Источник питания импульсного смещения серии BP для магнетронного распыления

Источник питания импульсного смещения серии BP

Основные особенности:

1. Он имеет функцию стабилизации напряжения и имеет идеальную характеристику крутого падения напряжения, что эффективно подавляет воспламенение поверхности заготовки и значительно улучшает выход, качество поверхности и адгезию пленки на гальванизированных деталях.

2. Путем соответствующей регулировки коэффициента заполнения можно улучшить и контролировать скорость и температуру формирования пленки, увеличить силу сцепления пленки и увеличить скорость осаждения.

3. Он разделен на два файла: высокого давления и низкого давления.Высокое давление подходит для тлеющей очистки и ионной бомбардировки.Низкое давление подходит для ускорения ионов во время нанесения покрытия.

4. Частота 40 кГц, рабочий цикл 20–80%.

5. Дополнительное ручное управление/управление аналоговым интерфейсом, дополнительный интерфейс связи RS485.

Используя передовую технологию широтно-импульсной модуляции ШИМ, используя импортированные IGBT или MOSFET в качестве устройства переключения мощности, он имеет небольшой размер, легкий вес, полнофункциональный, стабильный и надежный в работе, а производственный процесс является строгим и совершенным.

В этой серии продуктов используется усовершенствованная система управления DSP, которая полностью обеспечивает повторяемость процесса нанесения покрытия, а также функция ограничения дугового разряда и сопротивления короткому замыканию.

Эта серия продуктов обладает превосходной способностью согласования нагрузки, что не только обеспечивает стабильность процесса очистки целевой поверхности, но и повышает скорость очистки целевой поверхности;

Основные параметры можно плавно регулировать в широком диапазоне;

Простота обслуживания и высокая надежность;

Интерфейс ПЛК и функция расширения интерфейса RS485 позволяют легко добиться автоматического управления.

Технические параметры: