Вы здесь: Дом / Продукты / Вакуумные компоненты / Магнетронная мишень / 2. Высоковакуумный магнетронный источник распыления с гибкой головкой и быстроразъемным разъемом.

2. Высоковакуумный магнетронный источник распыления с гибкой головкой и быстроразъемным разъемом.

2. Высоковакуумный магнетронный источник распыления с гибкой головкой и быстроразъемным разъемом.

TN-HVMSS-SPC-2 представляет собой круглый магнетронный распылитель диаметром 2 дюйма, который может использоваться для распыления широкого спектра мишеней, таких как металлические/изоляционные или магнетронно-магнитные.

Количество:
штат:





Запрос цены Добавить в корзину

Модель:
TN-HVMSS-SPC-2
Марка продукта:
TN

Описание продукта

TN-HVMSS-SPC-2 представляет собой круглый магнетронный распылительный пистолет диаметром 2 дюйма, который может использоваться для распыления широкого спектра мишеней, таких как металлические/изоляционные или магнитно-магнитные. Круглый постоянный магнит NdFeB из редкоземельных металлов используется для обеспечить превосходную однородность пленки и использование мишени.Такой распылительный пистолет прост в эксплуатации и обслуживании.Установка проста, и он может работать как от источника постоянного тока, так и от ВЧ-источника питания.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Функции	Распыляющую головку можно наклонять на +/- 25 градусов для регулировки угол падения бомбардировок для улучшения эффективности распыления. Изготовлен из высококачественных материалов нержавеющей стали и керамика. В конструкции использованы электромагнитные расчеты методом конечных элементов. узла постоянного магнита для достижения высокой напряженности поля и однородный профиль поля. Магнит покрыт защитным материалом от охлаждающей воды. коррозии для увеличения долговечности. Стандартный радиочастотный разъем, который подходит для широкого спектра источников постоянного и радиочастотного напряжения. распылительные источники питания. Напылительные головки с низким импедансом легко подключаются друг к другу. с внешним источником питания. Легко установить стандартный фитинг, входящий в комплект быстрый разъем 2-дюймовая медная опорная пластина (EQ-CBP-2) включен. Замена мишени проста и не требует подгонки пистолета по размеру. мишени разной высоты.
Требование к питанию	Постоянный ток (макс.) 500 Вт РФ (Макс.) 300 Вт
Тип электрического соединения	Стандартный кабельный разъем SL16 (Рис.1) Дополнительный RF-кабель длиной 148 см с разъемом SL6 (для заказа нажмите на рис. 2)
Ток распыления (макс.)	5 ампер
Напряжение распыления	200-1000 В
Давление распыления	1-1000 мТорр
Dimensions	Диаметр анодного экрана: 86 мм
Распыление мишени	Диаметр: 2,0 дюйма (50,8 мм), Толщина: до 1/4' для немагнитной цели; до до 1/16 дюйма для магнитной цели Использование: до 30% Магнит: Редкоземельный магнит NdFeB
Требования к охлаждающей воде	Скорость потока: 0,8 галлона в минуту, отфильтрованное Температура воды на входе: <20 С Водяные трубки: Быстроразъемное соединение 6 мм.
Монтаж	Проходное соединение: Трубка с внешним диаметром 3/4 дюйма
Вес нетто	3,5 фунта
Аксессуары	В комплект входит быстроразъемный разъем для высокого вакуума с внутренним диаметром 0,75 дюйма. Использование этот компонент для установки источника распыления на опорную плиту (вверх толщиной до 1 дюйма) вакуумной камеры со сквозным отверстием диаметром 1 дюйм при легком ( нажмите на картинку ниже слева, чтобы увидеть детали) 6-дюймовый фланец CF с высоковакуумным соединением. предоставляется по запросу за дополнительную плату.Распылительная головка может быть легко устанавливается на вакуумный фланец CF диаметром 6 дюймов через быстроразъемное соединение. Положение распылителя по высоте можно регулировать вручную. внутри вакуумной камеры. (Пожалуйста, нажмите на картинку ниже 3 и 4 чтобы увидеть детали) Охладитель циркуляционной воды с цифровой регулировкой температуры и Бак емкостью 6 литров, расход 16 л/мин доступен за дополнительную плату, нажмите кнопку картинка ниже справа на заказ.