| штат: | |
|---|---|
| Количество: | |
TN
Источник плазмы для многодуговой ионной установки
| Полость | ПБН(Н2/ЧАС2)、Кварц(О2/ЧАС2) |
| Фланец | ИКФ114(CF63) |
| Конструкция водяного охлаждения | Иметь |
| Максимальная мощность | 600 Вт |
| Частота появления | 13,56 МГц |
| Входной фланец газа | ИКФ34(CF16) |
Источник плазмы для многодуговой ионной установки
| Полость | ПБН(Н2/ЧАС2)、Кварц(О2/ЧАС2) |
| Фланец | ИКФ114(CF63) |
| Конструкция водяного охлаждения | Иметь |
| Максимальная мощность | 600 Вт |
| Частота появления | 13,56 МГц |
| Входной фланец газа | ИКФ34(CF16) |