| Количество: | |
|---|---|
TN
Мощный источник питания постоянного тока для установки магнетронного распыления представляет собой источник энергии с прецизионным управлением, предназначенный для непрерывного и импульсного распыления постоянным током. Он обеспечивает стабильный и плавный результат для высококачественного осаждения тонких пленок для полупроводников, МЭМС и исследовательских лабораторий.
Благодаря высокой эффективности преобразования, сверхнизким пульсациям и комплексным функциям защиты этот источник постоянного тока поддерживает системы распыления как с одним, так и с несколькими катодами, обеспечивая превосходную однородность покрытия и длительный срок службы мишени.
| Параметр | Спецификация | Описание |
|---|---|---|
| Выходная мощность | 3 кВт – 60 кВт | Дополнительные уровни мощности для удовлетворения различных системных требований |
| Выходное напряжение | 0–1200 В постоянного тока (регулируемый) | Широкий диапазон напряжений для различных материалов мишени |
| Выходной ток | 0–100 А (регулируемый) | Высокий ток для распыления большой площади |
| Выходная пульсация | ≤ 0,1% | Обеспечивает стабильную плазму и равномерную толщину пленки. |
| Режим управления | Напряжение/Ток/Мощность | Гибкие возможности управления |
| Защита | Перенапряжение, перегрузка по току, перегрев, короткое замыкание | Комплексная защита безопасности |
| Метод охлаждения | Воздушное/водяное охлаждение | Эффективное рассеивание тепла для длительного использования. |
| Интерфейс | Аналоговый/RS-485/Ethernet (опция) | Поддерживает автоматизацию и удаленный мониторинг. |
| Dimensions | Индивидуальные | Компактные, стоечные или автономные конфигурации |
Пользовательские диапазоны мощности и конфигурации доступны по запросу.
Усовершенствованное управление ШИМ обеспечивает стабильный выходной ток постоянного тока с минимальными пульсациями, поддерживая постоянные условия плазмы во время нанесения покрытия.
Применяет высокочастотную технологию мягкого переключения с эффективностью преобразования энергии более 90% , снижая потери энергии и выделение тепла.
Встроенная защита от перенапряжения, перегрузки по току и перегрева гарантирует безопасность и надежность при круглосуточном промышленном использовании.
Подходит для магнетронного распыления постоянного тока, , импульсного распыления и других систем PVD. Совместим с широким спектром мишеней и камер.
Оснащен цифровыми и аналоговыми опциями управления, поддерживающими связь с компьютером через RS-485 или Ethernet , а также позволяющими регистрировать данные процесса и удаленную диагностику.
Компактная конструкция с модульной компоновкой позволяет легко обслуживать и интегрировать в существующие системы распыления.
Этот мощный источник постоянного тока идеально подходит для различных задач по осаждению тонких пленок, в том числе:
Производство полупроводников – нанесение металлических и диэлектрических пленок
Оптические покрытия – тонкие пленки высокой однородности для линз и фильтров.
Изготовление МЭМС – напыление слоев золота, титана или алюминия.
Поверхностная инженерия – покрытия от износа, коррозии или проводимости.
Научные исследования – лаборатории материаловедения и нанотехнологий
Совместим с устройствами магнетронного распыления CoaterFilm и специальными вакуумными системами.
Варианты монтажа: стандартная 19-дюймовая стойка или специальный шкаф.
Входная мощность: 380 В переменного тока ±10 %, трехфазный, 50/60 Гц.
Интерфейс подключения: Plug-and-play со стандартными катодами для распыления.
Охлаждение: Принудительная циркуляция воздуха или воды; обеспечить правильную вентиляцию
Окружающая среда: Рабочая температура 0–40°C, влажность ≤80 %.
Следуйте руководству пользователя по заземлению и экранированию во избежание электрических помех.
Перед работой убедитесь, что все соединения правильно заземлены.
Постепенно увеличивайте выходную мощность для достижения необходимого уровня покрытия.
Периодически проверяйте кабели, вентиляторы и линии водяного охлаждения.
Очистите блок питания снаружи и обеспечьте беспрепятственный поток воздуха.
