TN
В источнике используется постоянный магнит для создания расходящегося магнитного поля с большим градиентом в осевом направлении вблизи анода, и под действием кольцевого тока Холла ионы ускоряются в осевом направлении с образованием ионного пучка.Поэтому этот источник часто называют источником ионов Холла.
Функция продукта:
1. Улучшите прочность сцепления слоя пленки:
2. Уменьшите абсорбцию:
3. Улучшите плотность слоя пленки:
Функции:
1. Низкая энергия 2. Высокая плотность тока ионного пучка 3. Большая однородная площадь 4. Простота использования 5. Высокая экономическая эффективность.
Технические параметры:
Увольнять Напряжение | 100--200 (В) |
Увольнять текущий | 0--3 (А) |
Применимый кабинет | Ø600 (мм,Макс) |
В источнике используется постоянный магнит для создания расходящегося магнитного поля с большим градиентом в осевом направлении вблизи анода, и под действием кольцевого тока Холла ионы ускоряются в осевом направлении с образованием ионного пучка.Поэтому этот источник часто называют источником ионов Холла.
Функция продукта:
1. Улучшите прочность сцепления слоя пленки:
2. Уменьшите абсорбцию:
3. Улучшите плотность слоя пленки:
Функции:
1. Низкая энергия 2. Высокая плотность тока ионного пучка 3. Большая однородная площадь 4. Простота использования 5. Высокая экономическая эффективность.
Технические параметры:
Увольнять Напряжение | 100--200 (В) |
Увольнять текущий | 0--3 (А) |
Применимый кабинет | Ø600 (мм,Макс) |
