штат: | |
---|---|
Количество: | |
TN
Наша высокотемпературная вертикально-сдвижная ротационная трубчатая печь PECVD представляет собой современное оборудование, разработанное для удовлетворения строгих требований этих отраслей.
Эта машина использует технологию PECVD для нанесения тонких высококачественных пленок с исключительной однородностью и адгезией.Благодаря своей вертикально-скользящей роторной конструкции он обеспечивает повышенную гибкость и эффективность процесса осаждения.Функция вертикального скольжения позволяет легко загружать и выгружать носители, сводя к минимуму время простоя и повышая производительность.
Печь способна достигать высоких температур до [укажите диапазон температур] с точным контролем температуры.Это обеспечивает оптимальные условия для нанесения пленки, что приводит к превосходному качеству и производительности пленки.Вращательное движение дополнительно повышает однородность пленки, обеспечивая равномерное распределение газов-прекурсоров по поверхности подложки.
Наша трубчатая печь PECVD, оснащенная передовой технологией генерации плазмы, обеспечивает эффективное плазменное возбуждение, что приводит к улучшению свойств пленки и уменьшению дефектов.Плазма усиливает химические реакции, что приводит к улучшению плотности, твердости и адгезии пленки.Это делает его идеальным выбором для применений, требующих изготовления тонких пленок с высокими эксплуатационными характеристиками.
Машина оснащена удобной панелью управления, позволяющей легко управлять и контролировать процесс осаждения.Он предлагает различные программируемые параметры, такие как время осаждения, температура, скорость потока газа и давление, что позволяет точно контролировать и настраивать свойства пленки.
Кроме того, наша трубчатая печь PECVD оснащена функциями безопасности, обеспечивающими защиту оператора и минимизирующими риск несчастных случаев.Он изготовлен из высококачественных материалов и компонентов, гарантирующих долговечность и надежность.
В целом, наша высокотемпературная вертикально-сдвижная ротационная трубчатая печь PECVD представляет собой передовое решение для осаждения тонких пленок в электронной промышленности.Он предлагает превосходную производительность, гибкость и простоту использования, что делает его незаменимым инструментом для исследовательских лабораторий, университетов и производственных предприятий.Инвестируйте в нашу трубчатую печь PECVD, чтобы добиться исключительного качества тонких пленок и ускорить процессы исследований и разработок.
Технические параметры
Трубчатая печь с двумя температурными зонами | Модель продукта | CY-O1200-60IIC-R |
Мощность оборудования | 3кВт | |
Материал труб печи | Кварц высокой чистоты | |
Размер трубы печи | 60*420+100*360+60*420 мм (кварцевая гетероморфная трубка) | |
Длина камеры печи | 440 мм | |
Длина зоны нагрева | 200мм+200мм | |
Рабочая Температура | 0~1150℃ | |
Предельная температура | 1200 ℃ | |
Точность контроля температуры | ±1℃ | |
Тип термопары | Термопара типа К | |
Режим контроля температуры | 30-сегментный программный контроль температуры, самонастройка ПИД-параметров | |
Режим отображения | Полноцветный сенсорный ЖК-экран высокой четкости | |
Метод уплотнения | Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 | |
Источник питания | Переменный ток: 220 В, 50/60 Гц | |
Скорость вращения | 0~13 об/мин | |
Угол наклона | 0~35° | |
3-канальный массовый расходомер | Модель продукта | CY-3Z |
Количество газовых путей | 3 канала | |
Тип расходомера | Массовый расходомер | |
Диапазон измерения | Канал: 0~100sccm;Канал B: 0~200 см/см;Канал C: 0~500 см/см | |
Точность измерения | ±1,5% | |
Разница рабочего давления | 0,1~0,5 МПа | |
Конвейерный интерфейс | Соединитель с наконечником 1/4 дюйма | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50/60 Гц | |
Вакуумная система | Вакуумный насос | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос |
Скорость откачки | 1,1 л/с | |
Насосный порт | КФ16 | |
Насос предельного вакуума | 10Э-1Па | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50/60 Гц | |
ВЧ источник питания | Частота сигнала | 13,56 МГц±0,005% |
Диапазон выходной мощности | 0~500Вт | |
Максимальная отраженная мощность | 100 Вт | |
РЧ-выходной интерфейс | 50 Ом, тип N, гнездо | |
Стабильность мощности | ≤5 Вт |
Наша высокотемпературная вертикально-сдвижная ротационная трубчатая печь PECVD представляет собой современное оборудование, разработанное для удовлетворения строгих требований этих отраслей.
