MSB Среднечастотный магнетронный распылитель для вакуумного нанесения покрытий, источник питания

MSB среднечастотный источник питания для вакуумного нанесения магнетронного напыления

Основные особенности:

1. Он использует передовую технологию импульсного источника питания для уменьшения количества компонентов хранения выходной энергии.В то же время это улучшает подавление искрения и скорость перезапуска, а преимущество покрытия алюминиевой мишени становится более очевидным.

2. Доступен в режиме постоянного тока/постоянной мощности.Режим постоянной мощности гарантирует повторяемость процесса нанесения покрытия по сравнению с обычным режимом постоянного тока.

3. Он имеет идеальную характеристику крутого падения напряжения, автоматически распознает явление псевдовоспламенения и полностью обеспечивает непрерывность процесса магнетронного распыления.

4. Основные параметры можно регулировать в широком диапазоне.

5. Дополнительное ручное управление/управление аналоговым интерфейсом, дополнительный интерфейс связи RS485.

Используя передовую технологию широтно-импульсной модуляции ШИМ, используя импортированные IGBT или MOSFET в качестве устройства переключения мощности, он имеет небольшой размер, легкий вес, полнофункциональный, стабильный и надежный в работе, а производственный процесс является строгим и совершенным.

В этой серии продуктов используется усовершенствованная система управления DSP, которая полностью обеспечивает повторяемость процесса нанесения покрытия, а также функция ограничения дугового разряда и сопротивления короткому замыканию.

Эта серия продуктов имеет возможность согласования нагрузки, что не только обеспечивает стабильность процесса очистки целевой поверхности, но и повышает скорость очистки целевой поверхности;

Основные параметры можно плавно регулировать в широком диапазоне;

Простота обслуживания и высокая надежность;

Интерфейс ПЛК и функция расширения интерфейса RS485 позволяют легко добиться автоматического управления.

Технические параметры: