штат: | |
---|---|
Количество: | |
TN
Источник плазмы для многодуговой ионной установки
Полость | ПБН(Н2/ЧАС2)、Кварц(О2/ЧАС2) |
Фланец | ИКФ114(CF63) |
Конструкция водяного охлаждения | Иметь |
Максимальная мощность | 600 Вт |
Частота появления | 13,56 МГц |
Входной фланец газа | ИКФ34(CF16) |
Источник плазмы для многодуговой ионной установки
Полость | ПБН(Н2/ЧАС2)、Кварц(О2/ЧАС2) |
Фланец | ИКФ114(CF63) |
Конструкция водяного охлаждения | Иметь |
Максимальная мощность | 600 Вт |
Частота появления | 13,56 МГц |
Входной фланец газа | ИКФ34(CF16) |