Эта машина использует технологию PECVD для нанесения тонких высококачественных пленок с исключительной однородностью и адгезией.Благодаря своей вертикально-скользящей роторной конструкции он обеспечивает повышенную гибкость и эффективность процесса осаждения.Функция вертикального скольжения позволяет легко загружать и выгружать носители, сводя к минимуму время простоя и повышая производительность.
Печь способна достигать высоких температур до [укажите диапазон температур] с точным контролем температуры.Это обеспечивает оптимальные условия для нанесения пленки, что приводит к превосходному качеству и производительности пленки.Вращательное движение дополнительно повышает однородность пленки, обеспечивая равномерное распределение газов-прекурсоров по поверхности подложки.
Наша трубчатая печь PECVD, оснащенная передовой технологией генерации плазмы, обеспечивает эффективное плазменное возбуждение, что приводит к улучшению свойств пленки и уменьшению дефектов.Плазма усиливает химические реакции, что приводит к улучшению плотности, твердости и адгезии пленки.Это делает его идеальным выбором для применений, требующих изготовления тонких пленок с высокими эксплуатационными характеристиками.
Машина оснащена удобной панелью управления, позволяющей легко управлять и контролировать процесс осаждения.Он предлагает различные программируемые параметры, такие как время осаждения, температура, скорость потока газа и давление, что позволяет точно контролировать и настраивать свойства пленки.
Кроме того, наша трубчатая печь PECVD оснащена функциями безопасности, обеспечивающими защиту оператора и минимизирующими риск несчастных случаев.Он изготовлен из высококачественных материалов и компонентов, гарантирующих долговечность и надежность.
В целом, наша высокотемпературная вертикально-сдвижная ротационная трубчатая печь PECVD представляет собой передовое решение для осаждения тонких пленок в электронной промышленности.Он предлагает превосходную производительность, гибкость и простоту использования, что делает его незаменимым инструментом для исследовательских лабораторий, университетов и производственных предприятий.Инвестируйте в нашу трубчатую печь PECVD, чтобы добиться исключительного качества тонких пленок и ускорить процессы исследований и разработок.
Технические параметры
Трубчатая печь с двумя температурными зонами | Модель продукта | CY-O1200-60IIC-R |
Мощность оборудования | 3кВт | |
Материал труб печи | Кварц высокой чистоты | |
Размер трубы печи | 60*420+100*360+60*420 мм (кварцевая гетероморфная трубка) | |
Длина камеры печи | 440 мм | |
Длина зоны нагрева | 200мм+200мм | |
Рабочая Температура | 0~1150℃ | |
Предельная температура | 1200 ℃ | |
Точность контроля температуры | ±1℃ | |
Тип термопары | Термопара типа К | |
Режим контроля температуры | 30-сегментный программный контроль температуры, самонастройка ПИД-параметров | |
Режим отображения | Полноцветный сенсорный ЖК-экран высокой четкости | |
Метод уплотнения | Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304 | |
Источник питания | Переменный ток: 220 В, 50/60 Гц | |
Скорость вращения | 0~13 об/мин | |
Угол наклона | 0~35° | |
3-канальный массовый расходомер | Модель продукта | CY-3Z |
Количество газовых путей | 3 канала | |
Тип расходомера | Массовый расходомер | |
Диапазон измерения | Канал: 0~100sccm;Канал B: 0~200 см/см;Канал C: 0~500 см/см | |
Точность измерения | ±1,5% | |
Разница рабочего давления | 0,1~0,5 МПа | |
Конвейерный интерфейс | Соединитель с наконечником 1/4 дюйма | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50/60 Гц | |
Вакуумная система | Вакуумный насос | Двухступенчатый пластинчато-роторный насос |
Скорость откачки | 1,1 л/с | |
Насосный порт | КФ16 | |
Насос предельного вакуума | 10Э-1Па | |
Источник питания | 220 В переменного тока, 50/60 Гц | |
ВЧ источник питания | Частота сигнала | 13,56 МГц±0,005% |
Диапазон выходной мощности | 0~500Вт | |
Максимальная отраженная мощность | 100 Вт | |
РЧ-выходной интерфейс | 50 Ом, тип N, гнездо | |
Стабильность мощности | ≤5 Вт |