| Количество: | |
|---|---|
ТН-ФДК-С
TN
Контроллер толщины пленки TN-FDC-S подходит для электронно-лучевого покрытия, магнетронного распыления, резистивного термического испарения и других задач контроля толщины покрытия.
Он образует замкнутый контур управления с источником испарения для управления и отображения полных данных о покрытии в реальном времени, включая мощность, скорость, толщину и использованное время.Возможно покрытие сложных оптических и металлических многослойных пленок.Различные операции могут быть реализованы с помощью сенсорного экрана, который более интуитивно понятен, чем традиционное управление с помощью клавиш.
Программирование инструментов очень удобно, всего можно установить 8 пленочных систем, каждая пленочная система имеет 100 слоев покрытия, что обеспечивает большое удобство при многослойном покрытии.
Контроллер толщины пленки TN-FDC-S имеет следующие специальные функции: Ручное управление: ручное прекращение нанесения покрытия, нанесение покрытия в соответствии с текущей мощностью в случае сбоя вибрации кристалла, переключение пластины на продолжение (многочиповый зонд), прерывание пленочной системы. , одновременное предварительное плавление двух источников, защита паролем и т. д.
Технические особенности
1. Полностью сенсорный экран, простой и удобный в использовании;
2. 32 пленочные системы, каждая с 50/100 слоями автоматического покрытия;
3. 12 сигнальных входов; 12 переключающих выходов;
4. Обеспечить полностью автоматический, полуавтоматический и ручной режимы управления;
5. Можно контролировать два источника: один работает, а другой предварительно растворяется;
Технические характеристики
Кристалл частота | 6 МГц (опционально 2,5 м 3 м 5 м 9 м кристалл) |
Отображать режим | 5 «цветной сенсорный экран + скорость отображения трубки Nixie и реальная толщина |
Операция режим | Трогать экран |
Финал толщина | 00μ0000Å-99μ9999Å |
Толщина разрешение экрана | 1 Å/с |
Ставка разрешение экрана | 0,1Å/с |
Число слоев покрытия | 32 пленочная система, 50/100 слоев на пленочную систему; |
Число зондов | A B |
Инструментальный фактор | 0,01-99,99 |
Time отображать | 00:00:00-23:59:59 Ч:М:С |
Власть отображать | 0～99,9% |
Предплавление власть | 0～99% |
Предварительный мощность покрытия | 0～99,9% |
Предварительный время плавления/время предварительного покрытия | 0～99:99 РС |
Предварительный время плавления и выдержки /Предварительно время выдержки покрытия | 0～99:99 РС |
Покрытие ставка (установленная ставка) | 0～999,9Å/с |
Материал хранилище | 257 + 10 индивидуальных |
Коммуникация | РС232/РС485 |
Управляемый источник испарения | 2, один для работы, а другой для предварительного растворения |
Выход контроль | ±10 В/5 В/2,5 В |
I / интерфейс | 12 сигнальные входы / 12 переключающих выходов |
Число управляемых тиглей | 1-16 |
Покрытие отображать | Ставка кривая / значение |
Покрытие время круга | 50 / 100 слоев на мембранную систему |
Размер | 480 × 280 × 89 мм (корпус 2U 19') |
Особые возможности:
1. Ручной, полуавтоматический, автоматический три режима нанесения покрытия, соответствующие различным конфигурациям лакировочной машины;
2. Ручное стопорное покрытие: ручное стопорное покрытие в процессе нанесения покрытия;
3. Ручное управление: определение начальных требований к процессу нанесения покрытия;
4. Система прерывания пленки: в случае возникновения проблем или неисправностей при автоматическом и полуавтоматическом нанесении покрытия покрытие можно остановить, а текущее состояние можно автоматически сохранить.После устранения дефектов нанесение покрытия можно продолжить с прерывистой пленочной системы;
5. При автоматическом или полуавтоматическом нанесении покрытия, если вибрация кристалла не работает, вы можете остановить нанесение покрытия, нанести покрытие в соответствии с текущим временем включения питания, переключить чип для продолжения (многочиповый зонд);
6. Два источника предварительно расплавляются одновременно: в начале процесса текущего покрытия второй слой может быть предварительно расплавлен одновременно, чтобы соответствовать требованиям жесткого времени;
7. Защита паролем: функция защиты паролем для киносистемы и параметров пленки для защиты параметров процесса от изменения посторонним персоналом;
8. Запись данных покрытия: при автоматическом или полуавтоматическом нанесении покрытия система может записывать время формирования пленки и конечные параметры толщины каждого слоя пленки.
