| Количество: | |
|---|---|
TN
Прибор представляет собой устройство для химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD), оснащенное система перемещения по рулону.Он не только используется в процессе непрерывной термообработки катанки, например, при подготовке углеродного волокна, модификации катанки из сплавов и других материалов, но также используется для непрерывного роста графена на катушке.
Оборудование состоит из пяти частей: системы перемещения рулонов, открытой трубчатой печи с 2 зонами нагрева 1200℃, системы плазменной обработки полиэтилена, вакуумной системы и трехходовой системы подачи газа с протонным расходомером.Вся система может работать в среде защиты вакуума/атмосферы.
Скорость намоточного устройства можно регулировать от 1 до 400 мм/мин, а механизм использует регулировку обратной связи, которая может автоматически корректировать отклонение скорости и обеспечивать стабильность скорости образца, обеспечивая тем самым точность эксперимента.
Технические параметры системы PECVD с рулоном на рулон:
1200℃2-зонная открытая трубчатая печь | Элемент | Деталь |
Напряжение | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
максимальная мощность | 3кВт | |
Зона нагрева | Двойные зоны 200мм+200мм | |
Рабочая температура | ≤1200 ℃ | |
Точность контроля температуры | ±1℃ | |
Метод контроля температуры | 30-ступенчатая технологическая кривая AI-PID, может хранить несколько | |
Материал трубки | Кварц высокой чистоты | |
Размер трубки | φ80 мм внутренний диаметр x 1400 мм длина | |
Режим уплотнения | Вакуумный фланец из нержавеющей стали | |
Измерение вакуума | Манометр сопротивления | |
Рабочий газ | Неагрессивные газы, такие как водород, азот, аргон и кислород | |
Вакуумный насос | Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос | |
Предельный вакуум | 10^-1Па | |
Трехходовой массовый расходомер | Элемент | Деталь |
Тип клапана | Игольчатый клапан из нержавеющей стали | |
Газовые каналы | трехходовой | |
Диапазон давления | 0,05~0,3МПа | |
Диапазон | 0~100 СККМ (Ар) 0~200 СККМ(H2) 0~500 СККМ(CH4) | |
Диапазон регулирования расхода | ±1,5% | |
Объем смесительного бака | 750мл | |
Материал газового тракта | нержавеющая сталь 304 | |
Интерфейс трубы | Соединение прикусного типа 6,35 мм | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
РЧ мощность | Элемент | Деталь |
Выходная мощность | 500 Вт | |
Точность вывода | ±1% | |
РЧ частота | 13,56 МГц | |
РЧ стабильность | ±0,005% | |
Метод охлаждения | Водяное охлаждение |
Прибор представляет собой устройство для химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD), оснащенное система перемещения по рулону.Он не только используется в процессе непрерывной термообработки катанки, например, при подготовке углеродного волокна, модификации катанки из сплавов и других материалов, но также используется для непрерывного роста графена на катушке.
Оборудование состоит из пяти частей: системы перемещения рулонов, открытой трубчатой печи с 2 зонами нагрева 1200℃, системы плазменной обработки полиэтилена, вакуумной системы и трехходовой системы подачи газа с протонным расходомером.Вся система может работать в среде защиты вакуума/атмосферы.
Скорость намоточного устройства можно регулировать от 1 до 400 мм/мин, а механизм использует регулировку обратной связи, которая может автоматически корректировать отклонение скорости и обеспечивать стабильность скорости образца, обеспечивая тем самым точность эксперимента.
Технические параметры системы PECVD с рулоном на рулон:
1200℃2-зонная открытая трубчатая печь | Элемент | Деталь |
Напряжение | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
максимальная мощность | 3кВт | |
Зона нагрева | Двойные зоны 200мм+200мм | |
Рабочая температура | ≤1200 ℃ | |
Точность контроля температуры | ±1℃ | |
Метод контроля температуры | 30-ступенчатая технологическая кривая AI-PID, может хранить несколько | |
Материал трубки | Кварц высокой чистоты | |
Размер трубки | φ80 мм внутренний диаметр x 1400 мм длина | |
Режим уплотнения | Вакуумный фланец из нержавеющей стали | |
Измерение вакуума | Манометр сопротивления | |
Рабочий газ | Неагрессивные газы, такие как водород, азот, аргон и кислород | |
Вакуумный насос | Биполярный пластинчато-роторный вакуумный насос | |
Предельный вакуум | 10^-1Па | |
Трехходовой массовый расходомер | Элемент | Деталь |
Тип клапана | Игольчатый клапан из нержавеющей стали | |
Газовые каналы | трехходовой | |
Диапазон давления | 0,05~0,3МПа | |
Диапазон | 0~100 СККМ (Ар) 0~200 СККМ(H2) 0~500 СККМ(CH4) | |
Диапазон регулирования расхода | ±1,5% | |
Объем смесительного бака | 750мл | |
Материал газового тракта | нержавеющая сталь 304 | |
Интерфейс трубы | Соединение прикусного типа 6,35 мм | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50 Гц | |
РЧ мощность | Элемент | Деталь |
Выходная мощность | 500 Вт | |
Точность вывода | ±1% | |
РЧ частота | 13,56 МГц | |
РЧ стабильность | ±0,005% | |
Метод охлаждения | Водяное охлаждение |
