штат: | |
---|---|
Количество: | |
TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2
TN
Это оборудование представляет собой крупногабаритное устройство для получения дисульфида молибдена на уровне пластин, разработанное на основе принципов CVD.В его состав входит трехзонная трубчатая печь, трубчатая печь специальной конструкции и комплект вспомогательных газовых контуров.Оборудование может равномерно подавать реакционный газ в трубу печи через специально разработанный трубопровод, чтобы обеспечить консистенцию и однородность продукта на задней стороне пластины.Это лучший выбор для экспериментов по приготовлению дисульфида молибдена.
Технические параметры:
Продукт модель | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
Печь материал трубки | Высокий чистота кварца |
Печь размер трубки | Внешний большая кварцевая трубка φ120 x 1000 мм Внутренний маленькая кварцевая трубка φ25 мм x 820 мм x7 |
Температура длина зоны | Три зона нагрева 200мм+200мм+200мм |
Температура точность управления | ±1℃ |
Температура изгиб | Независимый контроль температуры в трех температурных зонах, каждая температурная зона может быть набор с 30-сегментной временной температурной кривой |
Операционная температура | 0~1150℃ |
Обогрев ставка | ≤10 ℃/мин |
Впуск система | Трехканальный массовый расходомер Ар газ 0~500sccm Н2 газ 0~200sccm Н2 газ 0~200sccm Оборудовано с семью каналами газоразделения, газосмешивающим газовым трактом. |
Печь фланец трубы | Нержавеющая сталь стальной фланец с водяным охлаждением, оснащенный вакуумным интерфейсом KF16, механический вакуумметр и игольчатый клапан из нержавеющей стали |
Власть требования | переменного тока 220 В 50 Гц 4 кВт |
Контроль режим | 7-дюймовый сенсорный экран |
Вакуум насос | Двойной ступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос |
Вакуум | Теоретический предельная степень вакуума 10^-1Па |
Это оборудование представляет собой крупногабаритное устройство для получения дисульфида молибдена на уровне пластин, разработанное на основе принципов CVD.В его состав входит трехзонная трубчатая печь, трубчатая печь специальной конструкции и комплект вспомогательных газовых контуров.Оборудование может равномерно подавать реакционный газ в трубу печи через специально разработанный трубопровод, чтобы обеспечить консистенцию и однородность продукта на задней стороне пластины.Это лучший выбор для экспериментов по приготовлению дисульфида молибдена.
Технические параметры:
Продукт модель | TN-O1200-120III-IC-3Z-MoS2 |
Печь материал трубки | Высокий чистота кварца |
Печь размер трубки | Внешний большая кварцевая трубка φ120 x 1000 мм Внутренний маленькая кварцевая трубка φ25 мм x 820 мм x7 |
Температура длина зоны | Три зона нагрева 200мм+200мм+200мм |
Температура точность управления | ±1℃ |
Температура изгиб | Независимый контроль температуры в трех температурных зонах, каждая температурная зона может быть набор с 30-сегментной временной температурной кривой |
Операционная температура | 0~1150℃ |
Обогрев ставка | ≤10 ℃/мин |
Впуск система | Трехканальный массовый расходомер Ар газ 0~500sccm Н2 газ 0~200sccm Н2 газ 0~200sccm Оборудовано с семью каналами газоразделения, газосмешивающим газовым трактом. |
Печь фланец трубы | Нержавеющая сталь стальной фланец с водяным охлаждением, оснащенный вакуумным интерфейсом KF16, механический вакуумметр и игольчатый клапан из нержавеющей стали |
Власть требования | переменного тока 220 В 50 Гц 4 кВт |
Контроль режим | 7-дюймовый сенсорный экран |
Вакуум насос | Двойной ступенчатый пластинчато-роторный вакуумный насос |
Вакуум | Теоретический предельная степень вакуума 10^-1Па |