| Количество: | |
|---|---|
TN
Эта система CVD специально разработана для производства графена с использованием мини-трубчатой печи с температурой 1200 ℃, оснащенной высокоточным массовым расходомером и тонкопленочным вакуумметром.По сравнению с обычным датчиком сопротивления Пирани, показания тонкопленочного датчика являются точными и не зависят от типа газа, что очень подходит для процесса вакуумного нанесения покрытия.В то же время оборудование оснащено устройством обнаружения горючего газа, которое связано с электромагнитным клапаном на выходе воздуха.В случае утечки электромагнитный клапан можно закрыть для обеспечения безопасности.
Этот комплект оборудования занимает небольшую площадь и очень подходит для лабораторной подготовки CVD.
Технические параметры:
Параметры мини-трубчатой печи 200 ℃: | |
Поставлять Напряжение | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Максимум власть | 2кВт |
Обогрев зона | Одинокий зона нагрева 200мм |
Постоянный длина температурной зоны | 100 мм |
Обогрев элемент | Термостойкие проволока из сплава |
Термопара | Тип K |
Операционная температура | ≤1150 ℃ |
Обогрев ставка | Предлагать ≤10 ℃/мин |
Температура точность управления | ±1℃ |
Температура метод управления | АИ-ПИД 30-сегментная технологическая кривая с защитой от перегрева и перегорания. |
Печь материал трубки | Высокий чистота кварца |
Печь размер трубки | φ50 мм наружный диаметр x 450 мм Д |
Вакуум насос | Механический насос скорость откачки 1,1 л/с |
Окончательный вакуум | 5Па |
Трехканальный параметры массового расходомера: | |
Клапан тип | Нержавеющая сталь стальной игольчатый клапан |
Число газовых путей | Три |
Давление диапазон | 0,05~0,3МПа |
Диапазон | Ар 0~500смкм H2 0~200сксм CH4 0~10сксм |
Поток диапазон управления | ±1,5% |
Смешивание объем бака | 750мл |
Газ материал пути | 304 нержавеющая сталь |
Трубка интерфейс | 6,35 мм соединительный наконечник |
Власть поставлять | 220 В переменного тока 50 Гц |
Эта система CVD специально разработана для производства графена с использованием мини-трубчатой печи с температурой 1200 ℃, оснащенной высокоточным массовым расходомером и тонкопленочным вакуумметром.По сравнению с обычным датчиком сопротивления Пирани, показания тонкопленочного датчика являются точными и не зависят от типа газа, что очень подходит для процесса вакуумного нанесения покрытия.В то же время оборудование оснащено устройством обнаружения горючего газа, которое связано с электромагнитным клапаном на выходе воздуха.В случае утечки электромагнитный клапан можно закрыть для обеспечения безопасности.
Этот комплект оборудования занимает небольшую площадь и очень подходит для лабораторной подготовки CVD.
Технические параметры:
Параметры мини-трубчатой печи 200 ℃: | |
Поставлять Напряжение | 220 В переменного тока, 50 Гц |
Максимум власть | 2кВт |
Обогрев зона | Одинокий зона нагрева 200мм |
Постоянный длина температурной зоны | 100 мм |
Обогрев элемент | Термостойкие проволока из сплава |
Термопара | Тип K |
Операционная температура | ≤1150 ℃ |
Обогрев ставка | Предлагать ≤10 ℃/мин |
Температура точность управления | ±1℃ |
Температура метод управления | АИ-ПИД 30-сегментная технологическая кривая с защитой от перегрева и перегорания. |
Печь материал трубки | Высокий чистота кварца |
Печь размер трубки | φ50 мм наружный диаметр x 450 мм Д |
Вакуум насос | Механический насос скорость откачки 1,1 л/с |
Окончательный вакуум | 5Па |
Трехканальный параметры массового расходомера: | |
Клапан тип | Нержавеющая сталь стальной игольчатый клапан |
Число газовых путей | Три |
Давление диапазон | 0,05~0,3МПа |
Диапазон | Ар 0~500смкм H2 0~200сксм CH4 0~10сксм |
Поток диапазон управления | ±1,5% |
Смешивание объем бака | 750мл |
Газ материал пути | 304 нержавеющая сталь |
Трубка интерфейс | 6,35 мм соединительный наконечник |
Власть поставлять | 220 В переменного тока 50 Гц |
