Вы здесь: Дом / Продукты / Вакуумные компоненты / Магнетронная мишень / 1 источник магнетронного распыления с высоковакуумным быстрым разъемом для установки магнетронного распыления

1 источник магнетронного распыления с высоковакуумным быстрым разъемом для установки магнетронного распыления

1 источник магнетронного распыления с высоковакуумным быстрым разъемом для установки магнетронного распыления

TN-HVMSS-SPC-1 — это магнетронный распылительный пистолет с прямой головкой, который способен работать с широким диапазоном источников распыления диаметром 1 дюйм. Его совместимость с источниками питания постоянного, импульсного постоянного тока и радиочастотными источниками питания обеспечивает максимальную универсальность и расширяет возможности использования для различных целей распыления

Количество:
штат:





Запрос цены Добавить в корзину

Модель:
TN-HVMSS-SPC-1
Марка продукта:
TN

Описание продукта

TN-HVMSS-SPC-1 — это магнетронный распылительный пистолет с прямой головкой, который способен работать с широким диапазоном источников распыления диаметром 1 дюйм. Его совместимость с источниками питания постоянного, импульсного постоянного тока и радиочастотными источниками питания обеспечивает максимальную универсальность и расширяет возможности его использования на различные мишени для распыления (например, металлические, электроизоляционные, магнитные или немагнитные и т. д.). В комплект входит приспособление Quick Connector, которое упрощает установку этого устройства, а также обеспечивает простую смену целей, не требующую какого-либо приклеивания цели.

ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Функции	Высокая напряженность поля и равномерный профиль поля достигаются за счет использования электромагнитных расчетов методом конечных элементов при проектировании постоянный магнит в сборе Напылительная головка с низким импедансом и стандартный радиочастотный разъем легко совместимость и взаимодействие с широким спектром методов распыления постоянным и радиочастотным током Источники питания. Простая установка с помощью обычных инструментов. Магниты изолированы от охлаждающей воды защитным кожухом. антикоррозионное покрытие, обеспечивающее максимальную долговечность. 1-дюймовая медная опорная пластина (EQ-CBP-1) включен в комплект. Источник распыления выдерживает температуру до 200°C. Стандартный вал с внешним диаметром ¾ дюйма Принимает мишени толщиной 1/8 дюйма (3 мм); 1 кусок медной мишени входит в стандартную комплектацию
распылительный пистолет	распыляющая голова Диаметр: 1,82 дюйма (46,3 мм) Целевой диаметр: 1,0 ± 0,02 дюйма (25,4 мм) Максимальная толщина цели: 1/8 дюйма (3 мм) Магниты: Редкоземельный магнит NdFeB Диаметр вала: 3/4 дюйма наружный диаметр
Электрический разъем	Стандартный кабельный разъем SL16 (Рис.1) Дополнительный RF-кабель длиной 148 см с разъемом SL6 (для заказа нажмите на рис. 2)
Требование к питанию	Постоянный ток (Макс.) 250 Вт РФ (Макс.) 100 Вт
Ток катодного распыления	3 А (макс.)
Напряжение катодного распыления	200–1000 В
Диапазон рабочего давления	От ~1 мТорр до 1 Торр
Толщина распыления Кривая однородности	ПРИМЕЧАНИЕ: Приведенный выше график нормализованной толщины пленки был получен из нанесение пленки толщиной ~ 200 нм с помощью магнетронного распылителя PVD HV с использованием медной мишени диаметром 1 дюйм.Измерения проводились с использованием 4-точечной зонд в двух взаимно перпендикулярных направлениях (X, Y) поперек пластины поверхность.Пленка была нанесена на оксидированную невращающуюся пластину Si. при следующих условиях: 150 Вт постоянного тока, 10 мТорр (Ar) Расстояние 3 дюйма (75 мм) от мишени до подложки.
Водяное охлаждение (обязательно)	Требование к расходу: 1/2 галлона в минуту, фильтрованное Температура воды на входе: <20 С Подключение воды: 0,25 дюйма наружный диаметр Трубка. Пожалуйста, сообщите нам размер трубки вашего охладителя воды, мы можем предварительно установите фитинг за дополнительную плату.
Электрическая и монтажная арматура	Электрический разъем: Стандартный тип HN (ДК и РФ) Быстроразъемный разъем для высокого вакуума предварительно установлен для немедленного использование, которое может установить источник распыления на опорная плита (толщиной до 1 дюйма) вакуумной камеры с 1 дюйм диаметр сквозное отверстие легко.
Вакуумный фланец с проходным соединением (Необязательный)	6-дюймовый фланец CF с высоким Вакуумный ввод доступен по запросу и за дополнительную плату. распыляющую головку можно легко установить на вакуумный фланец CF диаметром 6 дюймов через быстродействующий разъединитель.Положение распылителя по высоте может быть изменено. регулируется вручную внутри вакуумной камеры.
Мишень плазменного распыления	1-дюймовая медная опорная пластина (EQ-CBP-1) Включено. Пожалуйста, нажмите, чтобы заказать другой диаметр 1 дюйм. Мишень плазменного распыления
Полная длина	14 дюймов
Вес нетто	3 фунта
дополнительные аксессуары	Охладитель рециркуляционной воды с цифровой регулировкой температуры, 6 Резервуар литров, расход 16 л/мин доступен за дополнительную плату, заказывайте. отдельно, нажмите на картинку ниже слева, чтобы заказать. MTI предлагает источник постоянного и радиочастотного питания, а также вакуумную камеру. для системы распыления DIY (нажмите на картинку ниже, чтобы заказать)