Настольное устройство для нанесения термического испарения с кварцевой полостью для подготовки различных проводящих пленок

Модель продукта

ТН-ЭВП180Г-1С-А

Условия установки

1、Работа   температура окружающей среды: 25 ℃ ± 15 ℃, влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной влажности;

2, мощность оборудования   питание: 220 В переменного тока, 50 Гц, должно быть хорошо заземлено;

3. Номинальная мощность: 1200 Вт;

4、Оборудование для   газ: оборудование   Для очистки камера должна быть заполнена аргоном.Клиент должен   подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%.

5. Размер стола   Требования: 600×600×700 мм, несущая способность ≥ 50 кг;

6、Позиция   должно хорошо вентилироваться и охлаждаться.

Технические индикаторы

1. Напряжение источника испарения: 10 В.

2. Ток испарения плавно регулируется.   от 0 до 100А

3. С вольфрамовой лодочкой и вольфрамовой корзиной;

4、  Поворотный верхний стол для проб из нержавеющей стали,   диаметр 60мм;

5、  Расстояние между платформой для образца и   источник испарения регулируется от 60 до 100 мм;

6. Вакуумная полость представляет собой кварцевую полость диаметром   180 мм и высотой 200 мм;；

7. Интерфейс накачки воздуха вакуумной камеры   КФ25

8. Интерфейс воздухозаборника представляет собой двойной наконечник диаметром 1/4 дюйма.   соединение

9. Сенсорный экран — 7-дюймовый цветной сенсорный экран.

10. Регулируемый ток распыления, значение безопасного тока распыления и безопасный вакуум.   значение может быть установлено;

11、  Защитная защита: перегрузка по току, вакуум тоже   низкий автоматически отключает ток распыления

12. Предельный вакуум: 5E-4Pa (соответствующий молекулярный насос);

13、 Измерение вакуума осуществляется вакуумметром Парана, диапазон: 1～105Па.

Уведомление

1. Для материалов, которые   чувствительны к кислороду, рекомендуется добавить группу молекулярного насоса.

2、Для достижения   среда с высоким содержанием кислорода, вакуумную камеру следует очищать не менее 3   раз с инертным газом высокой чистоты.

Необязательный   аксессуар

Фильм

толщина   Монитор

1. Разрешение толщины пленки: 0,0136 Å (алюминий).

2, Точность пленки   Толщина: ±0,5%, зависит от процесса   условия, особенно положение датчика, напряжение материала, температура и   плотность  

3. Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз, диапазон измерения может быть   комплект: 500000Å (алюминий)

4. Стандартный сенсорный кристалл: 6 МГц.

5. Подходит для пластин.   частота: 6 МГц  

подходит для размера пластины: Φ14 мм

монтажный фланец: CF35

Другой аксессуар

1, вольфрамовая лодочка, вольфрам   корзина;

2. Органическое испарение.   источник (включая кварцевую лодочку и источник нагрева из вольфрамовой проволоки)

3, серия CY-CZK103 высокая   Комплект молекулярного насоса производительности (включая композитный вакуумметр, измерительный   диапазон 10-5Па~105Па);

Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая   композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5Па~102Па)

Биполярно-роторная лопасть ВРД-4   вакуумный насос

4. Вакуумные сильфоны KF25;   длина может быть 0,5м, 1м или 1,5м.Кронштейн-зажим КФ25;

5. Измеритель толщины пленки.   кварцевый генератор;