В случае неисправности или сигнала тревоги обратитесь к руководству по устранению неполадок или обратитесь в службу технической поддержки.
Диапазон моделей варьируется от 3 до 60 кВт , в зависимости от требований вашей системы распыления.
Да, дополнительные модули позволяют работать в импульсном режиме постоянного тока для сложных приложений с тонкими пленками.
Защита от перегрузки по току, перенапряжения, перегрева и короткого замыкания входит в стандартную комплектацию.
Да, CoaterFilm предлагает индивидуальные конфигурации напряжения, тока и интерфейса связи .
Стандартная гарантия составляет 12 месяцев с возможностью пожизненной технической поддержки.
Более 15 лет опыта работы в системах напыления и вакуумного нанесения покрытий.
Высокая надежность и эффективность, проверенная в мировых исследовательских институтах
Профессиональная техническая команда для индивидуального проектирования и поддержки на месте.
Быстрая доставка и гибкое обслуживание OEM/ODM
ISO-сертифицированное производство и гарантия качества
CoaterFilm — ваш надежный партнер в области прецизионного тонкопленочного оборудования и энергетических решений.
Лаборатория материалов Университета XYZ — источник постоянного тока мощностью 10 кВт, интегрированный с устройством для нанесения покрытий с двойным катодом, улучшенная скорость осаждения на 25%.
OptoTech Inc. – Мощная установка мощностью 40 кВт, используемая на линии нанесения оптического покрытия, работает круглосуточно и без выходных, без сбоев за 18 месяцев.
(Большие варианты применения доступны по запросу.)
Гарантия: стандартное покрытие 12 месяцев.
Техническая поддержка: круглосуточная помощь по электронной почте и удаленная диагностика.
Запасные части: компоненты на складе для быстрой замены.
Руководства и ресурсы: загрузите подробные технические характеристики и руководства по эксплуатации.
CoaterFilm Vacuum Technology Co., Ltd.
Ведущий производитель оборудования для вакуумного нанесения покрытий и систем напыления.
Серия блоков питания, сертифицированная по стандарту ISO 9001 и одобренная CE.
Мощный источник питания постоянного тока для установки магнетронного распыления представляет собой источник энергии с прецизионным управлением, предназначенный для непрерывного и импульсного распыления постоянным током. Он обеспечивает стабильный и плавный результат для высококачественного осаждения тонких пленок для полупроводников, МЭМС и исследовательских лабораторий.
Благодаря высокой эффективности преобразования, сверхнизким пульсациям и комплексным функциям защиты этот источник постоянного тока поддерживает системы распыления как с одним, так и с несколькими катодами, обеспечивая превосходную однородность покрытия и длительный срок службы мишени.
| Параметр | Спецификация | Описание |
|---|---|---|
| Выходная мощность | 3 кВт – 60 кВт | Дополнительные уровни мощности для удовлетворения различных системных требований |
| Выходное напряжение | 0–1200 В постоянного тока (регулируемый) | Широкий диапазон напряжений для различных материалов мишени |
| Выходной ток | 0–100 А (регулируемый) | Высокий ток для распыления большой площади |
| Выходная пульсация | ≤ 0,1% | Обеспечивает стабильную плазму и равномерную толщину пленки. |
| Режим управления | Напряжение/Ток/Мощность | Гибкие возможности управления |
| Защита | Перенапряжение, перегрузка по току, перегрев, короткое замыкание | Комплексная защита безопасности |
| Метод охлаждения | Воздушное/водяное охлаждение | Эффективное рассеивание тепла для длительного использования. |
| Интерфейс | Аналоговый/RS-485/Ethernet (опция) | Поддерживает автоматизацию и удаленный мониторинг. |
| Dimensions | Индивидуальные | Компактные, стоечные или автономные конфигурации |
Пользовательские диапазоны мощности и конфигурации доступны по запросу.
Усовершенствованное управление ШИМ обеспечивает стабильный выходной ток постоянного тока с минимальными пульсациями, поддерживая постоянные условия плазмы во время нанесения покрытия.
Применяет высокочастотную технологию мягкого переключения с эффективностью преобразования энергии более 90% , снижая потери энергии и выделение тепла.
