Вы здесь: Дом / Продукты / Машина для осаждения паров / Высокотемпературная вращающаяся трубчатая печь PECVD с вертикальным раздвижением

Высокотемпературная вращающаяся трубчатая печь PECVD с вертикальным раздвижением

штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN

Наша высокотемпературная вертикально-сдвижная ротационная трубчатая печь PECVD представляет собой современное оборудование, разработанное для удовлетворения строгих требований этих отраслей.


Эта машина использует технологию PECVD для нанесения тонких высококачественных пленок с исключительной однородностью и адгезией.Благодаря своей вертикально-скользящей роторной конструкции он обеспечивает повышенную гибкость и эффективность процесса осаждения.Функция вертикального скольжения позволяет легко загружать и выгружать носители, сводя к минимуму время простоя и повышая производительность.


Печь способна достигать высоких температур до [укажите диапазон температур] с точным контролем температуры.Это обеспечивает оптимальные условия для нанесения пленки, что приводит к превосходному качеству и производительности пленки.Вращательное движение дополнительно повышает однородность пленки, обеспечивая равномерное распределение газов-прекурсоров по поверхности подложки.


Наша трубчатая печь PECVD, оснащенная передовой технологией генерации плазмы, обеспечивает эффективное плазменное возбуждение, что приводит к улучшению свойств пленки и уменьшению дефектов.Плазма усиливает химические реакции, что приводит к улучшению плотности, твердости и адгезии пленки.Это делает его идеальным выбором для применений, требующих изготовления тонких пленок с высокими эксплуатационными характеристиками.


Машина оснащена удобной панелью управления, позволяющей легко управлять и контролировать процесс осаждения.Он предлагает различные программируемые параметры, такие как время осаждения, температура, скорость потока газа и давление, что позволяет точно контролировать и настраивать свойства пленки.


Кроме того, наша трубчатая печь PECVD оснащена функциями безопасности, обеспечивающими защиту оператора и минимизирующими риск несчастных случаев.Он изготовлен из высококачественных материалов и компонентов, гарантирующих долговечность и надежность.


В целом, наша высокотемпературная вертикально-сдвижная ротационная трубчатая печь PECVD представляет собой передовое решение для осаждения тонких пленок в электронной промышленности.Он предлагает превосходную производительность, гибкость и простоту использования, что делает его незаменимым инструментом для исследовательских лабораторий, университетов и производственных предприятий.Инвестируйте в нашу трубчатую печь PECVD, чтобы добиться исключительного качества тонких пленок и ускорить процессы исследований и разработок.


Технические параметры


Трубчатая печь с двумя температурными зонами

Модель продукта

CY-O1200-60IIC-R

Мощность оборудования

3кВт

Материал труб печи

Кварц высокой чистоты

Размер трубы печи

60*420+100*360+60*420 мм (кварцевая гетероморфная трубка)

Длина камеры печи

440 мм

Длина зоны нагрева

200мм+200мм

Рабочая Температура

0~1150℃

Предельная температура

1200 ℃

Точность контроля температуры

±1℃

Тип термопары

Термопара типа К

Режим контроля температуры

30-сегментный программный контроль температуры, самонастройка ПИД-параметров

Режим отображения

Полноцветный сенсорный ЖК-экран высокой четкости

Метод уплотнения

Вакуумный фланец из нержавеющей стали 304

Источник питания

Переменный ток: 220 В, 50/60 Гц

Скорость вращения

0~13 об/мин

Угол наклона

0~35°

3-канальный массовый расходомер

Модель продукта

CY-3Z

Количество газовых путей

3 канала

Тип расходомера

Массовый расходомер

Диапазон измерения

Канал: 0~100sccm;Канал B: 0~200 см/см;Канал C: 0~500 см/см

Точность измерения

±1,5%

Разница рабочего давления

0,1~0,5 МПа

Конвейерный интерфейс

Соединитель с наконечником 1/4 дюйма

Источник питания

220 В переменного тока, 50/60 Гц

Вакуумная система

Вакуумный насос

Двухступенчатый пластинчато-роторный насос

Скорость откачки

1,1 л/с

Насосный порт

КФ16

Насос предельного вакуума

10Э-1Па

Источник питания

220 В переменного тока, 50/60 Гц

ВЧ источник питания

Частота сигнала

13,56 МГц±0,005%

Диапазон выходной мощности

0~500Вт

Максимальная отраженная мощность

100 Вт

РЧ-выходной интерфейс

50 Ом, тип N, гнездо

Стабильность мощности

≤5 Вт


на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com