Вы здесь: Дом / Продукты / Вакуумные компоненты / Источник питания / Источник питания постоянного тока серии BD для плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD)

loading

Источник питания постоянного тока серии BD для плазменного химического осаждения из паровой фазы (PECVD)

Покрытие, полученное несбалансированным магнетронным напылением, и покрытие, нанесенное среднечастотным магнетронным напылением с двумя мишенями, плазменное химическое осаждение из паровой фазы (PECVD) и т.п.
штат:
Количество:
facebook sharing button
twitter sharing button
line sharing button
wechat sharing button
linkedin sharing button
pinterest sharing button
whatsapp sharing button
sharethis sharing button
  • TN

Источник питания смещения в основном используется для многодугового ионного покрытия, дугового ионного покрытия магнитных фильтров, магнетронного напыления постоянного тока,

Покрытие, полученное несбалансированным магнетронным напылением, и покрытие, полученное среднечастотным магнетронным напылением с двумя мишенями, химическое осаждение из паровой фазы, усиленное плазмой (PECVD) и т.п.

К основным функциям относятся: очистка тлеющим разрядом поверхности покрываемой детали, бомбардировка ионами перед нанесением покрытия и ускорение ионов во время нанесения покрытия.

Разумный выбор источника питания смещения может эффективно предотвратить воспламенение поверхности заготовки и значительно улучшить производительность, чистоту поверхности и силу сцепления покрытых пленкой деталей.

Бренд

ТН

Модель

БД   последовательный источник питания постоянного тока

Номер фазы

Три   фазы + Н

Входное напряжение

380В

Частота

50 Гц

Метод ввода

4   линии (включая нулевую линию)

Форма выходного сигнала

Пульс

Власть

10кВт—100кВт   (настраиваемый)

Напряжение

0—1200 В   (настраиваемый)

Текущий

0-100А   (настраиваемый)

Стабильность

≤1%

Пульсация и   Шум

≤2%

власть

≥90%

Метод управления

Постоянный   напряжение, переключение высокого и низкого напряжения

Контроль   интерфейс

Необязательный:   руководство по эксплуатации панели, аналоговый интерфейс ПЛК, RS485 (Modbus)

Защита

С   потеря фазы, перегрев, ограничение напряжения, перенапряжение, перегрузка по току, короткое замыкание   цепь, перегрузка и другие функции защиты

Метод охлаждения

Воздух   или водяное охлаждение

Уровень защиты

IP21

Dimensions   (Ш*Г*В)

Власть   питание: 440 (Вт) ×260   (Г) ×580   (D) (20 кВт с воздушным охлаждением)

Панель:   482 (Ш)×280 (В)

Рабочее напряжение можно разделить на классы A и B.Напряжение в каждом классе плавно регулируется и регулируется автоматически.Точность стабилизации напряжения составляет 1% полной шкалы.

А: 100 В-1000 В

Б: 50 В-500 В


на: 
под: 
ЗАПРОС О ПРОДУКТЕ

СОПУТСТВУЮЩИЕ ТОВАРЫ

Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
Компания-производитель, специализирующаяся на производстве лабораторных научных приборов.Наша продукция широко используется в колледжах, исследовательских институтах и ​​лабораториях.

БЫСТРЫЕ ССЫЛКИ

СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ

+86-371-5536-5392
+86-185-3800-8121
Комната 401, 4-й этаж, корпус 5, Новый город технологий Чжэнчжоу Ида, улица Цзиньчжан, зона высоких технологий, город Чжэнчжоу
Авторское право © 2023 Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.|Поддержка leadong.com