Встроенная защита от перенапряжения, перегрузки по току и перегрева гарантирует безопасность и надежность при круглосуточном промышленном использовании.
Подходит для магнетронного распыления постоянного тока, , импульсного распыления и других систем PVD. Совместим с широким спектром мишеней и камер.
Оснащен цифровыми и аналоговыми опциями управления, поддерживающими связь с компьютером через RS-485 или Ethernet , а также позволяющими регистрировать данные процесса и удаленную диагностику.
Компактная конструкция с модульной компоновкой позволяет легко обслуживать и интегрировать в существующие системы распыления.
Этот мощный источник постоянного тока идеально подходит для различных задач по осаждению тонких пленок, в том числе:
Производство полупроводников – нанесение металлических и диэлектрических пленок
Оптические покрытия – тонкие пленки высокой однородности для линз и фильтров.
Изготовление МЭМС – напыление слоев золота, титана или алюминия.
Поверхностная инженерия – покрытия от износа, коррозии или проводимости.
Научные исследования – лаборатории материаловедения и нанотехнологий
Совместим с устройствами магнетронного распыления CoaterFilm и специальными вакуумными системами.
Варианты монтажа: стандартная 19-дюймовая стойка или специальный шкаф.
Входная мощность: 380 В переменного тока ±10 %, трехфазный, 50/60 Гц.
Интерфейс подключения: Plug-and-play со стандартными катодами для распыления.
Охлаждение: Принудительная циркуляция воздуха или воды; обеспечить правильную вентиляцию
Окружающая среда: Рабочая температура 0–40°C, влажность ≤80 %.
Следуйте руководству пользователя по заземлению и экранированию во избежание электрических помех.
Перед работой убедитесь, что все соединения правильно заземлены.
Постепенно увеличивайте выходную мощность для достижения необходимого уровня покрытия.
Периодически проверяйте кабели, вентиляторы и линии водяного охлаждения.
Очистите блок питания снаружи и обеспечьте беспрепятственный поток воздуха.
В случае неисправности или сигнала тревоги обратитесь к руководству по устранению неполадок или обратитесь в службу технической поддержки.
Диапазон моделей варьируется от 3 до 60 кВт , в зависимости от требований вашей системы распыления.
Да, дополнительные модули позволяют работать в импульсном режиме постоянного тока для сложных приложений с тонкими пленками.
Защита от перегрузки по току, перенапряжения, перегрева и короткого замыкания входит в стандартную комплектацию.
Да, CoaterFilm предлагает индивидуальные конфигурации напряжения, тока и интерфейса связи .
Стандартная гарантия составляет 12 месяцев с возможностью пожизненной технической поддержки.
Более 15 лет опыта работы в системах напыления и вакуумного нанесения покрытий.
Высокая надежность и эффективность, проверенная в мировых исследовательских институтах
Профессиональная техническая команда для индивидуального проектирования и поддержки на месте.
Быстрая доставка и гибкое обслуживание OEM/ODM
ISO-сертифицированное производство и гарантия качества
CoaterFilm — ваш надежный партнер в области прецизионного тонкопленочного оборудования и энергетических решений.
Лаборатория материалов Университета XYZ — источник постоянного тока мощностью 10 кВт, интегрированный с устройством для нанесения покрытий с двойным катодом, улучшенная скорость осаждения на 25%.
OptoTech Inc. – Мощная установка мощностью 40 кВт, используемая на линии нанесения оптического покрытия, работает круглосуточно и без выходных, без сбоев за 18 месяцев.
(Большие варианты применения доступны по запросу.)
Гарантия: стандартное покрытие 12 месяцев.
Техническая поддержка: круглосуточная помощь по электронной почте и удаленная диагностика.
Запасные части: компоненты на складе для быстрой замены.
Руководства и ресурсы: загрузите подробные технические характеристики и руководства по эксплуатации.
CoaterFilm Vacuum Technology Co., Ltd.
Ведущий производитель оборудования для вакуумного нанесения покрытий и систем напыления.
Серия блоков питания, сертифицированная по стандарту ISO 9001 и одобренная CE.
