| Количество: | |
|---|---|
ТН-ВПК-300
TN
Осаждение из воздушной фазы Перелина (PECVD) — это широко используемый метод осаждения тонких пленок для изготовления тонких пленок на поверхности материала. материал.Это процесс нанесения тонкой пленки в вакууме с использованием химической реакции в паровой фазе.При осаждении Перелина в воздушной фазе сначала необходимо создать вакуумную среду, чтобы гарантировать отсутствие газовых помех во время процесса. осаждение. Затем, к введение тот газ в реакция камера, это реагирует с поверхностью и осаждается с образованием пленки.
Нанесение Перелина в воздушной фазе можно использовать для изготовления различных типов пленок, таких как кремниевые. нитрид, кремний окись, алюминий нитрид, и т. д. Это имеет a широкий диапазон из Приложения в полупроводниках, оптоэлектронике, устройствах отображения и других областях и может использоваться для изготовления тонкопленочных резисторов, оптических покрытий, теплоизоляции и т. д.
Пирелин правда воздух фаза осаждение имеет некоторый преимущества, такой как быстрый осаждение скорость, хорошее осаждение однородность и сильная управляемость. Однако, это также имеет некоторый ограничения, такие как невозможность нанесения тонкой пленки большой площади и необходимость высокого вакуума.
Общий, Перелин настоящий воздух фазовое осаждение важный метод подготовки пленки которые могут обеспечить высококачественные пленочные материалы для различных применений.
Параметры оборудования для вакуумного напыления «Перелин»
Имя устройства | Истинное осаждение Перелина в воздушной фазе оборудование | |||
Модель продукта | ТН-ВПК-300 | |||
Работа среда | Электропитание: 380В пятипроводное 4 квадрата. кабель, максимальная мощность 10кВт | |||
Температура окружающей среды: 0-40 ℃ | ||||
Влажность окружающей среды: < 90% | ||||
Размер | появление размер является 1580*880*1550мм, крышки а область из о 1,5 кв.м. метры, и там должен быть более чем 50 см действующий пространство вокруг установки | |||
Нагревательная часть | Зона сублимации | Бункер для сырья: φ69*200 мм Емкость: 300 г | ||
Температура испарения: комнатная температура 200℃ | ||||
Отклонение температуры: ± 2 ℃ | ||||
Крекинг Зона | Температура растрескивания: 650-700 ℃ Температурная стабильность: ± 2 ℃ | |||
Изоляция область | Температура нагрева < 300 。 С | |||
Система контроля | Брендинг | Система управления ПЛК | ||
Программа | Там являются два части для автоматический осаждение система и ручная система осаждения | |||
Отображать | Размер дисплея: 12-дюймовый сенсорный цветной экран. | |||
Депозитарный система | Вакуум субстрат | 1, размер φ300xH400, нержавеющая сталь 304 | ||
Камера | 28L | |||
объем | ||||
Наблюдение окно | 1 смотровое окно для удобства наблюдения принадлежащий состояние продукта в камера осаждения | |||
Вращающийся раздел | Регулируемая скорость двигателя 1-10 об/мин. | |||
Вакуумная система | Вакуумный насос | |||
Вакуумметр | ||||
Охлаждение система | Холодная ТХ-95-15-Г(горшочный тип), холодильная температура ≤90 。 C в течение 30 минут. после начиная охлаждение может быть от комната температура до -70 。 С | |||
Связь испарение агента устройство | Улучшить адгезию перелина нанесение покрытия на поверхность подложки, на которую будет нанесено покрытие | |||
Основной части из оборудование | 1, система испарения: испарительная камера, электроэнергия n тепловое устройство, Датчик температуры 2, система крекинга: камера крекинга, электротермическое устройство, датчик температуры 3, система осаждения: камера осаждения, датчик вакуума, штатив для проб 4, вакуумная система: вакуумный насос, вакуумметр 5. Система конденсации: холодная ловушка типа бака. 6, хост оборудования: корпус оборудования, схема управления, вакуумная трубка 7, кварцевая трубка: 1 | |||
Седиментируемый тип сырья | Парилен C, N, F, D | |||
Оборудование Функции | 1, тот газификация обогрев может быть взолнованный, подходящий для непрерывное производство, такой как внезапный власть failure и другой непредвиденные обстоятельства могут быть устранены в любое время, чтобы гарантировать, что продукт безопасность. 2. Часть газификации прозрачная. стеклянная трубка, которая может можно посмотреть в любом время и может поддерживать производство при низкой температуре для удовлетворения высоких Требования к покрытию. 3, газификацию можно перенести, это отправить установка патента, может гарантировать отсутствие патентных конфликтов, безопасность производства. 4. особенный дизайн из тот внутренний вращающийся рамка из тот полость может эффективно сократить количество плохих точки. 5. Визуальный и гуманизированный интерфейс, простой чтобы понять работу.6, стеклянная трубка, может значительно уменьшить нагрев и время охлаждения. 7. Изоляционная часть оптимизирована, поэтому что Перелин нелегко отложить на внутренней стенке стеклянной трубки, который может поддерживаться в течение длинный время и сократить время обслуживания | |||
Осаждение из воздушной фазы Перелина (PECVD) — это широко используемый метод осаждения тонких пленок для изготовления тонких пленок на поверхности материала. материал.Это процесс нанесения тонкой пленки в вакууме с использованием химической реакции в паровой фазе.При осаждении Перелина в воздушной фазе сначала необходимо создать вакуумную среду, чтобы гарантировать отсутствие газовых помех во время процесса. осаждение. Затем, к введение тот газ в реакция камера, это реагирует с поверхностью и осаждается с образованием пленки.
Нанесение Перелина в воздушной фазе можно использовать для изготовления различных типов пленок, таких как кремниевые. нитрид, кремний окись, алюминий нитрид, и т. д. Это имеет a широкий диапазон из Приложения в полупроводниках, оптоэлектронике, устройствах отображения и других областях и может использоваться для изготовления тонкопленочных резисторов, оптических покрытий, теплоизоляции и т. д.
Пирелин правда воздух фаза осаждение имеет некоторый преимущества, такой как быстрый осаждение скорость, хорошее осаждение однородность и сильная управляемость. Однако, это также имеет некоторый ограничения, такие как невозможность нанесения тонкой пленки большой площади и необходимость высокого вакуума.
Общий, Перелин настоящий воздух фазовое осаждение важный метод подготовки пленки которые могут обеспечить высококачественные пленочные материалы для различных применений.
Параметры оборудования для вакуумного напыления «Перелин»
Имя устройства | Истинное осаждение Перелина в воздушной фазе оборудование | |||
Модель продукта | ТН-ВПК-300 | |||
Работа среда | Электропитание: 380В пятипроводное 4 квадрата. кабель, максимальная мощность 10кВт | |||
Температура окружающей среды: 0-40 ℃ | ||||
Влажность окружающей среды: < 90% | ||||
Размер | появление размер является 1580*880*1550мм, крышки а область из о 1,5 кв.м. метры, и там должен быть более чем 50 см действующий пространство вокруг установки | |||
Нагревательная часть | Зона сублимации | Бункер для сырья: φ69*200 мм Емкость: 300 г | ||
Температура испарения: комнатная температура 200℃ | ||||
Отклонение температуры: ± 2 ℃ | ||||
Крекинг Зона | Температура растрескивания: 650-700 ℃ Температурная стабильность: ± 2 ℃ | |||
Изоляция область | Температура нагрева < 300 。 С | |||
Система контроля | Брендинг | Система управления ПЛК | ||
Программа | Там являются два части для автоматический осаждение система и ручная система осаждения | |||
Отображать | Размер дисплея: 12-дюймовый сенсорный цветной экран. | |||
Депозитарный система | Вакуум субстрат | 1, размер φ300xH400, нержавеющая сталь 304 | ||
Камера | 28L | |||
объем | ||||
Наблюдение окно | 1 смотровое окно для удобства наблюдения принадлежащий состояние продукта в камера осаждения | |||
Вращающийся раздел | Регулируемая скорость двигателя 1-10 об/мин. | |||
Вакуумная система | Вакуумный насос | |||
Вакуумметр | ||||
Охлаждение система | Холодная ТХ-95-15-Г(горшочный тип), холодильная температура ≤90 。 C в течение 30 минут. после начиная охлаждение может быть от комната температура до -70 。 С | |||
Связь испарение агента устройство | Улучшить адгезию перелина нанесение покрытия на поверхность подложки, на которую будет нанесено покрытие | |||
Основной части из оборудование | 1, система испарения: испарительная камера, электроэнергия n тепловое устройство, Датчик температуры 2, система крекинга: камера крекинга, электротермическое устройство, датчик температуры 3, система осаждения: камера осаждения, датчик вакуума, штатив для проб 4, вакуумная система: вакуумный насос, вакуумметр 5. Система конденсации: холодная ловушка типа бака. 6, хост оборудования: корпус оборудования, схема управления, вакуумная трубка 7, кварцевая трубка: 1 | |||
Седиментируемый тип сырья | Парилен C, N, F, D | |||
Оборудование Функции | 1, тот газификация обогрев может быть взолнованный, подходящий для непрерывное производство, такой как внезапный власть failure и другой непредвиденные обстоятельства могут быть устранены в любое время, чтобы гарантировать, что продукт безопасность. 2. Часть газификации прозрачная. стеклянная трубка, которая может можно посмотреть в любом время и может поддерживать производство при низкой температуре для удовлетворения высоких Требования к покрытию. 3, газификацию можно перенести, это отправить установка патента, может гарантировать отсутствие патентных конфликтов, безопасность производства. 4. особенный дизайн из тот внутренний вращающийся рамка из тот полость может эффективно сократить количество плохих точки. 5. Визуальный и гуманизированный интерфейс, простой чтобы понять работу.6, стеклянная трубка, может значительно уменьшить нагрев и время охлаждения. 7. Изоляционная часть оптимизирована, поэтому что Перелин нелегко отложить на внутренней стенке стеклянной трубки, который может поддерживаться в течение длинный время и сократить время обслуживания | |||