Контроллер толщины пленки TN-FDC-S подходит для электронно-лучевого покрытия, магнетронного распыления, резистивного термического испарения и других задач контроля толщины покрытия.
Он образует замкнутый контур управления с источником испарения для управления и отображения полных данных о покрытии в реальном времени, включая мощность, скорость, толщину и использованное время.Возможно покрытие сложных оптических и металлических многослойных пленок.Различные операции могут быть реализованы с помощью сенсорного экрана, который более интуитивно понятен, чем традиционное управление с помощью клавиш.
Программирование инструментов очень удобно, всего можно установить 8 пленочных систем, каждая пленочная система имеет 100 слоев покрытия, что обеспечивает большое удобство при многослойном покрытии.
Контроллер толщины пленки TN-FDC-S имеет следующие специальные функции: Ручное управление: ручное прекращение нанесения покрытия, нанесение покрытия в соответствии с текущей мощностью в случае сбоя вибрации кристалла, переключение пластины на продолжение (многочиповый зонд), прерывание пленочной системы. , одновременное предварительное плавление двух источников, защита паролем и т. д.
Технические особенности
1. Полностью сенсорный экран, простой и удобный в использовании;
2. 32 пленочные системы, каждая с 50/100 слоями автоматического покрытия;
3. 12 сигнальных входов; 12 переключающих выходов;
4. Обеспечить полностью автоматический, полуавтоматический и ручной режимы управления;
5. Можно контролировать два источника: один работает, а другой предварительно растворяется;
Технические характеристики
Кристалл частота | 6 МГц (опционально 2,5 м 3 м 5 м 9 м кристалл) |
Отображать режим | 5 «цветной сенсорный экран + скорость отображения трубки Nixie и реальная толщина |
Операция режим | Трогать экран |
Финал толщина | 00μ0000Å-99μ9999Å |
Толщина разрешение экрана | 1 Å/с |
Ставка разрешение экрана | 0,1Å/с |
Число слоев покрытия | 32 пленочная система, 50/100 слоев на пленочную систему; |
Число зондов | A B |
Инструментальный фактор | 0,01-99,99 |
Time отображать | 00:00:00-23:59:59 Ч:М:С |
Власть отображать | 0～99,9% |
Предплавление власть | 0～99% |
Предварительный мощность покрытия | 0～99,9% |
Предварительный время плавления/время предварительного покрытия | 0～99:99 РС |
Предварительный время плавления и выдержки /Предварительно время выдержки покрытия | 0～99:99 РС |
Покрытие ставка (установленная ставка) | 0～999,9Å/с |
Материал хранилище | 257 + 10 индивидуальных |
Коммуникация | РС232/РС485 |
Управляемый источник испарения | 2, один для работы, а другой для предварительного растворения |
Выход контроль | ±10 В/5 В/2,5 В |
I / интерфейс | 12 сигнальные входы / 12 переключающих выходов |
Число управляемых тиглей | 1-16 |
Покрытие отображать | Ставка кривая / значение |
Покрытие время круга | 50 / 100 слоев на мембранную систему |
Размер | 480 × 280 × 89 мм (корпус 2U 19') |
Особые возможности:
1. Ручной, полуавтоматический, автоматический три режима нанесения покрытия, соответствующие различным конфигурациям лакировочной машины;
2. Ручное стопорное покрытие: ручное стопорное покрытие в процессе нанесения покрытия;
3. Ручное управление: определение начальных требований к процессу нанесения покрытия;
4. Система прерывания пленки: в случае возникновения проблем или неисправностей при автоматическом и полуавтоматическом нанесении покрытия покрытие можно остановить, а текущее состояние можно автоматически сохранить.После устранения дефектов нанесение покрытия можно продолжить с прерывистой пленочной системы;
5. При автоматическом или полуавтоматическом нанесении покрытия, если вибрация кристалла не работает, вы можете остановить нанесение покрытия, нанести покрытие в соответствии с текущим временем включения питания, переключить чип для продолжения (многочиповый зонд);
6. Два источника предварительно расплавляются одновременно: в начале процесса текущего покрытия второй слой может быть предварительно расплавлен одновременно, чтобы соответствовать требованиям жесткого времени;
7. Защита паролем: функция защиты паролем для киносистемы и параметров пленки для защиты параметров процесса от изменения посторонним персоналом;
8. Запись данных покрытия: при автоматическом или полуавтоматическом нанесении покрытия система может записывать время формирования пленки и конечные параметры толщины каждого слоя пленки.
