| Количество: | |
|---|---|
ТН-О1200-50ИИТ
TN
Этот продукт представляет собой вращающуюся трубчатую печь с двойной зоной нагрева и гибридной физико-химической паровой осаждением (HPCVD) с улучшенной плазмой при температуре 1200 ℃.Оборудование включает в себя трубчатую печь с двойной зоной нагрева, комплект источника испарения вольфрамовой нити, комплект плазменного генератора и комплект системы массового расходомера.Принцип его работы заключается в испарении реагента на входном конце газа через источник испарения и загрузке его в зону нагрева трубчатой печи через поток воздуха для проведения реакции CVD.В то же время реакции способствует плазменное усиление.Он подходит для термической обработки неорганического композитного порошка и обеспечения однородности поверхностного покрытия (например, для приготовления катодных порошков литий-ионных аккумуляторов с проводящими покрытиями на поверхности образца).
Технические параметры:
Два трубчатая печь с зоной нагрева | Продукт модель | ТН-О1200-50ИИТ | |
Печь материал трубки | Высокий чистота кварца | ||
Трубка диаметр | 50 мм | ||
Печь длина трубки | 1200 мм | ||
Печь длина камеры | 440 мм | ||
Обогрев длина зоны | 200мм+200мм | ||
Операционная температура | 0～1100℃ | ||
Температура точность управления | ±1℃ | ||
Температура режим управления | 30 или 50-сегментный программный контроль температуры | ||
Отображать режим | HD полноцветный сенсорный ЖК-экран | ||
Уплотнение метод | 304 вакуумный фланец из нержавеющей стали | ||
Власть поставлять | АС: 220 В 50/60 Гц 2,5 кВт | ||
РФ система вывода | Власть диапазон | 0~500Вт регулируемый | |
работающий частота | 13,56 МГц+0,005% | ||
Работающий режим | Непрерывный выход | ||
Соответствует режим импеданса | Это можно подобрать, и свечение равномерно распределяется по всей печи трубка | ||
Власть стабильность | ≤2 Вт | ||
Нормальный рабочая отраженная мощность | ≤3 Вт | ||
Усиленный отраженная мощность | ≤70 Вт | ||
Гармонический компонент | ≤-50 дБн | ||
Общий эффективность | ≥70% | ||
Власть Фактор | ≥90% | ||
Поставлять напряжение/частота | Один этап Переменный ток (187 В~153 В), частота 50/60 Гц | ||
Контроль режим | Внутренний управление/ПЛК аналоговое количество/RS232/485 коммуникация | ||
Власть настройки защиты | ОКРУГ КОЛУМБИЯ защита от перегрузки по току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности | ||
Охлаждение метод | Принужденный воздушное охлаждение | ||
Светиться зона | Под Ar, радиочастотный источник питания и катушка взаимодействуют со свечением, чтобы заполнить печную трубу | ||
Испарение лодка | Работающий температура | 1300 ℃ | |
Испарение источник | вольфрам проволочная корзина, дополнительный конический тигель из оксида алюминия | ||
Термопара | S Тип термопары | ||
Работающий текущий | ≤30А | ||
Макс. власть | 500 Вт | ||
Газ система доставки | Расходомер | Четырехканальный массовый расходомер | |
Поток диапазон | MFC1 диапазон: 0–200 см.см. Диапазон MFC2: 0–200 см.см. MFC3 диапазон: 0–500 см.см. Диапазон MFC4: 0–500 см.см. Соответствующий к газам H2, CH4, N2, Ar. | ||
Измерение точность | ±1,5% полной шкалы | ||
Повторяемость | ±0,2% полной шкалы | ||
Линейная точность | ±1% полной шкалы | ||
Время отклика | ≤4 с | ||
Рабочее давление | -0,15 МПа~0,15 МПа | ||
Поток контроль | ЖК-дисплей управление сенсорным экраном, цифровой дисплей, каждый газовый канал содержит игольчатый клапан для индивидуального контроля. | ||
Впуск Интерфейс | Это может быть подсоединен к трубе из нержавеющей стали диаметром 1/4NPS или 6 мм. | ||
Выход Интерфейс | Это может быть подсоединен к трубе из нержавеющей стали диаметром 1/4NPS или 6 мм. | ||
Связь метод | Двойной соединительный наконечник | ||
Операционная температура | 5~45℃ | ||
Газ премикс | Оборудовано с устройством предварительного смешивания газа | ||
Выхлоп система | Продукт модель | CY-GZK103-A | |
Молекулярный насос | Турбомолекулярный насос | ||
Поддержка насос | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос | ||
Накачка ставка | Молекулярный насос: 600л/с | Всесторонний Производительность откачки: 30 минут, вакуум может достигать: 5×10E-3Pa | |
Роторный лопастной насос: 1,1 л/с | |||
Окончательный вакуум | 5×10Э-4Па | ||
Накачка порт | КФ40 | ||
Выхлоп интерфейс | КФ16 | ||
Вакуум измерение | Сложный вакуумметр | ||
Этот продукт представляет собой вращающуюся трубчатую печь с двойной зоной нагрева и гибридной физико-химической паровой осаждением (HPCVD) с улучшенной плазмой при температуре 1200 ℃.Оборудование включает в себя трубчатую печь с двойной зоной нагрева, комплект источника испарения вольфрамовой нити, комплект плазменного генератора и комплект системы массового расходомера.Принцип его работы заключается в испарении реагента на входном конце газа через источник испарения и загрузке его в зону нагрева трубчатой печи через поток воздуха для проведения реакции CVD.В то же время реакции способствует плазменное усиление.Он подходит для термической обработки неорганического композитного порошка и обеспечения однородности поверхностного покрытия (например, для приготовления катодных порошков литий-ионных аккумуляторов с проводящими покрытиями на поверхности образца).
Технические параметры:
Два трубчатая печь с зоной нагрева | Продукт модель | ТН-О1200-50ИИТ | |
Печь материал трубки | Высокий чистота кварца | ||
Трубка диаметр | 50 мм | ||
Печь длина трубки | 1200 мм | ||
Печь длина камеры | 440 мм | ||
Обогрев длина зоны | 200мм+200мм | ||
Операционная температура | 0～1100℃ | ||
Температура точность управления | ±1℃ | ||
Температура режим управления | 30 или 50-сегментный программный контроль температуры | ||
Отображать режим | HD полноцветный сенсорный ЖК-экран | ||
Уплотнение метод | 304 вакуумный фланец из нержавеющей стали | ||
Власть поставлять | АС: 220 В 50/60 Гц 2,5 кВт | ||
РФ система вывода | Власть диапазон | 0~500Вт регулируемый | |
работающий частота | 13,56 МГц+0,005% | ||
Работающий режим | Непрерывный выход | ||
Соответствует режим импеданса | Это можно подобрать, и свечение равномерно распределяется по всей печи трубка | ||
Власть стабильность | ≤2 Вт | ||
Нормальный рабочая отраженная мощность | ≤3 Вт | ||
Усиленный отраженная мощность | ≤70 Вт | ||
Гармонический компонент | ≤-50 дБн | ||
Общий эффективность | ≥70% | ||
Власть Фактор | ≥90% | ||
Поставлять напряжение/частота | Один этап Переменный ток (187 В~153 В), частота 50/60 Гц | ||
Контроль режим | Внутренний управление/ПЛК аналоговое количество/RS232/485 коммуникация | ||
Власть настройки защиты | ОКРУГ КОЛУМБИЯ защита от перегрузки по току, защита усилителя мощности от перегрева, защита от отраженной мощности | ||
Охлаждение метод | Принужденный воздушное охлаждение | ||
Светиться зона | Под Ar, радиочастотный источник питания и катушка взаимодействуют со свечением, чтобы заполнить печную трубу | ||
Испарение лодка | Работающий температура | 1300 ℃ | |
Испарение источник | вольфрам проволочная корзина, дополнительный конический тигель из оксида алюминия | ||
Термопара | S Тип термопары | ||
Работающий текущий | ≤30А | ||
Макс. власть | 500 Вт | ||
Газ система доставки | Расходомер | Четырехканальный массовый расходомер | |
Поток диапазон | MFC1 диапазон: 0–200 см.см. Диапазон MFC2: 0–200 см.см. MFC3 диапазон: 0–500 см.см. Диапазон MFC4: 0–500 см.см. Соответствующий к газам H2, CH4, N2, Ar. | ||
Измерение точность | ±1,5% полной шкалы | ||
Повторяемость | ±0,2% полной шкалы | ||
Линейная точность | ±1% полной шкалы | ||
Время отклика | ≤4 с | ||
Рабочее давление | -0,15 МПа~0,15 МПа | ||
Поток контроль | ЖК-дисплей управление сенсорным экраном, цифровой дисплей, каждый газовый канал содержит игольчатый клапан для индивидуального контроля. | ||
Впуск Интерфейс | Это может быть подсоединен к трубе из нержавеющей стали диаметром 1/4NPS или 6 мм. | ||
Выход Интерфейс | Это может быть подсоединен к трубе из нержавеющей стали диаметром 1/4NPS или 6 мм. | ||
Связь метод | Двойной соединительный наконечник | ||
Операционная температура | 5~45℃ | ||
Газ премикс | Оборудовано с устройством предварительного смешивания газа | ||
Выхлоп система | Продукт модель | CY-GZK103-A | |
Молекулярный насос | Турбомолекулярный насос | ||
Поддержка насос | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос | ||
Накачка ставка | Молекулярный насос: 600л/с | Всесторонний Производительность откачки: 30 минут, вакуум может достигать: 5×10E-3Pa | |
Роторный лопастной насос: 1,1 л/с | |||
Окончательный вакуум | 5×10Э-4Па | ||
Накачка порт | КФ40 | ||
Выхлоп интерфейс | КФ16 | ||
Вакуум измерение | Сложный вакуумметр | ||
