Вы здесь: Дом / Продукты / Машина для осаждения паров / Система PECVD (ICP PECVD) для нанесения толстых пленок SiOx Ge-SiOx

Система PECVD (ICP PECVD) для нанесения толстых пленок SiOx Ge-SiOx

PECVD (химическое осаждение из паровой фазы) — это широко используемый метод осаждения тонких пленок, который включает реакцию газофазных реагентов с поверхностью подложки при высоких температурах с образованием тонкой пленки.
штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN

Представляем наши передовые системы CVD (химического осаждения из паровой фазы), призванные совершить революцию в обработке материалов подложки.Наши системы CVD отличаются высочайшей точностью и надежностью и предназначены для обработки широкого спектра материалов, включая кремний, стекло, металлы и многое другое.


Наши системы CVD, созданные с использованием передового опыта в отрасли, обеспечивают исключительную производительность и стабильные результаты, что делает их идеальным выбором для разнообразных применений.Независимо от того, работаете ли вы с деликатными стеклянными подложками или прочными металлическими поверхностями, наши системы CVD обеспечивают непревзойденное качество и эффективность.


Наши системы CVD, оснащенные передовыми технологиями, обеспечивают плавный и контролируемый процесс осаждения.Благодаря точному контролю над температурой, давлением и потоком газа вы можете добиться желаемых характеристик пленки с предельной точностью.Такой уровень контроля гарантирует однородность и отсутствие дефектов покрытий, повышая общую производительность и долговечность вашей продукции.


Наши системы CVD разработаны с учетом удобства использования, имеют интуитивно понятный интерфейс и оптимизированные операции.При минимальном обучении вы сможете легко управлять системой, экономя драгоценное время и ресурсы.


Кроме того, наши системы CVD созданы в соответствии с самыми высокими стандартами безопасности, обеспечивая безопасную рабочую среду.Благодаря надежным функциям безопасности и комплексным системам мониторинга вы можете быть спокойны при использовании нашего оборудования.


Инвестируйте в наши современные системы CVD и откройте безграничные возможности для обработки ваших материалов.Ощутите непревзойденную производительность, непревзойденную надежность и исключительное качество с нашими CVD-системами профессионального уровня.Расширьте свои производственные возможности и оставайтесь впереди на современном конкурентном рынке.

РФ   источник питания

Сигнал   частота

13,56 МГц±0,005%

Власть   выходной диапазон

0~300Вт

Максимум   отраженная мощность

100 Вт

Отраженный   мощность (при максимальной мощности)

<3 Вт

Власть   стабильность

±0,1%

Трубчатая печь

Трубка   материал

Высокий   чистота кварца

Внешний   диаметр трубки

100 мм

Трубка   длина

1200 мм

Печь   длина камеры

440 мм

Обогрев   длина зоны

200мм+200мм   (две температурные зоны)

Постоянный   длина температурной зоны

200 мм

Непрерывный   рабочая температура

Макс.1100℃

Температура   точность управления

±1℃

Температура   режим управления

30   Сегментный программный контроль температуры

Отображать   режим

ЖК-дисплей

Уплотнение   метод

304   вакуумный фланец из нержавеющей стали

Газ   поставлять

система

Модель

CY-6Z

Канал   цифры

6

Измерение   единица

Масса   контроллер потока

Измерение   диапазон

A   канал: 0~200SCCM   для ч2  

Примечания:   Если требуются другие диапазоны, укажите это при заказе.Согласно   особые требования заказчика, расходомер соответствующего типа газа   и диапазон не является обязательным.

B   канал: 0~200SCCM   для Швейцарии4

C   канал: 0~200SCCM   для С2H4

C   канал: 0~500SCCM   для Н2

D   канал: 0~500SCCM   для Нью-Хэмпшира3

E   канал: 0~500SCCM   для Ара

Точность измерения

±1,5% полной шкалы

Работающий   разница давления

-0,15 МПа~0,15 МПа

Подключение   трубка

304   нержавеющая сталь

Газ   канал

304   игольчатый клапан из нержавеющей стали

Интерфейс   Спецификация

1/4 дюйма   соединительный наконечник для входа и выхода газа

Вакуум   система

Механический   насос

Двухступенчатый   пластинчато-роторный насос

Накачка   ставка

1,1 л/с  

Вакуум   измерение

Сопротивление   измерять

Окончательный   вакуум

1,0Э-1Па

Накачка   интерфейс

КФ16

Раздвижной   рельс

Может   добиться скольжения печи с двумя температурными зонами, чтобы обеспечить быструю температуру   взлет и падение.

Власть   поставлять

220 В переменного тока   50 Гц


на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com