Вы здесь: Дом / Продукты / Вакуумные компоненты / Магнетронная мишень / 1 источник магнетронного распыления с гибкой головкой для DIY RF & DC распылителя для нанесения покрытия для магнетронного распыления

1 источник магнетронного распыления с гибкой головкой для DIY RF & DC распылителя для нанесения покрытия для магнетронного распыления

1 источник магнетронного распыления с гибкой головкой для DIY RF & DC распылителя для нанесения покрытия для магнетронного распыления

TN-HVMSS-SPC-1-LD — это магнетронный пистолет для распыления с гибкой головкой, способный работать с широким диапазоном источников распыления диаметром 1 дюйм. Его совместимость с источниками питания постоянного, импульсного постоянного тока и радиочастотными источниками питания обеспечивает максимальную универсальность и расширяет возможности его использование для различных целей распыления

Количество:
штат:





Запрос цены Добавить в корзину

Модель:
TN-HVMSS-SPC-1-LD
Марка продукта:
TN

Описание продукта

TN-HVMSS-SPC-1-LD — это магнетронный пистолет для распыления с гибкой головкой, способный работать с широким диапазоном источников распыления диаметром 1 дюйм. Его совместимость с источниками питания постоянного тока, импульсными источниками постоянного тока и радиочастотными источниками питания обеспечивает максимальную универсальность и расширяет возможности его использование для распыления различных мишеней (например, металлических, электроизоляционных, магнитных или немагнитных и т. д.) Кроме того, его конструкция в высоком вакууме позволяет использовать аргон при низких уровнях давления, что улучшает качество покрытия за счет уменьшения газовых столкновений внутри распылителя. камера.

Круглые редкоземельные магниты Nd-Fe-B, изолированные от охлаждающей воды, реализованы в конструкции для минимизации границ раздела вода-вакуум, которые обычно встречаются в других источниках распыления.Эти магниты можно заменить в полевых условиях, что упрощает эксплуатацию и обслуживание распылительного пистолета.Установка этого устройства проста и обеспечивает простую смену целей, не требующую какого-либо присоединения цели.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Функции	Высокая напряженность поля и равномерный профиль поля достигаются за счет использования электромагнитных расчетов методом конечных элементов при проектировании постоянный магнит в сборе Напылительная головка с низким импедансом и стандартный радиочастотный разъем легко совместимость и взаимодействие с широким диапазоном мощности распыления постоянным и радиочастотным током запасы. Простая установка с помощью обычных инструментов. Магниты изолированы от охлаждающей воды защитным кожухом. антикоррозионное покрытие, обеспечивающее максимальную долговечность. Источник распыления выдерживает температуру до 200°C. 1-дюймовая медная опорная пластина (EQ-CBP-1) включен в комплект. Стандартный вал с внешним диаметром ¾ дюйма Принимает мишени толщиной 1/8 дюйма (3 мм); 1 кусок медной мишени входит в стандартную комплектацию
распылительный пистолет	распыляющая голова Диаметр: 1,82 дюйма (46,3 мм) Целевой диаметр: 1,0 ± 0,02 дюйма (25,4 мм) Максимальная толщина цели: 1/8 дюйма (3 мм) Магниты: Редкоземельный магнит NdFeB Диаметр вала: 3/4 дюйма наружный диаметр
Электрический разъем	Стандартный кабельный разъем SL16 (Рис.1) Дополнительный RF-кабель длиной 148 см с разъемом SL6 (для заказа нажмите на рис. 2)
Требование к питанию	Постоянный ток (макс.) 250 Вт РЧ (макс.) 100 Вт
Ток катодного распыления	3 А (макс.)
Напряжение катодного распыления	200–1000 В
Диапазон рабочего давления	От ~1 мТорр до 1 Торр
Кривая однородности толщины напыления	ПРИМЕЧАНИЕ: График нормализованной толщины пленки выше, было получено путем нанесения пленки толщиной ~200 нм с помощью PVD HV Магнетронный распылительный пистолет с медной мишенью диаметром 1 дюйм.Измерения были выполняется с помощью 4-точечного щупа в двух взаимно перпендикулярных направлениях (X, Y) по поверхности пластины.Пленка была нанесена на оксидированную основу. невращающаяся кремниевая пластина при следующих условиях: 1. 150 Вт постоянного тока, 10 мТорр (Ar) 2. Расстояние 3 дюйма (75 мм) от цели подложка
Водяное охлаждение (обязательно)	Требование к расходу: 1/2 галлона в минуту, фильтрованное Температура воды на входе: <20 С Подключение воды: 0,25 дюйма наружный диаметр быстрое отключение
Электрическая и монтажная арматура	Электрический разъем: Стандартный тип HN (ДК и РФ) В комплект входит быстроразъемное устройство высокого вакуума.Высокий вакуум Быстрый Отключитесь с идентификатором 0,75 дюйма (совместимо с HVMSS-SPC-1-LD). Используйте это компонент для установки напылительного инструмента HVMSS-SPC-1-LD на опорная плита (толщиной до 1 дюйма) вакуумной камеры с 1 дюйм диаметр сквозное отверстие
Вакуумный фланец с проходным соединением (Необязательный)	6-дюймовый фланец CF с высоким Вакуумный ввод доступен по запросу и за дополнительную плату. распыляющую головку можно легко установить на вакуумный фланец CF диаметром 6 дюймов через быстрый вакуумный зажим.Положение распылителя по высоте можно регулировать вручную. регулируется внутри вакуумной камеры.
Полная длина	14 дюймов
Вес нетто	3 фунта
Наклонная сборка	Распылительную головку можно наклонять на +/- 45 градусов для регулировки угол падения бомбардировок для улучшения эффективности распыления. Разметочные линии на узле наклона обеспечивают точную регулировку угла.
дополнительные аксессуары	Цифровая температура Контролируемый охладитель циркуляционной воды с баком на 6 литров, расход 16 л/мин доступен за дополнительную плату, пожалуйста заказывайте отдельно. MTI предлагает различные аксессуары для распыления, предназначенные для использования с магнетронным распылителем HVMSS-SPC-1 для клиенты, заинтересованные в создании индивидуального магнетронного распыления своими руками Коатеры: