаловедения, нанотехнологий и поверхностной инженерии.
наименование товара | Настольная одномишеневая установка магнетронного напыления |
Модель продукта | ТН-MSP180G-1Т-А |
Условия установки | 1、Рабочая среда температура: 25℃±15℃, влажность: 55%Rh±10%Rh; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность: 1000 Вт; 4. Газовое оборудование: камера оборудования. для очистки должен быть заполнен аргоном.Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600мм×600мм×700мм, подшипник вместимость ≥ 50 кг; 6. Позиция должна быть хорошей. вентилируемые и охлаждаемые. |
Технические индикаторы | 1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт, максимальное выходное напряжение 600 В, ограниченный выходной ток 500 мА. 2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм. 4. Размер полости: φ180 мм x 200 мм. 5. Материал полости: высокий. чистота кварца 6. Вращающийся нагревательный образец. стол: вращать скорость 1~20 об/мин плавная регулировка; максимальный нагрев температура 500 ℃, рекомендуется самая низкая скорость нагрева 10 ℃/мин, рекомендуется самая высокая скорость нагрева 20℃/мин. 7. Режим охлаждения: магнитная мишень и Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды 8. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, скорость потока 10 л/мин. 9. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газ Аргон, поток 1 ~ 30 см3 (настраиваемый) 10. Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения. 11. Интерфейс накачки воздуха. вакуумной камеры KF25 12. Интерфейс воздухозаборника Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13. Сенсорный экран 7 дюймов. цветной сенсорный экран 14. Регулируемое распыление. ток, распыление Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума; 15、 безопасность Защита: перегрузка по току, вакуум слишком низкий, автоматически отключается ток распыления 16. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум). насос); 17、 Вакуум Измерение производится вакуумметром Парана, диапазон: 1～105Па. |
Уведомление | 1. Магнетронное распыление имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярный насос. 2、Для достижения среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3 раз с инертным газом высокой чистоты。 3. Магнетронное распыление чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздуха необходим массовый расходомер прием |
Необязательный аксессуар | |
Фильм толщина Монитор | 1. Разрешение толщины пленки: 0,0136Å (алюминий). 2, Точность пленки Толщина: ±0,5%, зависит от процесса условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и плотность 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, диапазон измерения может быть комплект: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц. 5. Подходит для частоты пластины: 6 МГц. подходит для размера пластины: Φ14 мм монтажный фланец: CF35 |
Другой аксессуар | · 1, CY-CZK103 Высокопроизводительный молекулярный насос серии (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) Биполярно-роторная лопасть ВРД-4 вакуумный насос 2. Вакуумные сильфоны KF25; длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF25 3. Измеритель толщины пленки. кварцевый генератор; 4, нержавеющая сталь клапан тонкой настройки (подходит только при низких требованиях к покрытию) |
Это оборудование представляет собой настольную установку для магнетронного напыления с одной мишенью, специально разработанную для использования со сканирующими микроскопами.
Данная установка для магнетронного напыления оснащена кварцевой полостью, что обеспечивает высокую однородность и стабильность в процессе нанесения покрытия.Кварцевая полость также обеспечивает превосходную видимость, позволяя пользователям внимательно следить за процессом осаждения.
Благодаря настольному размеру эта машина для нанесения покрытий идеально подходит для лабораторий и исследовательских учреждений с ограниченным пространством.Компактный дизайн не ухудшает производительность, поскольку он позволяет получать тонкие пленки высокого качества с точным контролем толщины и состава пленки.
Конфигурация с одной мишенью позволяет легко заменять мишени и наносить различные материалы без необходимости сложных процедур настройки.Это делает устройство для нанесения покрытий очень универсальным и подходящим для широкого спектра применений.
Метод магнетронного распыления, используемый в этом устройстве для нанесения покрытий, обеспечивает эффективное и равномерное осаждение, в результате чего получаются пленки с превосходной адгезией и высокой плотностью.Регулируемый источник питания позволяет точно контролировать процесс напыления, обеспечивая оптимальные свойства пленки.
Кроме того, эта установка для нанесения покрытий оснащена расширенными функциями безопасности, включая защиту от перегрузки по току и систему блокировки, обеспечивающую безопасность как пользователя, так и оборудования.
В целом, настольный одномишенный магнетронный распылитель с кварцевой полостью для сканирующего микроскопа является надежным и эффективным инструментом для исследователей и ученых в области осаждения тонких пленок.Его компактный размер, универсальные возможности и расширенные функции делают его идеальным выбором для различных приложений в области материаловедения, нанотехнологий и поверхностной инженерии.
наименование товара | Настольная одномишеневая установка магнетронного напыления |
Модель продукта | ТН-MSP180G-1Т-А |
Условия установки | 1、Рабочая среда температура: 25℃±15℃, влажность: 55%Rh±10%Rh; 2. Источник питания оборудования: 220 В переменного тока, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3. Номинальная мощность: 1000 Вт; 4. Газовое оборудование: камера оборудования. для очистки должен быть заполнен аргоном.Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5. Требования к размеру стола: 600мм×600мм×700мм, подшипник вместимость ≥ 50 кг; 6. Позиция должна быть хорошей. вентилируемые и охлаждаемые. |
Технические индикаторы | 1. Источник питания для распыления: источник постоянного тока 300 Вт, максимальное выходное напряжение 600 В, ограниченный выходной ток 500 мА. 2. Магнетронная мишень: 2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3. Подходящий целевой материал: толщина φ50 мм x 3 мм. 4. Размер полости: φ180 мм x 200 мм. 5. Материал полости: высокий. чистота кварца 6. Вращающийся нагревательный образец. стол: вращать скорость 1~20 об/мин плавная регулировка; максимальный нагрев температура 500 ℃, рекомендуется самая низкая скорость нагрева 10 ℃/мин, рекомендуется самая высокая скорость нагрева 20℃/мин. 7. Режим охлаждения: магнитная мишень и Молекулярный насос требует охладителя циркулирующей воды 8. Машина водяного охлаждения: объем бака 9 л, скорость потока 10 л/мин. 9. Система подачи газа: массовый расходомер, тип газ Аргон, поток 1 ~ 30 см3 (настраиваемый) 10. Точность расходомера: ± 1,5% диапазона измерения. 11. Интерфейс накачки воздуха. вакуумной камеры KF25 12. Интерфейс воздухозаборника Соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13. Сенсорный экран 7 дюймов. цветной сенсорный экран 14. Регулируемое распыление. ток, распыление Можно установить значение безопасного тока и значение безопасного вакуума; 15、 безопасность Защита: перегрузка по току, вакуум слишком низкий, автоматически отключается ток распыления 16. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный вакуум). насос); 17、 Вакуум Измерение производится вакуумметром Парана, диапазон: 1～105Па. |
Уведомление | 1. Магнетронное распыление имеет высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 Па, и его необходимо использовать с молекулярный насос. 2、Для достижения среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3 раз с инертным газом высокой чистоты。 3. Магнетронное распыление чувствителен к воздухозаборнику, поэтому для контроля воздуха необходим массовый расходомер прием |
Необязательный аксессуар | |
Фильм толщина Монитор | 1. Разрешение толщины пленки: 0,0136Å (алюминий). 2, Точность пленки Толщина: ±0,5%, зависит от процесса условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и плотность 3. Скорость измерения: 100 мс-1 с/раз, диапазон измерения может быть комплект: 500000Å (алюминий) 4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц. 5. Подходит для частоты пластины: 6 МГц. подходит для размера пластины: Φ14 мм монтажный фланец: CF35 |
Другой аксессуар | · 1, CY-CZK103 Высокопроизводительный молекулярный насос серии (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~105Па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па) Биполярно-роторная лопасть ВРД-4 вакуумный насос 2. Вакуумные сильфоны KF25; длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Зажимной кронштейн KF25 3. Измеритель толщины пленки. кварцевый генератор; 4, нержавеющая сталь клапан тонкой настройки (подходит только при низких требованиях к покрытию) |
